UL1000 Fab
ヘリウムリーク検査機（ドライ型）
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
産業用真空および半導体製造におけるドライ型ヘリウムリーク検査の標準機
‐INFICON UL1000 Fab ヘリウムリーク検査機は、産業用あるいは半導体の分野においてはよく知られている標準です。-
検査される部品や装置が炭素、水素化合物あるいは粒子等による汚染の可能性は内臓のドライ ポンプ テクノロジーによって排除されます。
UL1000 Fabは、高い性能、比類のない堅牢さと価格のお求めやすさの最高の両立を提供します。
次に最先端の10-13Pa·m3/secの検知限界を、合理的に短いポンプダウンとレスポンス時間と合わせて提供します。
コンパクトな設計は高い操作性を実現し、限られたスペースでもメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能にしています。選択できるバックグラウンド抑制機能（iZERO)は既存のバックグランドレベルよりも更に2桁低いレベルでの継続的なリーク検査を可能にしています。
あらゆる機能によりリークテスト検査時間を短縮し、同時に全てのリークテストに係るコストを低減します。
SMART-Sprayでリークテストを最適化。I·BOOSTとSPRAY-Check
SMART-Spray は、大型のヘリウムボンベや煩雑なホースの必要性をなくし、リークチェックを強化します。プロセスを合理化し、手作業によるヘリウム流量調整を減らし、エラーを最小限に抑えます。このツールは、低いヘリウム消費量とバックグラウンドレベルを維持しながら、リーク検査をより速く、より簡単に、より信頼できるものにします。
効率的で正確なリーク検査に最適 I·BOOSTはリーク検査において最大50％の時間節約を実現します。より短い反応時間で、様々なチャンバー容積にわたって迅速かつ正確な測定を行い、効率と精度を高めます。さらに、スプレー式リークテストであるSPRAY-Checkは、リークディテクタの機能性と即応性を保証します。10-⁸から10-⁸mbar・l/sの範囲に最適で、テストプロセス中に信頼できるチェックを提供します。nhances leak checking by
利点
- 速いポンプダウンとレスポンス時間によりリークテスト検査の手間を最小限に低限
- 選択可能なバックグラウンド抑制機能（iZERO) を用いて、複数回のリークテストが不要
- 高い操作性の設計により、限られたスペースでのメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能
- 堅牢なダブルホットフィラメントイオンソース（3年間保証）と逆拡散方式システムにより総コスト（TCO）を削減
- 回転式のディプレイ、視覚および聴覚によるリーク量表示、そしてオプションのハンドリモコン操作による簡易操作を実現
- 自動校正機能を備えた内部校正器により安心な保守費用
標準的なアプリケーション
- クリーンルーム内における医療用、産業用機器製造
- 各種精密電子部品、溶接部品の製造と品質管理
- 真空装置等のメンテナンス作業
- プロセス ガス 用ユニットシステムの配管と点検および設置
- 半導体、フラットパネル ディスプレイあるいはソーラーセル製造
仕様
| ヘリウムの最小検出リーク率（真空法） | mbar•L/s | < 5·10-12 |
| ヘリウムの最小検出可能リーク率（スニファーモード） | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| 最大入口圧力 GROSSモード | mbar | 15 |
| 最大ファインモード | mbar | 2 |
| 最大入口圧力 ULTRAモード | mbar | 0.4 |
| フォア真空ポンプタイプ | オイルシール | |
| 避難時のポンピング速度 | m³/h | 16 at 50 Hz |
| ヘリウム圧送速度 ULTRAモード | L/s | 2.5 |
| 検出可能な質量 | 2,3,4 amu | |
| 質量分析分野 | 180° | |
| フィラメントイオンスーア イリジウム/イットリアコーティング | 2 | |
| 校正済みテストリーク内蔵 | mbar•L/s | E-7 |
| テストポート | DN 25 KF | |
| 調整可能なトリガー | 2 | |
| インターフェース | RS232 | |
| チャートレコーダー出力 | V | 2x10 |
| 入出力 | PLC対応 | |
| 許容周囲温度（動作時） | °C | +10.....+40 |
| 重量 | kg lb | 110 242 |
| 寸法（長さ×幅×高さ） | mm in | 1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33 |
| 電源電圧 | V (AC) V (AC) V (AC) | 230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz |
| 消費電力 | VA | 1100 |
| ヘリウムの最小検出リーク率（真空モード） | mbar•L/s | < 5·10-12 |
| ヘリウムの最小検出可能リーク率（スニファーモード） | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| 最大入口圧力 GROSSモード | mbar | 15 |
| 最大ファインモード | mbar | 2 |
| 最大入口圧力 ULTRAモード | mbar | 0.4 |
| フォア真空ポンプタイプ | ドライコンプレッサー | |
| 避難時のポンピング速度 | m³/h | 25 at 50 Hz |
| ヘリウム圧送速度 ULTRAモード | L/s | 2.5 |
| 検出可能な質量 | 2,3,4 amu | |
| 質量分析分野 | 180° | |
| フィラメントイオンソース イリジウム/イットリアコーティング | 2 | |
| 校正された内蔵リーク | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
| テストポート | DN 25 KF/(DN 40 KF) | |
| 調整可能なトリガー | 2 | |
| インターフェース | RS 232 | |
| チャートレコーダー出力 | V | 2 x10 |
| 入出力 | PLC対応 | |
| 許容周囲温度（動作時） | °C | +10 to +40 |
| 重量 | kg lb | 110 242 |
| 寸法（長さ×幅×高さ） | mm in. | 1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39 |
| 電源電圧 (EU) | V (AC) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
| 電源電圧 (US) | V (AC) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
| 消費電力 typ. | VA | 1100 |
| 消費電力（最大） | VA | 1100 |
ご注文について
| 550-000A | UL1000, 230 V AC, DN 25 KF |
| 550-001A | UL1000, 115 V AC, DN 25 KF |
| 550-002A | UL1000, 100 V AC, DN 25 KF |
| 550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF |
| 550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF |
| 550-102 | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF |
| 14022 | リモートコントロールRC1000用延長ケーブル、長さ8m |
| 551-000 | ツールボックス、UL1000用着脱式 |
| 551-001 | UL1000/5000用ヘリウムボトルホルダー |
| 551-002 | UL1000/5000用ESDマット |
| 551-005 | TC1000テストチャンバー、DN 25 KF、ESDリストバンド |
| 551-010 | リモートコントロールRC1000C、有線、4mケーブル付き |
| 551-015 | リモコンRC1000WL, ワイヤレス, ワイヤレス送信機を含む |
| 551-020 | RC1000WL用ワイヤレストランスミッター |
| 551-050 | SMART-Sprayヘリウムスプレーガンセット |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8（校正なし） |
ダウンロード
真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス（ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど）に合わせてご選定ください。
内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。
リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。
測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。
リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。
製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。
・Pa m3/s：SI単位、日本工業規格（JIS）に規定されています。
・atm cc/s：非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量（cc)であり、イメージしやすい単位です。（1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s）
・mbar l/s：欧州圏で使用されている単位です。（1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s）
・g/a：主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量（g）です。
Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0（Division 1に相当）に対応しています。
検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。
Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量（cc）を表しています。
E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2～200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。
P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード（3000sccm）に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。
大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。