キャパシタンスマノメーター

Cube® CDGsci

フルスケール 0.1～1000Torr / mbar

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ハイエンドINFICONキューブキャパシタンスダイアフラム計測機器はもっとも高精度（≤ 0.025 % Rd 精度、 ≤ 50 ppm FS 信頼性）で、もっとも安定した (< 5 ppm FS/ °C 温度安定性、 < 70 ppm FS/ 年の長期安定性）真空計です。キューブは真空測定システムを標準化するための純粋な参照機器として設計されています。真空の研究用途としては、これ以外に考えられません。実績のあるINFICON温度制御、防腐性、高純度セラミックセンサーがキューブの優れたパフォーマンスにおいて主な役割を果たしています。キューブは20ビットのアナログ出力と無線または有線Ethernetインターフェースで接続されたRS232C、TCP/IPとHTMLデジタル出力によって現代のコミュニケーションとユーザーフレキシビリティにおいて新しい標準を設定します。各機器には、キューブの優秀な製品研究者が署名した品質証明書が付属しています。’較正の施設に保存または発送してその専門性を強調するために、再使用可能な硬いスーツケースでお届けします。

利点

高精度な圧力測定 – セラミックテクノロジー
完全に安定した出力 – PTBにより実証
柔軟なコミュニケーション – 様々な最新型インターフェース
すべての機能を統合 – コントローラーは不要
チャンバーに自動取り付け – 重心に合わせて最適化
アイソレーションバルブなしでの輸送が可能

標準的なアプリケーション

伝達標準
メインリファレンスゲージ
研究
社内基準

仕様

1000 Torr

100 ... 1 Torr

100mTorr

精度	% of reading	0.025

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.025

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.05

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)