xParts コーティングサービス
ALDコーティングサービス
xPartsコーティングは、半導体製造工程のような過酷な用途で使用される、お客様固有の三次元部品に適用される、非常に均一で粒子のないALD（原子層堆積法）薄膜です。
xPartsのコーティングは、重要な部品の寿命を延ばし、製造装置の稼働時間を保証します。
顧客ニーズ | xPartsの特徴 | アドバンテージ |
|---|---|---|
ツールアップタイム | 高い耐腐食性 | 部品の長寿命化 |
拡散バリア | コンディショニングの軽減 | |
良好な歩留まり | 低金属コンタミ | 不良品・コンタミの低減 |
良好なウェハー | パーティクルフリー | PM後の不具合・回復の少なさ |
所有コスト | 改修プログラム | 所有権のコスト低減 |
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