質量分析計

Transpector® CPX

高度なプロセスモニタリングのためのコンパクトなプロセスエキスパート

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強化されたパフォーマンス、実証された信頼性、アプリケーションの多様性

INFICON Transpector CPXは市場をリードする、半導体製造における高度なプロセス監視用の残留ガス分析計（RGA）です。INFICONは半導体製造プロセスには、アプリケーション要件を満たす柔軟性を必要とする特定のニーズがあることを理解しています。Transpector CPXはこの多様性を念頭にデザインされており、異なるプロセス圧力に対応可能なHexBlockインレットとさまざまな機能オプションで、アプリケーションのニーズを満たします。

次世代Transpector CPXは、業界をリードするポンプシステムを維持しながら、前世代*から30%のコンパクト化を実現しました。加えて、Transpector CPXは多くの高性能な制御を備えた、よりスマートなシステムです。

*Transpector CPM 3との比較

メリット

構成可能なHexBlock、最大3つの圧力インレットで多用途アプリケーションに対応
Transpector CPM 3からシステム容積を30%削減し、スペースに制約のあるアプリケーションでのRGA統合を容易に実現
業界をリードするポンプシステムと温度制御加熱カートリッジにより、システムの複雑さを軽減
自動キャリブレーションにより、センサー間およびツール間のチャンバーマッチングにおける長期的なデータ信頼性と精度を確保
Transpector CPXはFabGuardソフトウェアと統合され、INFICONの世界クラスのアプリケーション専門家によってサポートされることで、強力なプロセス監視と診断ツールになります。

仕様

100 AMU

200 AMU

300 AMU

検出限界	< 200 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr to 1.2 ATM

感度（低エミッション）	> 4E-6 Amps/Torr

感度（ハイエミッション）	> 2E-5 Amps/Torr

検出限界	< 500 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr to 1.2 ATM

感度（低エミッション）	> 4E-6 Amps/Torr

感度（ハイエミッション）	> 2E-5 Amps/Torr

検出限界	< 1 ppm

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr to 1.2 ATM

感度（低エミッション）	> 4E-6 Amps/Torr

感度（ハイエミッション）	> 2E-5 Amps/Torr

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消耗品

品番	説明
969-818-G2S	シングル・フィラメント・コーティング・フィラメント・キット
969-818-G1S	シングルフィラメントタングステンフィラメントキット
969-819-G3S	シングル・フィラメント・コーティング・イオン・ソース・キット
969-819-G1S	シングル・フィラメント・タングステン・イオン・ソース・キット
969-819-G2S	単一フィラメント・タングステン・イオン源キット＋陽極ライナー
961-707-G1	電子増倍管交換キット
923-418-G2	2段ポンプ用交換ダイヤフラムキット
923-711-G1	HexBlockバルブ交換キット