Transpector® CPM 3
急速なフィールド準備プロセスの監視システム
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
性能、信頼性、汎用性
NFICON Transpector CPMは、10年以上の間の半導体産業の市場をリードする残留ガス分析器(RGA)プロセス監視システムでした。今回、Transpector CPM 3は、新しいセンサと電子回路を、現場で実証されたポンプとインレットシステムに統合することにより、業界トップの測定速度と感度を実現しました。Transpector CPM 3は、ALD、CVD、PVD、Etchなど、新しくかつ確立された半導体プロセスの理想のRGAプロセス監視です。
Transpector CPM 3は、最後まで証明された費用対効果をパートナーに提供します。
- 業界をリードする測定技術
- 強固で適応可能なアーキテクチャ
- 簡単なメンテナンス
- 上質な製品サポート
機能
- ALD、Etch、CVD、300 mm Degasの残留ガス分析器によりリアルタイムプロセスの監視と分析が可能になります
- ポイントあたり1.8 msのALDレディ(セカンドあたり555ポイント)測定速度
- もっとも需要のあるCVDおよびEtchアプリケーションの現場の実績で証明された耐久性と信頼性
- アプリケーション統合—Transpector CPMは、FabGuardソフトウェアと統合し、INFICONの世界クラスのアプリケーション専門家によりサポートされており、強力なプロセス監視と診断ツールになります。
- コンパクトサイズ—半導体機器の生産に簡単に統合できます
- 最大3個の圧力吸入口と表面積を減らしたHeexblock™ ぶより、表面の反応と応答時間を最小化します
- キャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)—CDGでは、ユーザーがプロセス圧力を監視し、圧力のエクスカーションからシステムを自動的に保護できます
- 自動較正—センサー間とツール間のチャンバー一致の長期間データ安定性と正確性を保証
仕様
合計圧力範囲 | 5E-7 - 1E-3 Torr |
検出限界 | < 1 ppm |
システム動作圧力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
感度(低排出) | > 4E-6 Amps/Torr |
感度(高排出) | > 2E-5 Amps/Torr |
合計圧力範囲 | 5E-7 - 1E-3 Torr |
検出限界 | < 2 ppm |
システム動作圧力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
感度(低排出) | > 2E-6 Amps/Torr |
感度(高排出) | > 1E-5 Amps/Torr |
合計圧力範囲 | 5E-7 - 1E-3 Torr |
検出限界 | < 4 ppm |
システム動作圧力 | 1E-8 Torr - 1.2 atm |
感度(低排出) | > 1E-6 Amps/Torr |
感度(高排出) | > 5E-6 Amps/Torr |
消耗品
Part Number | Description |
059-0196 | NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI |
059-0400 | Replacement c-ring |
070-1042 | O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only) |
923-418-G1 | CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage |
923-706-G10 | 30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron) |
923-706-G3 | 10 Torr HexBlock orifice (20 micron) |
923-706-G4 | 1 Torr HexBlock orifice (62 micron) |
923-706-G6 | 10 mtorr HexBlock orifice (750 micron) |
923-706-G7 | 360 mtorr HexBlock orifice (120 micron) |
923-706-G8 | 15 mtorr HexBlock orifice (350 micron) |
923-706-G9 | 3 Torr HexBlock orifice (35 micron) |
923-707-G1 | 10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G2 | 100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G3 | 7 Torr HexBlock sniffer |
961-707-G1 | Electron Multiplier Kit, Spare |
964-710-G1 | Filament Kit CPM Tungsten |
964-710-G2 | Filament Kit CPM Coated |
964-711-G1 | Ion Source Kit CPM Tungsten |
964-711-G2 | Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner |
964-712-G1 | Ion Source Kit CPM Coated |
964-712-G2 | Ion Source Kit CPM Coated w/Liner |
Part Number | Description |
059-0196 | NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI |
059-0400 | Replacement c-ring |
070-1042 | O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only) |
923-418-G1 | CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage |
923-706-G10 | 30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron) |
923-706-G3 | 10 Torr HexBlock orifice (20 micron) |
923-706-G4 | 1 Torr HexBlock orifice (62 micron) |
923-706-G6 | 10 mtorr HexBlock orifice (750 micron) |
923-706-G7 | 360 mtorr HexBlock orifice (120 micron) |
923-706-G8 | 15 mtorr HexBlock orifice (350 micron) |
923-706-G9 | 3 Torr HexBlock orifice (35 micron) |
923-707-G1 | 10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G2 | 100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G3 | 7 Torr HexBlock sniffer |
961-707-G1 | Electron Multiplier Kit, Spare |
964-710-G1 | Filament Kit CPM Tungsten |
964-710-G2 | Filament Kit CPM Coated |
964-711-G1 | Ion Source Kit CPM Tungsten |
964-711-G2 | Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner |
964-712-G1 | Ion Source Kit CPM Coated |
964-712-G2 | Ion Source Kit CPM Coated w/Liner |
300 AMU CPM | |
Part Number | Description |
059-0196 | NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI |
059-0400 | Replacement c-ring |
070-1042 | O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only) |
923-418-G1 | CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage |
923-706-G10 | 30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron) |
923-706-G3 | 10 Torr HexBlock orifice (20 micron) |
923-706-G4 | 1 Torr HexBlock orifice (62 micron) |
923-706-G6 | 10 mtorr HexBlock orifice (750 micron) |
923-706-G7 | 360 mtorr HexBlock orifice (120 micron) |
