真空フィードスルー

金属セラミック接続

Metal-Ceramic-Connections-2kV-to-10kV
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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利点

  • 最高 400℃ で繰り返しベークされたハイグレードな材料
  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

3 kV
2 kV
5 kV
10 kV
電圧 1) 3 kV
絶縁体 Al2O3
接続
a Fe-Ni
b Fe-Ni
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
重量g5
1) 両側の大気中での空気および表面漏れに関するVDE 0110に基づく。

    圧力が10⁻⁴ mbar未満の場合、値が最大で2倍まで許容される。

 

電圧 1) 2 kV
絶縁体 Al2O3
接続 
a Fe-Co
b ステンレススチール
304/1.4301
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
重量g12
1) 両側の大気中での空気および表面漏れに関するVDE 0110に基づく。

    圧力が10⁻⁴ mbar未満の場合、値が最大で2倍まで許容される。

 

電圧 1) 5 kV
絶縁体 Al2O3
接続 
a Fe-Co
b ステンレススチール
304/1.4301
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
重量g25
1) 両側の大気中での空気および表面漏れに関するVDE 0110に基づく。

    圧力が10⁻⁴ mbar未満の場合、値が最大で2倍まで許容される。

 

電圧 1) 10 kV
絶縁体 Al2O3
接続 
a Fe-Ni
b ステンレススチール
304/1.4301
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
重量g90
1) 両側の大気中での空気および表面漏れに関するVDE 0110に基づく。

    圧力が10⁻⁴ mbar未満の場合、値が最大で2倍まで許容される。

 

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

品番商品説明
214-161Metal Ceramic Connections, 3 kV Connector
214-162Metal Ceramic Connections, 2 kV Connector
214-163Metal Ceramic Connections, 5 kV Connector
214-164Metal Ceramic Connections, 10 kV Connector
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