ホットイオンゲージ
BAG402
中～超高真空計
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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より高い柔軟性。より良い安定性。
スライディング・エミッション・モード、取り外し可能なキャリブレーション・チップ、ガルバニック絶縁エレクトロニクス、オプションのOLEDディスプレイ（90°回転可能）、VGC50xとの互換性など。
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INFICONシングルベイヤードアルパート熱陰極電離ゲージBAG402は、5 × 10-10～2.7×10-2 mbar (3.75 × 10-10～5 × 10-2 Torr)の測定範囲をカバーしています。小さいアクティブゲージパッケージで基準圧力計測ができ、手頃に再現性あるプロセスが実現できるINFICON BAG402をお選びください。独自の、サポートされているデュアルフィラメントは、優れた精度、長期安定性、長寿命を提供します。
利点
- 測定範囲は5×10-10 mbar～2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr～5×10-2 Torr)
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- 過圧検出機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
- 自動放出電流選択機構により、複雑な制御から解放
- 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
- RoHSコンプライアンス
標準的なアプリケーション
- 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
- 工業用コーティング
- 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール
仕様
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics | °C | 80 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
品番
アクセサリー
スペアパーツ
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| 354-484 | Spare sensor head BAG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-485 | Spare sensor head BAG402 DN 40 CF-R |
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Manual
本製品は以下のマーケットで使用されています。
