ホットイオンゲージ

Trigon™ BCG552

大気圧~超高真空対応トリプルゲージ®

BPG552-Trigon
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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TripleGauge® BCG552は、1つのセンサーフランジに3つの真空検知エレメントを組み合わせています。新しいTrigonTM ファミリーのフラッグシップで、超高真空 (5 x10-10 mbar) から大気圧 (1500 mbar) までの非常に広い測定範囲を提供します。大気圧センサが追加されたBCG552は、差圧測定や真空スイッチとして使用されるアプリケーションに最適です。

また、小型化されたキャパシタンスダイアフラムゲージは大気圧レンジで優れた精度を発揮し、ガス種に依存しません。

VacXplor™ Software

VacXplorは当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigonゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplorは統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。

 

VacXplor™をここからダウンロード
Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

利点

  • 3 + 1センシングエレメントにより、非常に広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
  • ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
  • 10Torr以上のガス種に依存しない圧力測定は、あらゆる混合ガスに対してより信頼性の高いロードロック制御を提供します。
  • 差圧測定により、大気圧の変化による不確実性を排除
  • ピラニセンサーの高真空側自動調整機能により、オペレーターの介入を低減
  • ガルバニック絶縁された電子機器により迷走電流を回避
  • 排出流路切り替え時の圧力ジャンプとフリーズを回避するスライディング排出モード
  • セットポイントリレー
  • ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ(90°回転可能)
  • アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
  • VGC50xコントローラシリーズと併用可能
  • TripleGauge® BCG450との下位互換性
  • RoHS対応

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセス、搬送、ロードロックチャンバーでの圧力測定
  • 工業用コーティング
  • 低真空から超高真空までのシステムにおける一般的な真空測定と制御

仕様

測定範囲 (空気, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1500 mbar
精度 
950 ... 1050 mbar読み値の ±2.5%
50 ... 950 mbar読み値の ±5%
1 × 10-8 … 50 mbar読み値の ±15%
再現性読み値の 5%, 1 × 10-8 … 1050 mbar (10分安定後)
真空にさらされる材料ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム(Y2O3)、Ni、タングステン

品番

BCG552 Ordering Information
BCG552 Ordering Information

スペアパーツ

品番商品説明
354-423BCG552 交換用センサーヘッド、KF25
354-424BCG552 交換用センサーヘッド、 CF40
本製品は以下のマーケットで使用されています。
SEMI-OEM-Navi
半導体製造装置メーカー

半導体産業は、データ処理、通信、家電、自動車、航空宇宙などで使用される集積回路の設計、製造、組立、テストから構成されています。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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