BPG400

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10^-10 mbarから大気圧(3.8×10^-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。1台の経済的なパッケージで基準気圧計測ができ、再現性あるプロセスが実現できる、入手しやすいBPG400をお選びください。

利点

5×10^-10 mbar～大気圧(3.8×10^-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10^-8 … 10^-2 mbarで5%
ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
RoHSコンプライアンス
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

標準的なアプリケーション

半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
工業用コーティング
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with extension	°C	150
Bakeout at flange without extension	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

アクセサリー

スペアパーツ

Part Number	Description
353-500	BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501	BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502	BPG400 DN 40 CF-R
353-503	BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505	BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506	BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508	BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R

Part Number	Description
353-511	Power supply BPG400 24VDC
353-510	100 mm sensor extension tube
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

Part Number	Description
354-490	Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491	Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

ダウンロード