真空フィードスルー

電気フィードスルー

Electrical-Feedthroughs-DN40-CF-F
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONは、長年にわたって、世界中の標準真空応用製品に採用されているお求めやすい価格のISO-KFフランジフィードスルーを提供しています。このフィードスルーに加えて、当社は真空チャンバの真空側および大気側用の様々なコネクタも用意しています。

UHV用途向けに、さまざまなサイズおよび技術仕様のCFフランジ付きのフィードスルーをご利用いただけます。

利点

  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

1 フィードスルー
1 フィードスルー (高電流)
2 フィードスルー
4 フィードスルー
9 フィードスルー
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルーの数 1
極ごとの電圧kV0.3
極ごとの電流A70
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar...2 bar
フランジ ステンレススチール 304L/1.4306
導体 無酸素銅 2.0040
絶縁体 酸化アルミニウムセラミック Al2O3
重量kg0.15
接続部:真空側 
個数 2
最大電流A20
ベークアウト温度°C400
材料 ステンレススチール 304/1.4301
コネクタ:大気側 
個数 2
最大電流A100
絶縁、使用上限V(ac)/V(dc)非絶縁
ベークアウト温度°C150

コンタクト

 

 銀メッキ真鍮

寸法図

寸法図
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルーの数 1
極ごとの電圧kV1
極ごとの電流A200/1000 1)
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar...2 bar
フランジ ステンレススチール 304L/1.4306
導体 無酸素銅 2.0040
絶縁体 酸化アルミニウムセラミック Al2O3
重量kg0.5
接続部:真空側 
個数 1
最大電流A1000 1)
ベークアウト温度°C400
材料 2.0060
コネクタ:大気側 
個数 1
最大電流A250
絶縁、使用上限V(ac)/V(dc)30/60
ベークアウト温度°C150
コンタクト 銀メッキ真鍮

1) 水冷付き

 

寸法図

寸法図
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルーの数 2
極ごとの電圧kV4
極ごとの電流A150
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar...2 bar
フランジ ステンレススチール 304L/1.4306
導体 無酸素銅 2.0040
絶縁体 酸化アルミニウムセラミック Al2O3
重量kg0.45
接続部:真空側 
個数 2
最大電流A100
ベークアウト温度°C400
材料 ステンレススチール 304/1.4301
コネクタ:大気側 
個数 2
最大電流A100
絶縁、使用上限V(ac)/V(dc)30/60
ベークアウト温度°C50

コンタクト

 

 銀メッキ真鍮

寸法図

寸法図
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルーの数 4
極ごとの電圧kV1
極ごとの電流A8
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar...2 bar
フランジ ステンレススチール 304L/1.4306
導体 ステンレススチール 304/1.4301
絶縁体 酸化アルミニウムセラミック Al2O3
重量kg0.3
接続部:真空側 
個数 5
最大電流A12
ベークアウト温度°C400
材料 ステンレススチール 304/1.4301
コネクタ:大気側 
個数 5
最大電流A25
絶縁、使用上限V(ac)/V(dc)30/60
ベークアウト温度°C50

コンタクト

 

 金メッキ真鍮

寸法図

寸法図
真空接続 DN40 ISO-CF-F
フィードスルーの数 9
極ごとの電圧kV1
極ごとの電流A8
ベークアウト温度°C400
タイトネスmbar•l/s5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar...2 bar
フランジ ステンレススチール 304L/1.4306
導体 ステンレススチール 304/1.4301
絶縁体 酸化アルミニウムセラミック Al2O3
重量kg0.5
接続部:真空側 
個数 10
最大電流A12
ベークアウト温度°C400
材料 ステンレススチール 304/1.4301
コネクタ:大気側 
個数 10
最大電流A25
絶縁、使用上限V(ac)/V(dc)30/60
ベークアウト温度°C50

コンタクト

 

 金メッキ真鍮

寸法図

寸法図
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

品番商品説明
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F
214-136Feedthrough, 1 pole
214-176Connector: atmospheric side
214-195Connection piece: vacuum side
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F (high current)
214-127Feedthrough, 1 pole
214-177Connector: atmospheric side
214-178Connector: atm. side, H2O cooled
214-196Connection piece: vacuum side
2 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F
214-128Feedthroughs, 2 poles
214-176Connector: atmospheric side
214-195Connection piece: vacuum side
4 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F
214-116Feedthroughs, 4 poles
214-173Connector: atmospheric side
214-192Connection piece: vacuum side
9 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F
214-117Feedthroughs, 9 poles
214-181Connector: atmospheric side
214-198Connection piece: vacuum side

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