ホットイオンゲージ

BPG400

ATM to Ultra High Vacuum Gauge

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10 mbarから大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。1台の経済的なパッケージで基準気圧計測ができ、再現性あるプロセスが実現できる、入手しやすいBPG400をお選びください。

利点

  • 5×10-10 mbar~大気圧(3.8×10-10 Torr~大気圧)の非常に広範囲な計測
  • 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
  • ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
  • 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • RoHSコンプライアンス
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange with extension°C150
Bakeout at flange without extension°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
Part NumberDescription
353-500BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502BPG400 DN 40 CF-R
353-503BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
Part NumberDescription
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-510100 mm sensor extension tube
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Part NumberDescription
354-490Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display

ダウンロード

本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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ディスプレイ

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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真空成膜

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