質量分析計
Transpector® CPX
高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート
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強化されたパフォーマンス、実証された信頼性、アプリケーションの多様性
INFICON Transpector CPXは市場をリードする、半導体製造における高度なプロセス監視用の残留ガス分析計（RGA）です。INFICONは半導体製造プロセスには、アプリケーション要件を満たす柔軟性を必要とする特定のニーズがあることを理解しています。Transpector CPXはこの多様性を念頭にデザインされており、異なるプロセス圧力に対応可能なHexBlockインレットとさまざまな機能オプションで、アプリケーションのニーズを満たします。
次世代Transpector CPXは、業界をリードするポンプシステムを維持しながら、前世代*から30%のコンパクト化を実現しました。加えて、Transpector CPXは多くの高性能な制御を備えた、よりスマートなシステムです。
*Transpector CPM 3との比較
メリット
- 構成可能なHexBlock、最大3つの圧力インレットで多用途アプリケーションに対応
- Transpector CPM 3からシステム容積を30%削減し、スペースに制約のあるアプリケーションでのRGA統合を容易に実現
- 業界をリードするポンプシステムと温度制御加熱カートリッジにより、システムの複雑さを軽減
- 自動キャリブレーションにより、センサー間およびツール間のチャンバーマッチングにおける長期的なデータ信頼性と精度を確保
- Transpector CPXはFabGuardソフトウェアと統合され、INFICONの世界クラスのアプリケーション専門家によってサポートされることで、強力なプロセス監視と診断ツールになります。
仕様
100 AMU
200 AMU
300 AMU
| 検出限界 | < 200 ppb |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 感度（低エミッション） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 感度（ハイエミッション） | > 2E-5 Amps/Torr |
| 検出限界 | < 500 ppb |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 感度（低エミッション） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 感度（ハイエミッション） | > 2E-5 Amps/Torr |
| 検出限界 | < 1 ppm |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 感度（低エミッション） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 感度（ハイエミッション） | > 2E-5 Amps/Torr |
消耗品
| 品番 | 説明 |
| 969-818-G2S | シングル・フィラメント・コーティング・フィラメント・キット |
| 969-818-G1S | シングルフィラメントタングステンフィラメントキット |
| 969-819-G3S | シングル・フィラメント・コーティング・イオン・ソース・キット |
| 969-819-G1S | シングル・フィラメント・タングステン・イオン・ソース・キット |
| 969-819-G2S | 単一フィラメント・タングステン・イオン源キット＋陽極ライナー |
| 961-707-G1 | 電子増倍管交換キット |
| 923-418-G2 | 2段ポンプ用交換ダイヤフラムキット |
| 923-711-G1 | HexBlockバルブ交換キット |
この製品は以下の市場で使用されています
