ホットイオンゲージ

BAG05x

熱陰極電離パッシブ真空ゲージ

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INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。大気、および窒素やアルゴンのような不活性ガス中での使用のために、イットリアコートイリジウムフィラメントが用意されています。イットリアコートイリジウムフィラメントとの親和性のないガスの場合には、タングステンフィラメントをお選びください。BAG05xゲージは、互換性のある他社製ゲージコントローラと組み合わせることもできます。INFICONのパッシブBA真空計(BAG05x)は、以下の3通りの構成で提供されています。

BAG050は、電子衝撃(EB)脱ガス機能付き、UHVヌードイオン化真空計で、2×10^-11 Torrまでの真空を測定できます。

BAG051は、EBと抵抗加熱式(I2R)脱ガス機能付き、ヌードイオン化真空計で、4×10^-10 Torrまでの真空を測定できます。

BAG051は、EBと抵抗加熱式(I2R)脱ガス機能付き、ガラス被覆型イオン化真空計で、4×10^-10 Torrまでの真空を測定できます。

利点

実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
非被覆熱陰極電離真空計のほとんどのゲージヘッドとドロップイン交換が可能
幅広い放出電流に対応(100 μA～10 mA)
シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
脱ガス：すべてのモデルは、EB (電子衝撃式)を使用して脱ガスできます。
また、BAG051、BAG052およびBAG053は、抵抗加熱式脱ガス(I2R)を使用して脱ガスすることもできます。

仕様

BAG050

BAG051

BAG052

BAG053

BAG055

Measurement range	mbar Torr	2.7 x 10^-11 ... 1.3 x 10^-3 2 x 10^-11 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	2 x 10^-11

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		ceramic

Flange material		stainless steel 304

Measurement range	mbar Torr	5.3 x 10^-10 ... 1.3 x 10^-3 4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		ceramic

Flange material		stainless steel 304

Measurement range	mbar Torr	4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3 5.3 x 10^-8 ... 1.3 x 10^-1

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		glass to metal

Flange material		glass Nonex 7720

Measurement range	mbar Torr	5.3 x 10^-8 ... 1.3 x 10^-1 4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		glass to metal

Flange material		glass Nonex 7720

Measurement range	mbar Torr	1.3×10-9 … 6.7×10-2 1×10-9 … 5×10-2

X-ray limit	Torr	5 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	200

Insulator		glass

Flange material		stainless steel 304