真空フィードスルー
直線状モーションフィードスルー
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。
利用可能なフランジデザインISO-KF/ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar•l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。
利点
- さらに厳しい要求事項を満たしたベロー
- ダイレクト プッシュ/プル アクチュエーション
- ねじマイクロメータによる高精度調整
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| 真空接続 | DN16 ISO-CF-R | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | M4x16 mm | |
| アクチュエータ | マニュアル | |
| 移動距離 | mm | 25 |
| 回転あたりの移動量 | mm | |
| 目盛分割 | mm | 5 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大半径方向力 | N | 20 |
| 軸方向力真空 | N | 85 |
| 大気圧に対する軸力 | N | 100 |
| ねじりトルク | Nm | 0.2 |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| ベークアウト温度 | ||
| フィードスルー | °C | 300 |
| マイクロメーターネジ | °C | |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.15 |
| 真空接続 | DN40 ISO-CF-R | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | M6x10 mm, Ø10 mm | |
| アクチュエータ | マニュアル | |
| 移動距離 | mm | 50 |
| 回転あたりの移動量 | mm | |
| 目盛分割 | mm | 10 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大半径方向力 | N | 100 |
| 軸方向力真空 | N | 140 |
| 大気圧に対する軸力 | N | 200 |
| ねじりトルク | Nm | 0.5 |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| ベークアウト温度 | ||
| フィードスルー | °C | 300 |
| マイクロメーターネジ | °C | |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.75 |
| 真空接続 | DN16 ISO-CF-R | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | M4x16 mm | |
| アクチュエータ | マイクロメーターネジ | |
| 移動距離 | mm | 20 |
| 回転あたりの移動量 | mm | 0.5 |
| 目盛分割 | mm | 0.01 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大半径方向力 | N | 20 |
| 軸方向力真空 | N | 185 |
| 大気圧に対する軸力 | N | 200 |
| ねじりトルク | Nm | 0.2 |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| ベークアウト温度 | ||
| フィードスルー | °C | 300 |
| マイクロメーターネジ | °C | 100 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.25 |
| 真空接続 | DN40 ISO-CF-R | |
| フィードスルー/シール | ベローズ | |
| シャフト接続 | M6x10mm, Ø10 mm | |
| アクチュエータ | マイクロメーターネジ | |
| 移動距離 | mm | 50 |
| 回転あたりの移動量 | mm | 1 |
| 目盛分割 | mm | 0.005 |
| シャフト負荷 | ||
| 最大半径方向力 | N | 100 |
| 軸方向力真空 | N | 440 |
| 大気圧に対する軸力 | N | 500 |
| ねじりトルク | Nm | 0.5 |
| タイトネス | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 圧力 (絶対圧力) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| ベークアウト温度 | ||
| フィードスルー | °C | 300 |
| マイクロメーターネジ | °C | 100 |
| 接ガス材料 | ステンレススチール 304L/1.4306, ステンレススチール 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 1 |
品番
| 品番 | 商品説明 |
| 214-330 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-H, DN16 ISO-CF-R |
| 214-332 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-H, DN40 ISO-CF-R |
| 214-334 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-Z, DN16 ISO-CF-R |
| 214-336 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-Z, DN40 ISO-CF-R |
ダウンロード
データシート
Lineardurchführungen CF DE
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ドイツ語
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Linear Motion Feedthroughs CF EN
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英語版
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Terminales de paso de movimiento lineal CF ES
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スペイン語
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선형 동작 피드스루 CF KO
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直线运动馈入装置 CF ZH
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直線状モーションフィードスルー CF JA
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