真空フィードスルー
同軸フィードスルー
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONでは、特殊要求向けにBNC/MHV同軸フィールドスルーを提供しています。これはMIL-C-39012Aに基づくもので、ISO-KFおよびCF-Fフランジのものが入手可能です。5種類の使用範囲で用意しています。
利点
- MIL-C-39012Aに基づく
- 最大電圧5kV DC
- 気圧コネクター付き
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
BNC DN16 ISO-KF
MHV DN16 ISO-KF
BNC DN16 CF-F
MHV DN16 CF-F
MHV DN40 CF-F
| 真空接続 | DN 16 ISO-KF | |
| フィードスルーの数 | 1 | |
| 電圧 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 0.35 |
| DC | kV | 0.5 |
| 電流 | A | 3 |
| 周波数 | MHz | 150 |
| インピーダンス | Ω | 50-60 |
| 20°Cでの絶縁抵抗 | Ω | 1010 |
| タイトネス | mbar•l/s | 1 × 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) 1) | 1 x 10-8 mbar … 2.5 bar | |
| 材料 | ||
| ハウジング、フランジ、導体 | ステンレススチール | |
| フィードスルー、シール | Al2O3 | |
| ベークアウト温度 | ||
| コネクタ付き | °C | 50 |
| コネクタなし | °C | 200 |
| 標準接続 | ||
| 大気コネクタ | UG 88/U | |
| ケーブル | RG 58/U | |
| 重量 | kg | 0.1 |
1) 400°Cでの圧力：2バール
| ||
| 真空接続 | DN 16 ISO-KF | |
| フィードスルーの数 | 1 | |
| 電圧 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 電流 | A | 3 |
| 周波数 | MHz | |
| インピーダンス | Ω | |
| 20°Cでの絶縁抵抗 | Ω | 1010 |
| タイトネス | mbar•l/s | 1 × 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) 1) | 1 x 10-8 mbar … 2.5 bar | |
| 材料 | ||
| ハウジング、フランジ、導体 | ステンレススチール | |
| フィードスルー、シール | Al2O3 | |
| ベークアウト温度 | ||
| コネクタ付き | °C | 50 |
| コネクタなし | °C | 200 |
| 標準接続 | ||
| 大気コネクタ | UG 932/U | |
| ケーブル | RG 59/U | |
| 重量 | kg | 0.1 |
1) 400°Cでの圧力：2バール
| ||
| 真空接続 | 16 ISO-CF-F | |
| フィードスルーの数 | 1 | |
| 電圧 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 0.35 |
| DC | kV | 0.5 |
| 電流 | A | 3 |
| 周波数 | MHz | 150 |
| インピーダンス | Ω | 50-60 |
| 20°Cでの絶縁抵抗 | Ω | 1010 |
| タイトネス | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 圧力 (絶対圧力) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 材料 | ||
| ハウジング、フランジ、導体 | ステンレススチール | |
| フィードスルー、シール | Al2O3 | |
| ベークアウト温度 | ||
| コネクタ付き | °C | 50 |
| コネクタなし | °C | 400 |
| 標準接続 | ||
| 大気コネクタ | UG 88/U | |
| ケーブル | RB 58/U | |
| 重量 | kg | 0.14 |
1) 400°Cでの圧力：2バール
| ||
| 真空接続 | 16 ISO-CF-F | |
| フィードスルーの数 | 1 | |
| 電圧 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 電流 | A | 3 |
| 周波数 | MHz | |
| インピーダンス | Ω | |
| 20°Cでの絶縁抵抗 | Ω | 1010 |
| タイトネス | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 圧力 (絶対圧力) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 材料 | ||
| ハウジング、フランジ、導体 | ステンレススチール | |
| フィードスルー、シール | Al2O3 | |
| ベークアウト温度 | ||
| コネクタ付き | °C | 50 |
| コネクタなし | °C | 400 |
| 標準接続 | ||
| 大気コネクタ | UG 932/U | |
| ケーブル | RG 59/U | |
| 重量 | kg | 0.14 |
1) 400°Cでの圧力：2バール
| ||
| 真空接続 | 40 ISO-CF-F | |
| フィードスルーの数 | 3 | |
| 電圧 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 電流 | A | 3 |
| 周波数 | MHz | |
| インピーダンス | Ω | |
| 20°Cでの絶縁抵抗 | Ω | 1010 |
| タイトネス | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 圧力 (絶対圧力) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 材料 | ||
| ハウジング、フランジ、導体 | ステンレススチール | |
| フィードスルー、シール | Al2O3 | |
| ベークアウト温度 | ||
| コネクタ付き | °C | 50 |
| コネクタなし | °C | 400 |
| 標準接続 | ||
| 大気コネクタ | UG 932/U | |
| ケーブル | RG 59/U | |
| 重量 | kg | 0.5 |
1) 400°Cでの圧力：2バール
| ||
品番
| 品番 | 商品説明 |
| 214-151 | Coaxial Feedthroughs, BNC DN16 ISO-KF |
| 214-152 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN16 ISO-KF |
| 214-155 | Coaxial Feedthroughs, BNC DN16 CF-F |
| 214-156 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN16 CF-F |
| 214-157 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN40 CF-F |
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データシート
Koaxialdurchführungen BNC MHV DE
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Coaxial Feedthroughs BNC MHV EN
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Terminales de paso coaxiales BNC MHV ES
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동축 피드스루 BNC MHV KO
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同轴馈入装置 BNC MHV ZH
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同軸フィードスルー BNC MHV JA
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