QMG 700
質量分析器
QMG 700は生産中止となりました。
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Gemini™ MxG5xx
検出限界を超える優れた安定性と改善された分析半導体製造技術の急速な発展は、迅速で信頼性の高い分析ソリューションに基づいています。製造現場でもラボでも、INFICON QMG 700 Analytical Mass Spectrometerを選べば、検出の問題を克服し、お客様のプロセスをイノベーションの新たなレベルへと高めることができます。QMG 700は、モジュラー設計で、比類ない性能と柔軟性を提供します。競争力をQMG 700によって強化し、高水準の計測機能を実現してください。
幅広いイオンソース、質量フィルタおよびRF電源オプションから選択して、QMG 700をお客様固有の用途に合わせてカスタマイズすることができます。QMG 700は、9桁以上ものダイナミックレンジとppbレベルの検出限界を持ち、超高真空計測の理想的な機器となっています。QMG 700は、その質量範囲全体にわたって単位分解能を提供します。低質量ではさらに高い分解能を誇ります。この機器は、ヘリウムと重水素の分離など、アイソトープ分析を含む最も難しい計測についても優れたオプションとなっています。QMG 700を使用してお客様のプロセスをコントロールし、クリティカルな計測を保護できる、QMG 700の優れた長期安定性をご信頼ください。
INFICONの40年以上にわたる質量分析法における卓越した経験を通して、QMG 700がガス分析への次の投資として最適の選択肢であることをお約束します。一貫した精度で正確な結果を得るため、INFICON QMG 700と当社の全世界におよぶアプリケーションサポートご活用ください。
機能
- 質量レンジは1-512 amuから選択可能
- 90年以上のダイナミックレンジ
- 極めて高速な測定速度 0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
- 全質量域で高い分解能を実現 質量1、2、3はppbレンジで明確に分離可能
- 複数のイオン源オプション
- ディスクリートまたは連続ダイノード電子マルチプライヤーオプション
- IOオプション：アナログ入力/出力8点、デジタル入力/出力32点
- 柔軟でユーザーフレンドリーなインターフェイスを持つ強力なソフトウェア
標準的なアプリケーション
- ガス放出質量分析器
- 終点の検出
- 蒸着物質監視
- 二次的イオン質量分析器
仕様
| 質量範囲 | 1-512 amu (1) |
| センサー長 | 441.5 mm |
| ロッド直径 | 8 mm |
| ロッド物質 | Molybdenum |
| フランジ | DN 63 CF-F |
| 検出器タイプ | Faraday/SEV 217 |
| 最大動作圧力（FC） | 1 E-4 mbar |
| 最大動作圧力（EM） | 1 E-5 mbar |
| 感度 | 5 E-4 A/mbar |
| 検出可能な最小粒子圧力 | 1 E-15 mbar |
| 分解能（調整可能） | 0.3 - 7 amu |
| 部分圧比率 | < 0.5 ppb |
| 最大動作温度センサー | 150 °C |
| 最高ベークアウト温度 | 400 °C |
| 最大動作温度電子機器 | 40 °C |
| 測定速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 電源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA400は 以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
| (2) QMA 410は 以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
| 質量範囲 | 1-340 amu (2) |
| センサー長 | 548 mm |
| ロッド直径 | 16 mm |
| ロッド物質 | Molybdenum |
| フランジ | DN 100 CF-F |
| 検出器タイプ | Faraday/SEV 217 |
| 最大動作圧力（FC） | 1 E-4 mbar |
| 最大動作圧力（EM） | 1 E-5 mbar |
| 感度 | 1 E -3 A/mbar |
| 検出可能な最小粒子圧力 | 5 E-16 mbar |
| 分解能（調整可能） | 0.2 - 2.2 amu |
| 部分圧比率 | < 0.5 ppb |
| 最大動作温度センサー | 150 °C |
| 最高ベークアウト温度 | 400 °C |
| 最大動作温度電子機器 | 40 °C |
| 測定速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 電源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA400は 以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
| (2) QMA 410は 以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
| 質量範囲 | 1-300 amu |
| センサー長 | 441.5 mm |
| ロッド直径 | 8 mm |
| ロッド物質 | Stainless Steel |
| フランジ | DN 63 CF-F |
| 検出器タイプ | Faraday/SEV 217 |
| 最大動作圧力（FC） | 1 E-4 mbar |
| 最大動作圧力（EM） | 1 E-5 mbar |
| 感度 | 2 E-4 A/mbar |
| 検出可能な最小粒子圧力 | 1 E-15 mbar |
| 分解能（調整可能） | 0.3 - 7 amu |
| 部分圧比率 | < 0.5 ppb |
| 最大動作温度センサー | 150 °C |
| 最高ベークアウト温度 | 400 °C |
| 最大動作温度電子機器 | 40 °C |
| 測定速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 電源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA400は 以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
| (2) QMA 410は 以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。 | |
品番
| 490-715 | QMA 400 with Grid Ion Source |
| 450-119 | Deckplatte kpl. DMM spez. |
| 490-601 | QMA 400 for PPM 422 standard |
| 490-700 | QMA 400 with Axial Ion Source |
| 490-701 | QMA 400 with Crossbeam |
| 490-702 | QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt |
| 490-810 | QMA 410 with Axial Ion Source |
| 490-812 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT |
| 490-817 | QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt |
| 490-821 | QMA 410 Quadrup.-Analysator |
| 490-830 | QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218 |
| 490-901 | QMA 430 mit CB-IQ, Faraday |
| 490-910 | QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217 |
| 490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
| 490-914 | QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed |
| 490-916 | QMA 430, CB-IQ without SEV217 |
| 490-917 | QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight |
| 490-918 | QMA 430, CB Ion Source without SEV217 |
| 490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |
