ホットイオンゲージ

Trigon™ BPG552

大気圧~超高真空対応デュアルゲージ

BPG552-Trigon
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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超高真空(5x10-10 mbar)から大気圧(1000mbar)までの測定レンジを必要とするアプリケーションのために、Trigon™ファミリーはデュアルテクノロジーBPG552ゲージを用意しています。BPG552は、ベイヤードアルパートホットイオンセンサエレメントと従来の堅牢で信頼性の高いピラニセンサエレメントで構成されています。サポートされるベイヤードアルパートデュアルフィラメントは、優れた精度、再現性、長寿命を提供します。

VacXplor™ Software

VacXplorは当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigonゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplorは統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。

 

VacXplor™をここからダウンロード
Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

利点

  • デュアルゲージ(2つの検出素子)により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
  • ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
  • フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
  • ピラニセンサーの高真空側自動調整機能により、オペレーターの介入を低減
  • ガルバニック絶縁エレクトロニクスで迷走電流を回避
  • エミッションストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズを防ぐスライディングエミッションモード
  • 取り外し可能な校正データチップによるベーク可能時間の延長
  • セットポイントリレー
  • ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ(90°回転可能)
  • アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
  • VGC50xコントローラシリーズと併用可能
  • BPG402との下位互換性
  • RoHS対応

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスにおける圧力測定
  • 工業用コーティング
  • 低真空から超高真空までのシステムにおける一般的な真空測定と制御

仕様

測定範囲 (空気, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1000 mbar
精度 
1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 読み値の ±15%
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar           読み値の ±30%
再現性読み値の 5%, 10-8 …  10-2 mbar (10分安定後)
真空にさらされる材料ステンレス鋼、NiFe、ニッケルめっき、ハステロイ、ガラス、イリジウム、酸化イットリウム(Y2O3)、Ni、タングステン

品番

BPG552 Ordering Information
BPG552 Ordering Information

スペアパーツ

品番商品説明
354-420  BPG552 交換用センサーヘッド、 KF25
354-421BPG552 交換用センサーヘッド、 CF40
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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SEMI-OEM-Navi
半導体製造装置メーカー

半導体産業は、データ処理、通信、家電、自動車、航空宇宙などで使用される集積回路の設計、製造、組立、テストから構成されています。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

詳細はこちら
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

詳細はこちら
Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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