真空フィードスルー
回転式フィードスルー
回転式フィードスルー
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
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Flange connection to vacuum chamber
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- シール済みベロー
- オールメタルバージョン
- 非常に困難な真空の必要条件を満たすために
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
| 真空接続 | DN16 ISO-CF-F | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | mm | 4 |
| トルク伝達 | ||
| ダイナミック | Nm | 0.4 |
| ダイナミック、300 °C | Nm | 0.2 |
| 静電気 | Nm | 0.2 |
| 回転速度 | rpm | 200 |
| 最大トルク | rpm | ─ |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 10 |
| 軸方向力 | N | 5 |
| サービスライフ | 回転数 | 1'000'000 |
| 目盛分割 | 度 | 10 |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 使用温度 | °C | 300 |
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 304/1.4301, –/2.4360 | |
重量
| kg | 0.3 |
| 真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | mm | 8 |
| トルク伝達 | ||
| ダイナミック | Nm | 4 |
| ダイナミック、300 °C | Nm | 2 |
| 静電気 | Nm | 3 |
| 回転速度 | rpm | 1000 |
| 最大トルク | rpm | 500 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 60 |
| 軸方向力 | N | 20 |
| サービスライフ | 回転数 | 2'000'000 |
| 目盛分割 | 度 | ─ |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 使用温度 | °C | 300 |
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 304/1.4301 | |
重量
| kg | 1.5 |
| 真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | mm | 12 |
| トルク伝達 | ||
| ダイナミック | Nm | 10 |
| ダイナミック、300 °C | Nm | 2 |
| 静電気 | Nm | 5 |
| 回転速度 | rpm | 500 |
| 最大トルク | rpm | 300 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 100 |
| 軸方向力 | N | 30 |
| サービスライフ | 回転数 | 1'000'000 |
| 目盛分割 | 度 | ─ |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 使用温度 | °C | 300 |
| ベークアウト温度 | °C | 300 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 304/1.4301, ステンレススチール 303/1.4305 | |
重量
| kg | 3.0 |
品番
| 品番 | 商品説明 |
| 214-310 | Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F |
| 214-312 | Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F |
| 214-314 | Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F |
ダウンロード
データシート
Drehdurchführungen CF DE
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310,1 KB
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ドイツ語
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データシート
Rotary Feedthroughs CF EN
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309,5 KB
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英語版
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データシート
Terminales de paso de giro CF ES
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310,0 KB
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スペイン語
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データシート
로터리 피드스루 CF KO
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韓国語
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データシート
旋转馈入装置 CF ZH
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395,3 KB
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中国語
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データシート
回転式フィードスルー CF JA
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日本語
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