冷陰極ゲージ

Gemini® MxG5xx

超高真空計用のGEMINI® MXG5XX ATM

Gemini-MxG5xx
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Gemini® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。大気圧から 1x10 – 9 mbar を計測できるように、Gemini逆マグネトロン真空ゲージは2つのセンサーシステムを1台の小型装置に結合します。特許を受けた超低磁気漂遊フィールド設計は、アプリケーションの全く新しい範囲を開きます。その独自の交換可能なデュアルチャンバーセンサーユニットはクリーニングサイクルを避けて、メンテナンスを減らします。そして、Geminiをその種類で最も強力で経済的な真空計にします。

Gemini冷陰極と組み合わせは、完全に統合したデジタル電子機器で、究極の柔軟性をシステム統合に提供します。オプションのGemini冷陰極とピラニの組み合わせは、幅広い範囲のアプリケーションで、シームレスな移行、信頼性、実用性と柔軟性を提供します。

利点

  • Long lifetime in harsh environments
  • 厳しい環境下でも長寿命を実現
  • 磁気漂遊フィールドは発生しない
  • メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
  • 超小型設計
  • 耐腐食性に優れたフィードスルー
  • 選択可能な測定電流
  • 2リレーセットポイント(MxG55x PROFINETまたはEtherCATバージョンと併用)
  • EtherCATおよびRS232/ RS485デジタルインターフェイス

標準的なアプリケーション

  • 蒸着とスパッタリング用途において、大気圧から高真空度まで基準気圧の監視と制御
  • 一般的な真空計測 – 工業用炉、建築用ガラス、半導体、冷却、空調
  • 研究開発と分析的アプリケーション – 質量分析、電子顕微鏡、医療、眼科、光学、高エネルギー物理学。

仕様

MAG5xx
MPG5xx
測定範囲(空気、窒素)mbar
Torr
1×10-9 … 1×10-2
(7.6×10-10 … 7.6×10-3)
精度(窒素)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading30
1×10-2 … 100 mbar% of reading-
100 ~ 1000 mbar% of reading-
再現性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading5
1×10-8 … 100 mbar% of reading-
許容温度
使用温度 (周囲)°C+5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1)°C<150
保存°C-40 ... +70
フィラメント温度°C-
供給電圧
ゲージ位置 (2)V (dc)+14.5 ... +30
リップルV (p-p)<1
電力消費量W<2
接続するヒューズAT<1
 
(1) 電子回路なし。
(2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。
測定範囲(空気、窒素)mbar
Torr
(7.6×10-10 … 760)
1×10-9 … 1000
精度(窒素)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading30
1×10-2 … 100 mbar% of reading30
100 ~ 1000 mbar% of reading50
再現性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar% of reading-
1×10-8 … 100 mbar% of reading5
許容温度
使用温度 (周囲)°C+5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1)°C<150
保存°C-40 ... +70
フィラメント温度°C120
供給電圧
ゲージ位置 (2)V (dc)+14.5 ... +30
リップルV (p-p)<1
電力消費量W<=3
接続するヒューズAT<1
 
(1) 電子回路なし。
(2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
アクセサリー
スペアパーツ
MAG5xx
Part NumberDescription
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512

Baffle for BPG400

 

 

MPG5xx
Part NumberDescription
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512Baffle for BPG400
MAG5xx
Part NumberDescription
351-500MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556Spare ion chamber ti
351-512MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555

Spare ion chamber ss

 

 

MPG5xx
Part NumberDescription
351-506MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555Spare ion chamber ss
351-556Spare ion chamber ti

品番

Gemini Ordering Information_13.03.2019
Gemini Ordering Information_13.03.2019

チュートリアルビデオ

センサーの交換方法
イオンチャンバーとイグニッションエイドの正しい交換方法は?

ダウンロード

本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

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Display-Navi
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energy-market-navi
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HVACR-Navi
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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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半導体IDM&ファウンドリ

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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