光学式ガス分析計
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光学式ガス分析と全圧測定用のデュアルゲージ
Augent® OPG550
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augent® OPG550
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
光学式ガス分析計
Quantus® HP100
最先端の半導体製造プロセスやその他のガス分析アプリケーションに、リアルタイムの漏れ検知、終点検知、プロセスモニタリングを提供します。
Quantus® HP100
- 動作範囲：1Torr～450Torr
- 優れた検出限界 < 1 ppm
- 長期信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け
光学式ガス分析計
Quantus® LP100
重要なプロセス環境において、リアルタイムのリーク検出と終点検出を実現
Quantus® LP100
- 10mTorrから1Torrの動作範囲
- 低 ppm レベルまでの優れた検出限界
- 長期的な信頼性：ポンプ不要
- 標準的なKF25接続による簡単な取り付け