キャパシタンスマノメーター
Edge® CDG100D2
100℃温度制御、フルスケール 1 ... 1000 Torr / mbar
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INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。
利点
- コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
- 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
- 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
- CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合
標準的なアプリケーション
- CVD、エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス
仕様
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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パンフレット
データシート
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE
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Edge® CDG100D2 Datasheet
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データシート
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO
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データシート
Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH
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データシート
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar
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スペイン語
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データシート
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA
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日本語
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データシート
取扱説明書
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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2,1 MB
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英語版
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取扱説明書
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英語版
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取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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ドイツ語
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
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英語版
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取扱説明書
Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE
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1,7 MB
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ドイツ語
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取扱説明書
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2
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1,7 MB
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英語版
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取扱説明書
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN
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中国語
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取扱説明書
3D Step Files
Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 9DSUB
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3Dファイル
SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB
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937,0 KB
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D tube E-CAT
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252,0 KB
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D Tube 15DSUB
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470,5 KB
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D Tube 9DSUB
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Edge® CDG100D2 3D 16KF E-CAT
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Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f E-CAT
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 15DSUB
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480,8 KB
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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 15DSUB
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623,5 KB
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 15DSUB
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602,7 KB
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3Dファイル
Edge® CDG100D2 3D 16CF 9DSUB
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1,1 MB
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Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 9DSUB
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1,1 MB
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Edge® CDG100D2 3D 16KF 9DSUB
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1,1 MB
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Edge® CDG100D2 3D 16CF E-CAT
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Edge® CDG100D2 3D 16KF 15DSUB
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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m E-CAT
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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 9DSUB
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Edge CDG100D2 16CF 15DSUB
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Edge CDG100D2 4-VCR-f E-CAT
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