真空フィードスルー
直線状モーションフィードスルー
![Linear-Motion-Feedthroughs-CF Linear-Motion-Feedthroughs-CF](/uploads/media/500x335/05/1105-Linear-Motion-Feedthroughs-CF.png?v=1-0)
ACADEMY
関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- さらに厳しい要求事項を満たしたベロー
- ダイレクト プッシュ/プル アクチュエーション
- ねじマイクロメータによる高精度調整
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
真空接続 | DN16 ISO-CF-R | |
フィードスルー/シール | ベローズ | |
シャフト接続 | M4x16 mm | |
アクチュエータ | マニュアル | |
移動距離 | mm | 25 |
回転あたりの移動量 | mm | |
目盛分割 | mm | 5 |
シャフト負荷 | ||
最大半径方向力 | N | 20 |
軸方向力真空 | N | 85 |
大気圧に対する軸力 | N | 100 |
ねじりトルク | Nm | 0.2 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
ベークアウト温度 | ||
フィードスルー | °C | 300 |
マイクロメーターネジ | °C | |
接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.15 |
真空接続 | DN40 ISO-CF-R | |
フィードスルー/シール | ベローズ | |
シャフト接続 | M6x10 mm, Ø10 mm | |
アクチュエータ | マニュアル | |
移動距離 | mm | 50 |
回転あたりの移動量 | mm | |
目盛分割 | mm | 10 |
シャフト負荷 | ||
最大半径方向力 | N | 100 |
軸方向力真空 | N | 140 |
大気圧に対する軸力 | N | 200 |
ねじりトルク | Nm | 0.5 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
ベークアウト温度 | ||
フィードスルー | °C | 300 |
マイクロメーターネジ | °C | |
接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.75 |
真空接続 | DN16 ISO-CF-R | |
フィードスルー/シール | ベローズ | |
シャフト接続 | M4x16 mm | |
アクチュエータ | マイクロメーターネジ | |
移動距離 | mm | 20 |
回転あたりの移動量 | mm | 0.5 |
目盛分割 | mm | 0.01 |
シャフト負荷 | ||
最大半径方向力 | N | 20 |
軸方向力真空 | N | 185 |
大気圧に対する軸力 | N | 200 |
ねじりトルク | Nm | 0.2 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
ベークアウト温度 | ||
フィードスルー | °C | 300 |
マイクロメーターネジ | °C | 100 |
接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.25 |
真空接続 | DN40 ISO-CF-R | |
フィードスルー/シール | ベローズ | |
シャフト接続 | M6x10mm, Ø10 mm | |
アクチュエータ | マイクロメーターネジ | |
移動距離 | mm | 50 |
回転あたりの移動量 | mm | 1 |
目盛分割 | mm | 0.005 |
シャフト負荷 | ||
最大半径方向力 | N | 100 |
軸方向力真空 | N | 440 |
大気圧に対する軸力 | N | 500 |
ねじりトルク | Nm | 0.5 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
ベークアウト温度 | ||
フィードスルー | °C | 300 |
マイクロメーターネジ | °C | 100 |
接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 1 |
品番
品番 | 商品説明 |
214-330 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-H, DN16 ISO-CF-R |
214-332 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-H, DN40 ISO-CF-R |
214-334 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-Z, DN16 ISO-CF-R |
214-336 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-Z, DN40 ISO-CF-R |
ダウンロード
データシート
Lineardurchführungen CF DE
pdf
•
306,7 KB
•
ドイツ語
•
データシート
Linear Motion Feedthroughs CF EN
pdf
•
306,0 KB
•
英語版
•
データシート
Terminales de paso de movimiento lineal CF ES
pdf
•
306,2 KB
•
スペイン語
•
データシート
선형 동작 피드스루 CF KO
pdf
•
348,5 KB
•
韓国語
•
データシート
直线运动馈入装置 CF ZH
pdf
•
398,6 KB
•
中国語
•
データシート
直線状モーションフィードスルー CF JA
pdf
•
403,6 KB
•
日本語
•
データシート