真空フィードスルー
電気フィードスルー
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONは、長年にわたって、世界中の標準真空応用製品に採用されているお求めやすい価格のISO-KFフランジフィードスルーを提供しています。このフィードスルーに加えて、当社は真空チャンバの真空側および大気側用の様々なコネクタも用意しています。
UHV用途向けに、さまざまなサイズおよび技術仕様のCFフランジ付きのフィードスルーをご利用いただけます。
利点
- 2011/65/EU RoHS 準拠
仕様
1 フィードスルー
1 フィードスルー (高電流)
2 フィードスルー
4 フィードスルー
9 フィードスルー
真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
フィードスルーの数 | 1 | |
極ごとの電圧 | kV | 0.3 |
極ごとの電流 | A | 70 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
フランジ | ステンレススチール 304L/1.4306 | |
導体 | 無酸素銅 2.0040 | |
絶縁体 | 酸化アルミニウムセラミック Al2O3 | |
重量 | kg | 0.15 |
接続部:真空側 | ||
個数 | 2 | |
最大電流 | A | 20 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
材料 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
コネクタ:大気側 | ||
個数 | 2 | |
最大電流 | A | 100 |
絶縁、使用上限 | V(ac)/V(dc) | 非絶縁 |
ベークアウト温度 | °C | 150 |
コンタクト
| 銀メッキ真鍮 |
寸法図
真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
フィードスルーの数 | 1 | |
極ごとの電圧 | kV | 1 |
極ごとの電流 | A | 200/1000 1) |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
フランジ | ステンレススチール 304L/1.4306 | |
導体 | 無酸素銅 2.0040 | |
絶縁体 | 酸化アルミニウムセラミック Al2O3 | |
重量 | kg | 0.5 |
接続部:真空側 | ||
個数 | 1 | |
最大電流 | A | 1000 1) |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
材料 | 2.0060 | |
コネクタ:大気側 | ||
個数 | 1 | |
最大電流 | A | 250 |
絶縁、使用上限 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
ベークアウト温度 | °C | 150 |
コンタクト | 銀メッキ真鍮 | |
1) 水冷付き
|
寸法図
真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
フィードスルーの数 | 2 | |
極ごとの電圧 | kV | 4 |
極ごとの電流 | A | 150 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
フランジ | ステンレススチール 304L/1.4306 | |
導体 | 無酸素銅 2.0040 | |
絶縁体 | 酸化アルミニウムセラミック Al2O3 | |
重量 | kg | 0.45 |
接続部:真空側 | ||
個数 | 2 | |
最大電流 | A | 100 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
材料 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
コネクタ:大気側 | ||
個数 | 2 | |
最大電流 | A | 100 |
絶縁、使用上限 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
ベークアウト温度 | °C | 50 |
コンタクト
| 銀メッキ真鍮 |
寸法図
真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
フィードスルーの数 | 4 | |
極ごとの電圧 | kV | 1 |
極ごとの電流 | A | 8 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
フランジ | ステンレススチール 304L/1.4306 | |
導体 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
絶縁体 | 酸化アルミニウムセラミック Al2O3 | |
重量 | kg | 0.3 |
接続部:真空側 | ||
個数 | 5 | |
最大電流 | A | 12 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
材料 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
コネクタ:大気側 | ||
個数 | 5 | |
最大電流 | A | 25 |
絶縁、使用上限 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
ベークアウト温度 | °C | 50 |
コンタクト
| 金メッキ真鍮 |
寸法図
真空接続 | DN40 ISO-CF-F | |
フィードスルーの数 | 9 | |
極ごとの電圧 | kV | 1 |
極ごとの電流 | A | 8 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
タイトネス | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
圧力 (絶対圧力) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
フランジ | ステンレススチール 304L/1.4306 | |
導体 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
絶縁体 | 酸化アルミニウムセラミック Al2O3 | |
重量 | kg | 0.5 |
接続部:真空側 | ||
個数 | 10 | |
最大電流 | A | 12 |
ベークアウト温度 | °C | 400 |
材料 | ステンレススチール 304/1.4301 | |
コネクタ:大気側 | ||
個数 | 10 | |
最大電流 | A | 25 |
絶縁、使用上限 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
ベークアウト温度 | °C | 50 |
コンタクト
| 金メッキ真鍮 |
寸法図
品番
品番 | 商品説明 |
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F | |
214-136 | Feedthrough, 1 pole |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F (high current) | |
214-127 | Feedthrough, 1 pole |
214-177 | Connector: atmospheric side |
214-178 | Connector: atm. side, H2O cooled |
214-196 | Connection piece: vacuum side |
2 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-128 | Feedthroughs, 2 poles |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
4 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-116 | Feedthroughs, 4 poles |
214-173 | Connector: atmospheric side |
214-192 | Connection piece: vacuum side |
9 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-117 | Feedthroughs, 9 poles |
214-181 | Connector: atmospheric side |
214-198 | Connection piece: vacuum side |
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データシート
Elektrische Durchführungen DN40 CF-F DE
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ドイツ語
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Electrical Feedthroughs DN40 CF-F EN
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Terminales de paso eléctricos DN40 CF-F ES
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スペイン語
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전기 피드스루 DN40 CF-F KO
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电气馈入装置 DN40 CF-F ZH
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データシート
電気フィードスルー DN40 CF-F JA
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389,5 KB
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データシート
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1 Feedthrough (high current)
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66,2 KB
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1 Feedthrough (high current), atmospheric side
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27,1 KB
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3Dファイル
1 Feedthrough (high current), vacuum side
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29,7 KB
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3Dファイル
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F
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45,3 KB
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3Dファイル
2 Feedthroughs
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61,6 KB
•
3Dファイル
4 Feedthroughs
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90,0 KB
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3Dファイル
4 Feedthroughs, atmospheric side
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26,1 KB
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3Dファイル
4 Feedthroughs, vacuum side
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21,4 KB
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3Dファイル
9 Feedthroughs
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178,7 KB
•
3Dファイル
9 Feedthroughs, atmospheric side
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•
26,1 KB
•
3Dファイル
9 Feedthroughs, vacuum side
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21,4 KB
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3Dファイル
Connection piece: vacuum side
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17,5 KB
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3Dファイル
Connector atm. side, H₂O cooled
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110,2 KB
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3Dファイル
Connector: atmospheric side
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24,6 KB
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3Dファイル