質量分析計

トランスペクター® APX ALD 単圧

単一圧力ALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート

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不良品率の最小化、歩留まりの最大化をリアルタイムで実現

INFICONのTranspector APXは半導体とディスプレイプロセス監視のための、市場をリードする残留ガス分析器（RGA）です。当社は半導体、液晶パネル関連のお客様ニーズを熟知しており、Transpector APXの最新製品は、業界をリードする計測速度と感度を維持しながら、特定のアプリケーションの要求に応える仕様、柔軟性を持ち合わせています。Transpector APXはALD、CVD、PVD、エッチングなどの半導体プロセスに理想的なRGAプロセスモニターです。

次世代のTranspector APX ALDシングルプレッシャーインレットシステムは、ALDやPECVDのようなパーティクルやコーティングが発生しやすいプロセス化合物に耐えられる様に設計されています。これにより、すべての重要なプロセスステップでデータポイントを取得するための継続的なモニタリングが可能になります。さらにインレットは、チャンバークリーンエンドポイントモニタリングアプリケーションに不可欠な腐食性ガスに対する耐性のために温度制御されています。

メリット

アプリケーションに特化したプラットフォーム設計により、ALDまたはCVDプロセスで最長のライフタイムを実現。
毎秒550データポイント以上の測定速度でALDに対応
30%工場を縮小し、高性能ポンプシステムにより設置が簡単
当社独自のコーティングを施した温度コントロール注入口は、過酷な腐食性化学薬品に耐える離散圧力注入口仕様
自動較正が長期的なデータの信頼性と精度を保証
Transpector APXはFabGuard®ソフトウェアと統合され、世界クラスのアプリケーション専門家によってサポートされる強力なプロセス監視と診断ツールです

仕様

100 AMU

200 AMU

300 AMU

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<10 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<25 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<50 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar

消耗品

品番	商品説明
969-800-G1S	APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD
969-800-G2S	APX CIS Coated Filament Kit GOLD
969-801-G1S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD
969-801-G2S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
969-801-G3S	APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD
969-801-G4S	APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
961-707-G1	Electron Multiplier Replacement Kit
923-418-G2	Replacement diaphragm kit for 2-stage pump