ホットイオンゲージ

BPG402-Sx

超高真空計用のBPG402-SX ATM

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
ACADEMY

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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Trigon-Duo_sulu-preview Trigon-Duo_sulu-preview Mask Trigon-Duo_sulu-preview Ellipse

より高い柔軟性。より良い安定性。

スライディングエミッションモード、取り外し可能なキャリブレーションチップ、ガルバニック絶縁エレクトロニクス、オプションのOLEDディスプレイ(90°回転可能)など。
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INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、2本の酸化イットリウムコーティングのイリジウムフラメントを備えたBPG402-Sをお選びください。センサ部にオンボード校正データが含まれていることにより、交換時の高い再現性が保証されます。

利点

  • 5×10-10 mbar~大気圧(3.8×10-10 Torr~大気圧)の非常に広範囲な計測
  • 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
  • ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

仕様

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S°C80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
Part NumberDescription
353-570BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571BPG402-S DN 40 CF-R
353-572BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
Part NumberDescription
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Part NumberDescription
354-494Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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