真空計
INFICONは工業プロセスにおける真空レベルの正確な計測と監視のためにデザインされた包括的な真空計とコントローラーを提供しています。私たちの高度な機器は正確でリアルタイムのデータを提供し、さまざまな作業において信頼できるプロセスコントロールと効率を保証します。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
中・超高真空シングルゲージ
- 超高真空～高真空の広範囲に対応する純粋なベイヤードアルパート測定システム
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- ガルバニック絶縁エレクトロニクスによる迷走電流の回避
- 圧力ジャンプを回避するスライディング・エミッション・モード
ATM～超高真空デュアルゲージ
- デュアルゲージ（2つの検出素子）により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
- 圧力ジャンプを防ぐスライディング・エミッション・モード
ATMから超高真空トリプルゲージ®まで
- 3 + 1センシングエレメントにより、非常に広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- 10Torr以上のガス種に依存しない圧力測定により、信頼性の高いロードロック制御を実現します。
- 差圧測定により、大気圧の変化による不確実性を排除
ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications
- 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
- コンパクトで堅牢な設計
- アルミハウジング
- 取付け方向が自在
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
- 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
- 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
- さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
- 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメントまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能
INFICON Gemini® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。
- Long lifetime in harsh environments
- 厳しい環境下でも長寿命を実現
- 磁気漂遊フィールドは発生しない
- メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。
- 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
- 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
- バーンアウトするフィラメントがない
- 優れた点火特性
倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。
- フィラメントの焼損なし
- 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで
- 優れた着火性
- 洗浄が容易
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10～2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10～5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は5×10-10 mbar～2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr～5×10-2 Torr)
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
ATMから超高真空熱陰極計へ
他社製PBR260ピラニ/ベイヤード-アルパートの熱陰極ゲージにドロップイン対応
- 品番IGG27000はPT R27000に適合します。
- 品番IGG27001はPT R27001に適合します。
- 品番IGG27002はPT R27002に適合します。
INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
NFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。
- 5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
INFICONベイヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(トリプルゲージ™)BCG450は、コンパクトかつ経済的な1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、プロセスと、5×10-10～1500 mbar（3.75×10-10～1125 Torrまで）の基準気圧を計測することができます。
- BCG450はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 10 Torr以上のガス種に依存しない気圧計測は、どのような混合ガスに対しても、より信頼できるロードロックコントロールを実現します。
- ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar～大気圧(1.5×10-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。
- HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
- 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
- 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、1セットポイント、および3種類の選択可能なアナログ出力信号を特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- ユーザーフレンドリーな方法で較正と操作を行える、明るいデジタルLEDディスプレイ
- 3種類のオプションアナログ出力信号(ユーザー選択可能)
INFICONのピラニゲージ強化型（PGE）DeviceNetバージョンは、市場で入手可能な最新のデジタル対流強化型ピラニ技術を搭載しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、大気圧付近での広い測定範囲と高い精度を実現
- 内蔵ディスプレイ、2つのセットポイント、デジタルDeviceNetインターフェースを
- 備えたオールインワンのアクティブゲージ
INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、2セットポイント、4種類のアナログ出力信号、および2系統のデジタルインターフェースを特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドがあり、セットアップ、較正、操作が容易です。
- 4種類のオプションアナログ出力信号(3種類はユーザー選択可能、1種類はデフォルト)
新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。
- 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出
- マウント方向が多彩で、
- ツール設計に自由度を提供
新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。
- 2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出
- 大気圧周囲圧測定
INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。
- 測定範囲は1.3 × 10-9から6.7×10-2 mbar (1 × 10-9から5 × 10-2 Torr)
- 酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
- ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
- 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
大きな性能と小さなサイズ
- 優れたスパン安定性 - ガス種に依存しない
- アルミナセンサー
- コンパクト、クラス最小サイズ
- 簡単な統合、さまざまな方向で取り付け可能
産業用、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 空気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
過酷なプロセス用途、温度補償付き
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源投入後にすばやく安定
- 大気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
カレントループ、温度補償
- 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
- 電源立ち上げ後の素早い安定性
- 大気圧からのすばやい回復
- 耐腐食性セラミックセンサ
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
