1. Transpector® MPS
質量分析計

Transpector® MPS

幅広い真空アプリケーションにおいて優れたパフォーマンスと価値を提供

Transpector-MPS
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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生産技術の向上や品質基準の変更に伴い、プロセスを理解して製品の品質を維持することが今までになく重要となっています。Transpector MPSを活用する事により、プロセスの条件や、コンタミネーションとリークをモニタリングし、プロセスを最適化する事が可能です。Transpector MPS は、Transpector RGAブランドの強力なパフォーマンスと優れた価値を提供します。

Transpector MPSには、100 amuと200 amuのバージョンがあり、一般的なリーク検出、真空診断、炭化水素の分析などを含む様々な機能を提供します。この多機能性により、Transpector MPSは真空炉、熱処理、真空コーティング向けアプリケーションのセンサとして最適です。

機能

  • デュアルフィラメント
  • 現場で交換可能な光電子増倍管
  • 現場で交換可能なアノード、カソード、リペラーフィラメントアセンブリ
  • 交換可能なセンサーと電子回路
  • TCP/IPイーサーネット接続
  • 短いセンサーにより設置フットプリントを最小化
  • 9桁のダイナミックレンジ
  • アナログスキャンおよび選択ピーク時の最速データ取得時間3 ms
  • MDPP 1.5E-14 Torr未満
  • センサーはクリーンルーム環境で組み立て、試験が行われ、二重の袋に入れられている
  • RoHSコンプライアント

仕様

MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
質量範囲100 amu
検出可能な最小粒子圧力1.5E-14 Torr
感度 (FC)3E-4 amps/Torr
感度 (EM)500 amps/Torr
最大動作圧力5E-4 Torr
質量範囲100 amu
検出可能な最小粒子圧力2.6E-12 Torr
感度 (FC)3E-4 amps/Torr
感度 (EM)NA
最大動作圧力5E-4 Torr
質量範囲200 amu
検出可能な最小粒子圧力1.5E-14 Torr
感度 (FC)3E-4 amps/Torr
感度 (EM)500 amps/Torr
最大動作圧力5E-4 Torr
質量範囲200 amu
検出可能な最小粒子圧力2.6E-12 Torr
感度 (FC)3E-4 amps/Torr
感度 (EM)NA
最大動作圧力5E-4 Torr
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

アクセサリー

961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
600-1428-P1Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1Ethernet Switch 8 port
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
961-029-G1MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2MPH Heater Kit 230 VAC
ユニバーサル・スペアパーツ
消耗品
961-416-P1Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
961-022-G1

Spare O-Ring and Nut Kit

 

961-700-G1Coated Iridium Filament Kit
961-701-G1Coated Iridium Filament Ion Source
961-2428-G2Electron Multiplier Replacement Kit

スペアパーツ

MPS100M
MPS100F
MPS200M
MPS200F
961-S1MASMPS100 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S10SMPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S1FASMPS100 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S10SMPS100 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S2MASMPS200 EM Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S20SMPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-S2FASMPS200 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
MP-S20SMPS200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

詳細はこちら
Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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Transpectorを使用した研究プロジェクトについてお読みください。

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