ホットイオンゲージ

BAG302

中～超高真空計

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INFICONシングルベアード-アルパート熱陰極電離真空計BAG302は、1.3 × 10^-9から6.7×10^-2 mbar (1 × 10^-9から5 × 10^-2 Torr)の広い測定範囲をカバーしています。コンパクトなオールインワン式の熱陰極電離ゲージBAG302は、交換の容易なデュアルフィラメントセンサ、内蔵のOLEDディスプレイ、セットポイントリレー機能、対数-線形アナログ出力、および統合型RS485デジタルインターフェースで、統合の柔軟性を向上させています。これらの機能が堅牢なデザインにまとめられているので、BAG302は、入手しやすく、再現性の高いプロセスからベースの圧力測定装置となっており、高価値で所有コストの低い選択肢です。

利点

測定範囲は1.3 × 10^-9から6.7×10^-2 mbar (1 × 10^-9から5 × 10^-2 Torr)
酸化イットリウムでコーティングされた、長寿命の2本のイリジウムフィラメントを標準装備
ディスプレイを内蔵し、セットポイント機能とアナログ出力を備え、統合型のRS485デジタルインターフェースを標準装備した、オールインワンアクティブゲージ
明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドを装備しており、セットアップ、操作、プログラミングが容易
ユーザーがプログラム可能なセットポイントリレー
ユーザーが選択可能な表示単位。mbar、TorrまたはPa
ユーザーが選択可能な放出電流の自動レンジ設定
機械的強度と堅牢さ
様々なフランジのオプションを選択可能
センサーエレメントの交換が容易
コンプライアンスと規格: CE、RoHS
ほとんどのGranville-Phillips^® 354 Micro-Ion^®モジュールと直接交換可能。ソフトウェアコマンド(RS485)を含め、同一のコントロール機能があります。(Granville-Phillips^®およびMicro-Ion^®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

標準的なアプリケーション

半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
工業用コーティング
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr Pa	1.3 x 10^-9 ... 6.7 x 10^-2 1 x 10^-9 ... 5 x 10^-2 1.3 x 10^-7 ... 6.7

Accuracy (N₂)

1.3×10^-8 … 6.7 ×10^-2 mbar	% of reading	±15
1×10^-8 … 5×10^-2 Torr	% of reading	±15

Repeatability	% of reading	±5

Temperature	°C	+10 … +50

Operation (ambient)	°C	0 ... +40
Storage	°C	-40 ... +70
Bakeout at flange (sensor only, electrics removed)	°C	200

Supply voltage	V (dc)	+20 ... +28

Setpoint relay		1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive

Materials exposed to vacuum		Y₂O₃, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni