ホットイオンゲージ

Trigon™ BCG552

大気圧～超高真空対応トリプルゲージ®

ACADEMY

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TripleGauge® BCG552は、1つのセンサーフランジに3つの真空検知エレメントを組み合わせています。新しいTrigonTM ファミリーのフラッグシップで、超高真空 (5 x10^-10 mbar) から大気圧 (1500 mbar) までの非常に広い測定範囲を提供します。大気圧センサが追加されたBCG552は、差圧測定や真空スイッチとして使用されるアプリケーションに最適です。

また、小型化されたキャパシタンスダイアフラムゲージは大気圧レンジで優れた精度を発揮し、ガス種に依存しません。

VacXplor™ Software

VacXplorは当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigonゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplorは統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。

VacXplor™をここからダウンロード

利点

3 + 1センシングエレメントにより、非常に広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
10Torr以上のガス種に依存しない圧力測定は、あらゆる混合ガスに対してより信頼性の高いロードロック制御を提供します。
差圧測定により、大気圧の変化による不確実性を排除
ピラニセンサーの高真空側自動調整機能により、オペレーターの介入を低減
ガルバニック絶縁された電子機器により迷走電流を回避
排出流路切り替え時の圧力ジャンプとフリーズを回避するスライディング排出モード
セットポイントリレー
ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ（90°回転可能）
アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
VGC50xコントローラシリーズと併用可能
TripleGauge® BCG450との下位互換性
RoHS対応

標準的なアプリケーション

半導体プロセス、搬送、ロードロックチャンバーでの圧力測定
工業用コーティング
低真空から超高真空までのシステムにおける一般的な真空測定と制御

仕様

測定範囲 (空気, O₂, CO, N₂)	5 × 10^-10 … 1500 mbar

精度
950 ... 1050 mbar	読み値の ±2.5%
50 ... 950 mbar	読み値の ±5%
1 × 10^-8… 50 mbar	読み値の ±15%

再現性	読み値の 5%, 1 × 10^-8 … 1050 mbar (10分安定後）

真空にさらされる材料	ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム（Y2O3）、Ni、タングステン