回転式フィードスルーISO-KF/ISO-K
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リークレート1 x 10-10 Pa m3/s (1 x 10-9 mbar l/s) までの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- 高トルク伝達用
- FPMシャフトシールとボールベアリング付き
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
| 真空接続 | DN16 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト測定 | mm | Ø5 |
| トルク伝達 | nm | 1.5 |
| 回転速度 (1) | RPM | 1500 |
| 真空下のアイドリング トルク | N•cm | ≤ 3 |
| 真空下の始動トルク | N•cm | ≤ 6 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 60 |
| 軸方向力 | N | 30 |
| サービスライフ | 回転数 | 20 000 000 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 420/1.4021, アルミニウム 6082, エラストマー FPM | |
| 重量 | kg | 0.1 |
| ||
(1) 製品寿命が短縮されても構わない場合、回転速度を最大2倍まで増加させることが可能です。 (2) DN63 ISO-Kに該当する | ||
製品パッケージにはセンタリングリングが含まれていません。 CR アルミニウム・センタリング No. 212-251 FPM ステンレススチール・センタリング No. 212-281。 | ||
| 真空接続 | DN25 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト測定 | mm | Ø8 |
| トルク伝達 | nm | 6 |
| 回転速度 (1) | RPM | 1000 |
| 真空下のアイドリング トルク | N•cm | ≤ 4 |
| 真空下の始動トルク | N•cm | ≤ 8 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 150 |
| 軸方向力 | N | 50 |
| サービスライフ | 回転数 | 20 000 000 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 420/1.4021, アルミニウム 6082, エラストマー FPM | |
| 重量 | kg | 0.2 |
| ||
(1) 製品寿命が短縮されても構わない場合、回転速度を最大2倍まで増加させることが可能です。 (2) DN63 ISO-Kに該当する | ||
製品パッケージにはセンタリングリングが含まれていません。 CR アルミニウム・センタリング No. 212-251 FPM ステンレススチール・センタリング No. 212-281。 | ||
| 真空接続 | DN40 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト測定 | mm | Ø12 |
| トルク伝達 | nm | 25 |
| 回転速度 (1) | RPM | 750 |
| 真空下のアイドリング トルク | N•cm | ≤ 5 |
| 真空下の始動トルク | N•cm | ≤ 10 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 250 |
| 軸方向力 | N | 60 |
| サービスライフ | 回転数 | 20 000 000 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 420/1.4021, アルミニウム 6082, エラストマー FPM | |
| 重量 | kg | 0.6 |
| ||
(1) 製品寿命が短縮されても構わない場合、回転速度を最大2倍まで増加させることが可能です。 (2) DN63 ISO-Kに該当する | ||
製品パッケージにはセンタリングリングが含まれていません。 CR アルミニウム・センタリング No. 212-251 FPM ステンレススチール・センタリング No. 212-281。 | ||
| 真空接続 | DN63 ISO-KF | |
| フィードスルー/シール | FPM | |
| シャフト測定 | mm | Ø20 |
| トルク伝達 | nm | 100 |
| 回転速度 (1) | RPM | 500 |
| 真空下のアイドリング トルク | N•cm | ≤ 10 |
| 真空下の始動トルク | N•cm | ≤ 20 |
| シャフトロード真空側 | ||
| 半径方向力 | N | 500 |
| 軸方向力 | N | 100 |
| サービスライフ | 回転数 | 10 000 000 |
| タイトネス、静的 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 使用温度 | °C | 50 |
| ベークアウト温度 | °C | 110 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 420/1.4021, アルミニウム 6082, エラストマー FPM | |
| 重量 | kg | 2 |
| ||
(1) 製品寿命が短縮されても構わない場合、回転速度を最大2倍まで増加させることが可能です。 (2) DN63 ISO-Kに該当する | ||
製品パッケージにはセンタリングリングが含まれていません。 CR アルミニウム・センタリング No. 212-251 FPM ステンレススチール・センタリング No. 212-281。 | ||
パーツ番号
| FRH016-H | |
| 214-300 | FRH016-H Rotary feedthrough DN16 ISO-KF |
| FRH025-H | |
| 214-302 | FRH025-H Rotary feedtrough DN25 ISO-KF |
| FRH040-H | |
| 214-304 | FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF |
| 214-347 | FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF |
| FRH063-H | |
| 214-306 | FRH063-H Rotary feedthrough DN63 ISO-K |
