キャパシタンスマノメーター

Edge® CDG100D2

100℃温度制御、フルスケール 1 ... 1000 Torr / mbar

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INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。

利点

コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

CVD、エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

ダウンロード

パンフレット

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

pdf • 3,3 MB • 英語版 • パンフレット

pdf • 2,5 MB • 英語版 • パンフレット

データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE

pdf • 575,7 KB • ドイツ語 • データシート

Edge® CDG100D2 Datasheet

pdf • 118,9 KB • 英語版 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO

pdf • 621,3 KB • 韓国語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 732,5 KB • 中国語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar

pdf • 616,1 KB • スペイン語 • データシート

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA

pdf • 733,2 KB • 日本語 • データシート

寸法図

CDG100D2 dimension drawing

png • 224,7 KB • ドイツ語, 日本語, 韓国語, スペイン語, 中国語, 英語版 • 寸法図

取扱説明書

CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英語版 • 取扱説明書

Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE

pdf • 766,1 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2

pdf • 758,2 KB • 英語版 • 取扱説明書

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN

pdf • 952,7 KB • 中国語 • 取扱説明書

3D Step Files

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D tube E-CAT

zip • 252,0 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D Tube 15DSUB

zip • 470,5 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D Tube 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 16KF E-CAT

zip • 254,1 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f E-CAT

zip • 265,3 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 15DSUB

zip • 480,8 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 15DSUB

zip • 623,5 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 15DSUB

zip • 602,7 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 16CF 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 16KF 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 16CF E-CAT

zip • 262,0 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 16KF 15DSUB

zip • 471,5 KB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 1,9 MB • 3Dファイル

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3Dファイル

Edge CDG100D2 16CF 15DSUB

zip • 477,0 KB • 3Dファイル

Edge CDG100D2 4-VCR-f E-CAT

zip • 2,0 MB • 3Dファイル

その他

CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • 日本語, 英語版

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英語版

本製品は以下のマーケットで使用されています。

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分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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