1. Transpector® CPM 3
質量分析計

Transpector® CPM 3

急速なフィールド準備プロセスの監視システム

Transpector-CPM
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Gemini™ MxG5xx

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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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性能、信頼性、汎用性

NFICON Transpector CPMは、10年以上の間の半導体産業の市場をリードする残留ガス分析器（RGA）プロセス監視システムでした。今回、Transpector CPM 3は、新しいセンサと電子回路を、現場で実証されたポンプとインレットシステムに統合することにより、業界トップの測定速度と感度を実現しました。Transpector CPM 3は、ALD、CVD、PVD、Etchなど、新しくかつ確立された半導体プロセスの理想のRGAプロセス監視です。

Transpector CPM 3は、最後まで証明された費用対効果をパートナーに提供します。

  • 業界をリードする測定技術
  • 強固で適応可能なアーキテクチャ
  • 簡単なメンテナンス
  • 上質な製品サポート

機能

  • ALD、Etch、CVD、300 mm Degasの残留ガス分析器によりリアルタイムプロセスの監視と分析が可能になります
  • ポイントあたり1.8 msのALDレディ（セカンドあたり555ポイント）測定速度
  • もっとも需要のあるCVDおよびEtchアプリケーションの現場の実績で証明された耐久性と信頼性
  • アプリケーション統合—Transpector CPMは、FabGuardソフトウェアと統合し、INFICONの世界クラスのアプリケーション専門家によりサポートされており、強力なプロセス監視と診断ツールになります。
  • コンパクトサイズ—半導体機器の生産に簡単に統合できます
  • 最大3個の圧力吸入口と表面積を減らしたHeexblock™ ぶより、表面の反応と応答時間を最小化します
  • キャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）—CDGでは、ユーザーがプロセス圧力を監視し、圧力のエクスカーションからシステムを自動的に保護できます
  • 自動較正—センサー間とツール間のチャンバー一致の長期間データ安定性と正確性を保証

仕様

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
合計圧力範囲5E-7 - 1E-3 Torr
検出限界< 1 ppm
システム動作圧力1E-8 Torr - 1.2 atm
感度（低排出）> 4E-6 Amps/Torr
感度（高排出）> 2E-5 Amps/Torr
合計圧力範囲5E-7 - 1E-3 Torr
検出限界< 2 ppm
システム動作圧力1E-8 Torr - 1.2 atm
感度（低排出）> 2E-6 Amps/Torr
感度（高排出）> 1E-5 Amps/Torr
合計圧力範囲5E-7 - 1E-3 Torr
検出限界< 4 ppm
システム動作圧力1E-8 Torr - 1.2 atm
感度（低排出）> 1E-6 Amps/Torr
感度（高排出）> 5E-6 Amps/Torr
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

消耗品

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

スペアパーツ

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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