真空フィードスルー
回転式/直線状モーションフィードスルー
回転式/直線状モーションフィードスルー
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- 2つのFPMシャフトシール
- ダイレクトプッシュ/プルとロータリーアクチュエーション
- ロッキングリングとオプションの回転防止デバイス
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
| 真空接続 | DN16 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト接続 | M3/Ø5mm | |
| 移動距離 | mm | 50 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大移動時の半径力 | N | 10 |
| ねじりトルク | Nm | 2 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304/1.4301, アルミニウム 6082 | |
重量
| kg | 0.1 |
| 真空接続 | DN25 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト接続 | M4/Ø8mm | |
| 移動距離 | mm | 100 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大移動時の半径力 | N | 15 |
| ねじりトルク | Nm | 8 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304/1.4301, アルミニウム 6082 | |
重量
| kg | 0.2 |
| 真空接続 | DN40 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト接続 | M6/Ø12mm | |
| 移動距離 | mm | 150 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大移動時の半径力 | N | 30 |
| ねじりトルク | Nm | 20 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304/1.4301, アルミニウム 6082 | |
重量
| kg | 0.3 |
品番
| 品番 | 商品説明 |
| FCH016-H | |
| 214-320 | Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF |
| 214-072 | Anti-rotation device, DN16 ISO-KF |
| FCH025-H | |
| 214-322 | Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF |
| 214-073 | Anti-rotation device, DN25 ISO-KF |
| FCH040-H | |
| 214-324 | Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF |
| 214-074 | Anti-rotation device, DN40 ISO-KF |
ダウンロード
データシート
Dreh-/Schiebedurchführungen ISO-KF DE
pdf
•
275,0 KB
•
ドイツ語
•
データシート
Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF EN
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•
274,3 KB
•
英語版
•
データシート
Terminales de paso de movimiento lineal/giratorio ISO-KF ES
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•
274,2 KB
•
スペイン語
•
データシート
로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF KO
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•
315,5 KB
•
韓国語
•
データシート
旋转/直线运动馈入装置 ISO-KF ZH
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•
362,6 KB
•
中国語
•
データシート
回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF JA
pdf
•
367,1 KB
•
日本語
•
データシート
