質量分析計

Transpector® XPR 3+

圧力強化範囲RGA－Sensorizationによる革新

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急速なプロセス変更の監視とコントロール

新しいTranspector XPR 3+残留ガス分析器（RGA）は、業界をリードする測定スピードを提供し、現在の半導体とディスプレイ製造に必要な急速なプロセス変更を監視とコントロールします。Transpector XPR 3+は、元の位置でのエア漏れ、ガス純度、炭化水素、汚染監視に理想的です。Transpector XPR 3+のリアルタイム測定は、上昇テストの周期率と比較して、はるかに優れた製品保護を提供します。

ツール使用可能時間を最大にすることで収益性を拡大する

Transpector XPR 3+ RGAは、スパッタリング圧範囲アプリケーションの四重極と二重イオンソースセンサーということを証明されるフィールドです。圧力変換危機は必要なく、長寿命のコンポーネントで、製品の組み合わせを急速に検出および診断する能力があり、ツールの有効性、製品のスループット、産出高を最大にします。センサーはポンプの必要なく、高真空から20 mTorrまで継続して動作可能です。Transpector XPR 3+二重イオンソースのチャンバーは、イオンソース感度を維持して、センサーの平均時をメンテナンスまで広げるために、コーティングを制限するように設計されています。

利点

高真空からPVDプロセス圧力まで高度のエアリークおよび汚染検出によりリアルタイムなウェーハとパネルの保護
迅速かつ信頼できるチャンバー品質でPMの効率とツール使用可能時間を最大にします
より長い寿命、汚染に対する耐久、二重イオンソース設計で所有の合計コストを最小にします。ポンプの必要のない20のmTorrまで監視します。低圧力EMバリアントはコストに敏感な選択肢を提供します
強力なデータ収集と同期を通してシームレスな素晴らしい統合と信頼できる停止
調整されたレシピの最適化により独自の製造能力を強化します
専門家から即時にオンサイトで回答し重大なプロセスニーズを保護します

標準的なアプリケーション

PVDとスパッタリングプロセスモジュール
プレクリーンモジュール
非クラスターのPVD装置
クランプされたデガスモジュール

仕様

質量ポジション安定性	<0.1 amu over 24 hours

感度 (FCモード)	≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)

感度 (定格)	≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)

最小検出可能部分圧力 (FCモード)	≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)

最小検出可能部分圧力 (EMモード)	≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)

最大動作圧力(FCまたはEMモード)	20 mTorr (2.6E-2 mbar)

最大動作圧力（リニア操作）	10 mTorr (1.3E-2 mbar)