923-706-G8 | 15 mtorr HexBlock orifice (350 micron) |
923-706-G9 | 3 Torr HexBlock orifice (35 micron) |
923-707-G1 | 10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G2 | 100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length) |
923-707-G3 | 7 Torr HexBlock sniffer |
961-707-G1 | Electron Multiplier Kit, Spare |
964-710-G1 | Filament Kit CPM Tungsten |
964-710-G2 | Filament Kit CPM Coated |
964-711-G1 | Ion Source Kit CPM Tungsten |
964-711-G2 | Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner |
964-712-G1 | Ion Source Kit CPM Coated |
964-712-G2 | Ion Source Kit CPM Coated w/Liner |
スペアパーツ
Part Number | Description |
032-0079 | Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange) |
059-0400 | Replacement c-ring |
915-724-G1 | Package of three spare liners (used only with liner configured ion source) |
922-204-G1 | Capillary assembly - 1.5 m |
922-204-G3 | Capillary assembly - 3 m |
923-403-P2 | CPM Valve Controller Manifold Assembly |
923-417-G1 | Foreline Protection Kit, CPM |
923-710-G1 | HexBlock orifice replacement tools |
923-711-G1 | HexBlock valve replacement kit |
923-712-G1 | Spare HexBlock orifice gasket (pack of five) |
923-723-G2 | 2 Stage Diaphragm Foreline Pump |
964-208-G11 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) |
964-208-G12 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) |
964-208-G13 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) |
964-208-G14 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) |
964-230-G1 | CPM Cable Box Assembly |
964-403-P1 | CPM Manifold Heater |
964-603-G2 | CPM Controller Box |
964-720-G1 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G2 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G3 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G4 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
Part Number | Description |
032-0079 | Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange) |
059-0400 | Replacement c-ring |
915-724-G1 | Package of three spare liners (used only with liner configured ion source) |
922-204-G1 | Capillary assembly - 1.5 m |
922-204-G3 | Capillary assembly - 3 m |
923-403-P2 | CPM Valve Controller Manifold Assembly |
923-417-G1 | Foreline Protection Kit, CPM |
923-710-G1 | HexBlock orifice replacement tools |
923-711-G1 | HexBlock valve replacement kit |
923-712-G1 | Spare HexBlock orifice gasket (pack of five) |
923-723-G2 | 2 Stage Diaphragm Foreline Pump |
964-208-G11 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) |
964-208-G12 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) |
964-208-G13 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) |
964-208-G14 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) |
964-230-G1 | CPM Cable Box Assembly |
964-403-P1 | CPM Manifold Heater |
964-603-G2 | CPM Controller Box |
964-720-G1 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G2 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G3 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G4 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
Part Number | Description |
032-0079 | Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange) |
059-0400 | Replacement c-ring |
915-724-G1 | Package of three spare liners (used only with liner configured ion source) |
922-204-G1 | Capillary assembly - 1.5 m |
922-204-G3 | Capillary assembly - 3 m |
923-403-P2 | CPM Valve Controller Manifold Assembly |
923-417-G1 | Foreline Protection Kit, CPM |
923-710-G1 | HexBlock orifice replacement tools |
923-711-G1 | HexBlock valve replacement kit |
923-712-G1 | Spare HexBlock orifice gasket (pack of five) |
923-723-G2 | 2 Stage Diaphragm Foreline Pump |
964-208-G11 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) |
964-208-G12 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) |
964-208-G13 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) |
964-208-G14 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) |
964-230-G1 | CPM Cable Box Assembly |
964-403-P1 | CPM Manifold Heater |
964-603-G2 | CPM Controller Box |
964-720-G1 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G2 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G3 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable |
964-720-G4 | CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable |