ホットイオンゲージ

BAG05x

熱陰極電離パッシブ真空ゲージ

BAG05X-UHV
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。大気、および窒素やアルゴンのような不活性ガス中での使用のために、イットリアコートイリジウムフィラメントが用意されています。イットリアコートイリジウムフィラメントとの親和性のないガスの場合には、タングステンフィラメントをお選びください。BAG05xゲージは、互換性のある他社製ゲージコントローラと組み合わせることもできます。INFICONのパッシブBA真空計(BAG05x)は、以下の3通りの構成で提供されています。

BAG050は、電子衝撃(EB)脱ガス機能付き、UHVヌードイオン化真空計で、2×10-11 Torrまでの真空を測定できます。

BAG051は、EBと抵抗加熱式(I2R)脱ガス機能付き、ヌードイオン化真空計で、4×10-10 Torrまでの真空を測定できます。

BAG051は、EBと抵抗加熱式(I2R)脱ガス機能付き、ガラス被覆型イオン化真空計で、4×10-10 Torrまでの真空を測定できます。

利点

  • 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン
  • 非被覆熱陰極電離真空計のほとんどのゲージヘッドとドロップイン交換が可能
  • 幅広い放出電流に対応(100 μA~10 mA)
  • シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能
  • 脱ガス:すべてのモデルは、EB (電子衝撃式)を使用して脱ガスできます。
  • また、BAG051、BAG052およびBAG053は、抵抗加熱式脱ガス(I2R)を使用して脱ガスすることもできます。

仕様

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
Measurement rangembar
Torr
2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3
2 x 10-11 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr2 x 10-11
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
1.3×10-9 … 6.7×10-2
1×10-9 … 5×10-2
X-ray limitTorr5 x 10-10
Bakeout temperature°C200
Insulator glass
Flange material stainless steel 304

品番

BAG050_051_052_053_055 Ordering information
BAG050_051_052_053_055 Ordering information

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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モビリティ&オートモーティブ

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製薬・メディカル

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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半導体IDM&ファウンドリ

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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