優れた信号安定性、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
高温用途、温度制御
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
EtherCAT、温度補償付き
- 簡単な統合、EtherCAT、幅広いフルスケール、フランジ、標準モデルは2点のセットポイント付き
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 耐腐食性セラミックセンサ
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
フットプリントが小さく、温度制御が可能
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
高速、温度制御
- 高い生産性 – 応答時間が2分以上速い (FS > 50m Torr)
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
高速、温度制御
- 高い生産性、2ms未満の反応時間
- 柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
- 長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
- 再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）
リファレンス、真の高精度
- 高精度な圧力測定 – セラミックテクノロジー
- 完全に安定した出力 – PTBにより実証
- 柔軟なコミュニケーション – 様々な最新型インターフェース
- すべての機能を統合 – コントローラーは不要
OEM用ミニチュアセンサ
- 高精度を提供する小型センサー
- 優れた再現性と長期安定性
- 統合と較正のカスタマイズが可能な溶接フィードスルー、または工場較正済みセンサー統合のためのカスタム溶接フランジ
- 容易な統合および安全な通信を可能にするSPIインターフェース搭載センサー電子回路
OEM用ミニチュアセンサ、デュアルセンサ
- デュアル小型センサーは広い測定範囲で高精度を実現
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
差動対周囲温度 - 真空システム用安全スイッチ
- リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
- 長寿命
- 堅牢な設計
- 統合が簡単
電気スイッチング接点調整機能付き絶対圧スイッチ
- スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
- 安定した長期オペレーション特性
- 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン
アブソリュートスイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
差動スイッチ - 正確で信頼性の高い圧力検知
- 耐腐食性、全ステンレス製
- 堅牢な設計、クリーンルーム仕様
- 工場初期設定または現場での調整が可能なセットポイントにより設置が簡単
加工測定、コントロール、データログ用持続可能ソリューション
- パラメーター、センサーまたは一般設定には、ドットマトリックスメニューで指示される表示部があり、シンプルな操作が可能
- 長距離からの計器読み出し用の、非常に明るくクリアなディスプレイ
- セットポイント表示、またはプレッシャー vs 時間の表示がついた、棒グラフの表示部
VGC094は、真空プロセス測定、制御、データログのための卓越したソリューションです。
- 1×10-11から1000mbarまでの真空モニタリングとコントロールモニター用の完全なソリューション
- 明るくクリアな画面
- セットポイントまたは圧力対時間のバーグラフ表示
- パラメータ、センサー、一般設定のための直感的なメニューによるシンプルなセンサー操作
VGC094用ピラーニ・パッシブ・ゲージ・ヘッド
- エラストマー（PSG010）または金属シール（PSG017、PSG018）設計
- 高い測定精度と再現性
- 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017, PSG018) までのベークアウト温度
- 106Gyまでの耐電離放射線性（PSG017、PSG018）
VGC083およびVGC031用の対流強化パッシブ・ピラニ・ゲージ
- 対流強化型ピラニ・テクノロジーにより、広い測定範囲と大気近傍での高精度を実現
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な構造
- 豊富なフランジオプション
ゲージヘッドMAG084は、真空計コントローラーVGC094で動作するように設計されたユニークな耐磁性倒立マグネトロン冷陰極ゲージです。
- 強力な外部磁場下でも動作を維持できるよう開発
- 逆マグネトロン原理に基づく、信頼性と実績のあるゲージヘッド設計
- 革新的な二重イオン化チャンバー原理
- 230 °Cまでベーク可能
VGC083用ミニホットイオンベイヤードアルパートパッシブゲージヘッド
- 長年の信頼と実績を誇るゲージヘッド設計
- コンパクトなサイズ、豊富な接続フランジと継手により、ドロップイン交換が可能。
- 酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメントのデュアルカソードアセンブリ
- 電子ボンバード（EB）脱ガス
INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。
- 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
- ほとんどの非被覆熱陰極電離ゲージヘッドに適合
- 幅広い放出電流に対応(100 μA～10 mA)
- シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
IM540用熱陰極電離型パッシブゲージヘッド
- 個別に校正されたセンシングシステムによる高い測定精度
- 交換可能なカソード
- 400 °Cまでの高温ベークアウト可能
電離真空計の新しいスタンダード。
- 高真空および超高真空領域で高い測定精度が要求される用途向けに開発
- ISO/TS 6737に準拠した電極システム構成
- 小さな不確かさで予測可能な相対ガス感度により、すべてのガス種に対して真の圧力が得られます。
プロセス測定およびデータ記録用の高度なコントローラ。
- 使いやすいドットマトリックス・メニュー・インターフェースで、パラメータ、センサー、一般設定を調整可能
- 明るく見やすいディスプレイで、機器データを遠隔地から読み取ることができます。
- 設定値の可視化や圧力の経時変化を表示するバーグラフ
費用対効果の高い圧力監視ソリューション。
- ユーザーが選択可能な測定単位（Pa、mbarまたはTorr）
- コンパクトなベンチトップモデルで、パネルや19インチラックに簡単に取り付け可能。
- ゲージからの0～10V出力信号は、PLCまたはチャート・レコーダーで使用可能
- 自由に調整可能なセットポイント
パッシブゲージヘッドBAG05xおよびPGE050用。
イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラーIRC081とそのユーザー・インターフェースは、標準化されたイオン・リファレンス・ゲージIRG080の操作および表示インターフェースです。
- 正確な真空圧力測定のための操作・表示ソリューション
- 全てのIRG080ゲージ・パラメーターのユーザー・コントロールが可能
- 5つのポテンショメーターによる簡単なマニュアル操作
- USB-BポートからPCへのユーザーインターフェース接続
PGE050用シングルチャンネルコントローラ
- 1.3×10-4から1333mbarまでの幅広い測定範囲を表示・制御
- セットアップと操作が簡単なキーパッド付き明るいデジタルOLEDディスプレイ
- 4つのユーザー選択可能アナログ出力信号、2つのセットポイントリレー
- RS232/RS485デジタルインターフェース
多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ
- IE414（Bayard-Alpert）およびIE514（Extractor）熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
- PSG5xx（ピラニ）、PCG55x（ピラニ-キャパシタンスダイアフラム）、CDG（キャパシタンスダイアフラム）アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
- パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
INFICON CDG製品ラインと接続し、4桁ディスプレイを実現
- 4 Digit display for easy read out
- Large 10mm active LED display -
readable from distance and wide range gauge of angle - In-line plug design
- 15pin D-Sub, no extra power connection
工業プロセス用の信頼できる高性能真空計
INFICONは包括的な真空計、圧力計、真空センサで産業用真空監視のための高性能ソリューションを提供します。 私たちの機器は産業プロセスの真空レベルを正確に計測し、デジタル真空モニタリングを通してリアルタイムデータを提供します。
私たちの製品は高い安定性、重要なプロセスに対する信頼性の高い計測、システムのダウンタイムの削減、作業効率の改善を提供します。
INFICONの真空技術で、産業は最適なパフォーマンスを維持し、真空に依存するプロセスで高品質の結果を保証することができます。シームレスな統合とカスタマイズされた設置サポートを提供することで、競合他社の真空計からINFICONに切り替える際のダウンタイムを最小限に抑え、重要なプロセスを中断することなくスムーズに移行できるようにしています。