真空フィードスルー
回転式/直線状モーションフィードスルー
回転式/直線状モーションフィードスルー
![Rotary-Linear-Motion-Feedthroughs-ISO-KF Rotary-Linear-Motion-Feedthroughs-ISO-KF](/uploads/media/500x335/04/1094-Rotary-Linear-Motion-Feedthroughs-ISO-KF.png?v=1-0)
ACADEMY
関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- 2つのFPMシャフトシール
- ダイレクトプッシュ/プルとロータリーアクチュエーション
- ロッキングリングとオプションの回転防止デバイス
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
真空接続 | DN16 ISO-KF | |
フィードスルー/シール | FPM | |
シャフト接続 | M3/Ø5mm | |
移動距離 | mm | 50 |
シャフト負荷 | ||
最大移動時の半径力 | N | 10 |
ねじりトルク | Nm | 2 |
タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
使用温度 | °C | 50 |
ベークアウト温度 | °C | 110 |
接ガス材料 | ステンレススチール 304/1.4301, アルミニウム 6082 | |
重量
| kg | 0.1 |
寸法図
真空接続 | DN25 ISO-KF | |
フィードスルー/シール | FPM | |
シャフト接続 | M4/Ø8mm | |
移動距離 | mm | 100 |
シャフト負荷 | ||
最大移動時の半径力 | N | 15 |
ねじりトルク | Nm | 8 |
タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
使用温度 | °C | 50 |
ベークアウト温度 | °C | 110 |
接ガス材料 | ステンレススチール 304/1.4301, アルミニウム 6082 | |
重量
| kg | 0.2 |
寸法図
品番
品番 | 商品説明 |
FCH016-H | |
214-320 | Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF |
214-072 | Anti-rotation device, DN16 ISO-KF |
FCH025-H | |
214-322 | Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF |
214-073 | Anti-rotation device, DN25 ISO-KF |
FCH040-H | |
214-324 | Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF |
214-074 | Anti-rotation device, DN40 ISO-KF |
ダウンロード
データシート
Dreh-/Schiebedurchführungen ISO-KF DE
pdf
•
275,0 KB
•
ドイツ語
•
データシート
Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF EN
pdf
•
274,3 KB
•
英語版
•
データシート
Terminales de paso de movimiento lineal/giratorio ISO-KF ES
pdf
•
274,2 KB
•
スペイン語
•
データシート
로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF KO
pdf
•
315,5 KB
•
韓国語
•
データシート
旋转/直线运动馈入装置 ISO-KF ZH
pdf
•
362,6 KB
•
中国語
•
データシート
回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF JA
pdf
•
367,1 KB
•
日本語
•
データシート
3Dファイル
FCH016-H anti-rotation device
zip
•
36,4 KB
•
3Dファイル
FCH016-H feedthrough
zip
•
50,0 KB
•
3Dファイル
FCH025-H anti-rotation device
zip
•
33,4 KB
•
3Dファイル
FCH025-H feedthrough
zip
•
51,5 KB
•
3Dファイル
FCH040-H anti-rotation device
zip
•
36,7 KB
•
3Dファイル
FCH040-H feedthrough
zip
•
54,6 KB
•
3Dファイル