UL6000 Fab Series
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS
リークテストの速度と精度の基準を設定します。
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICONのUL6000ヘリウムリークディテクターは最も重要で需要が大きいリーク検出作業に適するようデザインされています。INFICON独自のソフトウェアアルゴリズムI-CAL と、現場で証明されてきた真空デザインHydro-Sの特性を生かしたUL6000は、テストにおける柔軟性、高感度、速くて正確な結果を実現し、あらゆるリーク検出作業を迅速かつ簡単にします。
The UL6000は全計測範囲ですばやく反応し、テスト条件と最終結果に到るサイクル時間を大幅に短縮します。特別にデザインされた真空設計はヘリウムポンプスピードを高く保ち、必要とされる時間に非常に迅速に反応します。
リーク検知は時間がかかる上に複雑です。上昇率を測定することで、半導体や真空装置は運転中に継続的にモニターされます。この一体型リークテストによってリークが示されると、ヘリウム噴霧法を用いてリーク位置が特定され、必要な修理が可能になります。これに続いて、圧力上昇またはいわゆる真空減衰測定を使用した別のリークテストが行われます。この複雑なプロセスは、すべてのリークが検出されるまで繰り返される必要があります。さらに、可能な限り正確を期すため、この手順の測定時間は、機器の容積が大きい場合、特に長くなることが多い。I-RISE（インテリジェント・レート・オブ・ライズ）機能により、新しいUL6000 Fab PLUSは圧力上昇測定を単独で行い、ヘリウム噴霧法と組み合わせることができるようになりました。当社の特許取得済みシステムにより、測定時間が大幅に短縮され、リークテストとファブ機器のメンテナンスにかかる一般的な時間を最小限に抑えることができます。チャンバー容積に関係なく、10秒以内で、より速く、より正確な測定結果を体験してください。
利点
Fab製品シリーズ
- ULTRATEST センサーテクノロジー
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression)により、テスト条件に素早く到達。
- CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates)により、すべての測定範囲においてリークへの迅速な対応が可能。
- 特別なマルチインレットターボ分子ポンプは、最適化された高速ヘリウムポンプスピードと全圧力での高圧ヘリウム圧縮を提供し、優れた感度、応答性、高速クリーンアップを実現します。
- ブースターターボ分子ポンプは、最大の容積とチャンバーを含む、どのようなテスト対象に対しても非常に速い反応を実現します。
- 現場で実証済みのINFICON磁気セクター質量分析計は、トラブルフリーでメンテナンス不要のデザインで、何年にもわたって正確で再現性のある結果を提供します。
- UL6000をヘリウムや微粒子汚染から守るセルフプロテクション機能、そして必要なときにUL6000が準備できていることを確実にするオートパージサイクル。
- 回転可能なディスプレイ/コントロールインターフェースとオプションのリモートハンドコントローラーにより、柔軟な操作が可能です。
- 本体やシステムソフトウェアへのアクセスは、ソフトウェアで制御できます。
- 電子メールによるソフトウェア・アップデートにより、UL6000の性能を常に最適な状態に保つことができます。
- テストに便利なESDマットとツールボックスを備えた、最適な高さの作業面を備えたワークステーションデザイン。
Fab PLUS製品シリーズ
- インテリジェントな昇圧率、I-RISEを搭載： ヘリウムスプレー法と組み合わせた装置内圧力上昇試験を提供します。
- 10秒以内で上昇率を測定
- リークテストとファブ機器のメンテナンスにかかる一般的な時間を最小限に抑えます。
- より速く、より正確に
標準的なアプリケーション
- 半導体およびフラットパネルディスプレイで利用されるコンポーネント、サブアセンブリおよび大型チャンバーのリークテスト
- 半導体、フラットパネル装置のリークテスト
- 航空宇宙関連コンポーネント、サブアセンブリおよびシステムのリークテスト
- 貯蔵容器/貯蔵タンクのリークテスト
仕様
| Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
| Type of roughing pump | roots | |
| Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
| Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
| Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
| Evacuation Time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Response time for 50 L | s | 1.4 |
| Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
| Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
| Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
| Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
| Run up time for operation | min | <2 |
| Time for calibration | s | <30 s |
| Inlet flange | DN63 ISO-K | |
| Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Max. Power Consumption | VA | 1500 |
| Typ. Power Consumption | VA | 700 |
| Weight | kg | 143 |
| Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
| Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
| Type of roughing pump | roots | |
| Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
| Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
| Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
| Response time for 50 L | s | 1.4 |
| Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
| Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
| Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
| Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
| Run up time for operation | min | <2 |
| Time for calibration | s | <30 s |
| Time for rate-of-rise measurement (I·RISE) | s | <10 |
| Inlet flange | DN63 ISO-K | |
| Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Max. Power Consumption | VA | 1500 |
| Typ. Power Consumption | VA | 700 |
| Weight | kg | 143 |
| Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
ご注文について
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
| 525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
| 525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
| 525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
| 551-203 | Bracket for SL3000 |
| 551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
| 551-201 | Helium Bottle Holder |
| 560-310 | I/O 1000 module |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet module |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
| 560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Data Cable 2 m |
| 560-335 | Data Cable 5 m |
| 560-340 | Data Cable 10 m |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
ダウンロード
真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス（ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど）に合わせてご選定ください。
内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。
リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。
測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。
リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。
製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。
・Pa m3/s：SI単位、日本工業規格（JIS）に規定されています。
・atm cc/s：非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量（cc)であり、イメージしやすい単位です。（1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s）
・mbar l/s：欧州圏で使用されている単位です。（1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s）
・g/a：主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量（g）です。
Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0（Division 1に相当）に対応しています。
検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。
Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量（cc）を表しています。
E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2～200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。
P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード（3000sccm）に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。
大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。