冷陰極ゲージ
Gemini® MxG5xx
超高真空計用のGEMINI® MXG5XX ATM
ACADEMY
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Gemini™ MxG5xx
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Flange connection to vacuum chamber
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INFICON Gemini® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。大気圧から 1x10 – 9 mbar を計測できるように、Gemini逆マグネトロン真空ゲージは2つのセンサーシステムを1台の小型装置に結合します。特許を受けた超低磁気漂遊フィールド設計は、アプリケーションの全く新しい範囲を開きます。その独自の交換可能なデュアルチャンバーセンサーユニットはクリーニングサイクルを避けて、メンテナンスを減らします。そして、Geminiをその種類で最も強力で経済的な真空計にします。
Gemini冷陰極と組み合わせは、完全に統合したデジタル電子機器で、究極の柔軟性をシステム統合に提供します。オプションのGemini冷陰極とピラニの組み合わせは、幅広い範囲のアプリケーションで、シームレスな移行、信頼性、実用性と柔軟性を提供します。
利点
- Long lifetime in harsh environments
- 厳しい環境下でも長寿命を実現
- 磁気漂遊フィールドは発生しない
- メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
- 超小型設計
- 耐腐食性に優れたフィードスルー
- 選択可能な測定電流
- 2リレーセットポイント（MxG55x PROFINETまたはEtherCATバージョンと併用）
- EtherCATおよびRS232/ RS485デジタルインターフェイス
標準的なアプリケーション
- 蒸着とスパッタリング用途において、大気圧から高真空度まで基準気圧の監視と制御
- 一般的な真空計測 – 工業用炉、建築用ガラス、半導体、冷却、空調
- 研究開発と分析的アプリケーション – 質量分析、電子顕微鏡、医療、眼科、光学、高エネルギー物理学。
仕様
MAG5xx
MPG5xx
| 測定範囲（空気、窒素） | mbar Torr | 1×10-9 … 1×10-2 (7.6×10-10 … 7.6×10-3) |
| 精度（窒素） | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 mbar | % of reading | - |
| 100 ～ 1000 mbar | % of reading | - |
| 再現性 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 5 |
| 1×10-8 … 100 mbar | % of reading | - |
| 許容温度 | ||
| 使用温度 (周囲) | °C | +5 ... +55 |
| ベークアウト (フランジにおいて) (1) | °C | <150 |
| 保存 | °C | -40 ... +70 |
| フィラメント温度 | °C | - |
| 供給電圧 | ||
| ゲージ位置 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| リップル | V (p-p) | <1 |
| 電力消費量 | W | <2 |
| 接続するヒューズ | AT | <1 |
| (1) 電子回路なし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。 | ||
| 測定範囲（空気、窒素） | mbar Torr | (7.6×10-10 … 760) 1×10-9 … 1000 |
| 精度（窒素） | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 mbar | % of reading | 30 |
| 100 ～ 1000 mbar | % of reading | 50 |
| 再現性 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | - |
| 1×10-8 … 100 mbar | % of reading | 5 |
| 許容温度 | ||
| 使用温度 (周囲) | °C | +5 ... +55 |
| ベークアウト (フランジにおいて) (1) | °C | <150 |
| 保存 | °C | -40 ... +70 |
| フィラメント温度 | °C | 120 |
| 供給電圧 | ||
| ゲージ位置 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| リップル | V (p-p) | <1 |
| 電力消費量 | W | <=3 |
| 接続するヒューズ | AT | <1 |
| (1) 電子回路なし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。 | ||
アクセサリー
スペアパーツ
| MAG5xx | |
| Part Number | Description |
| 211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
| 351-550 | MxG50x Ignition tool set |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle for BPG400
|
| MPG5xx | |
| Part Number | Description |
| 211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
| 351-550 | MxG50x Ignition tool set |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| MAG5xx | |
| Part Number | Description |
| 351-500 | MAG500 spare sensor, 25KF, SS |
| 351-556 | Spare ion chamber ti |
| 351-512 | MAG500 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-536 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-524 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-502 | MAG500 spare sensor, 25KF, TI |
| 351-514 | MAG500 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-538 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-526 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-501 | MAG504 spare sensor, 25KF, SS |
| 351-513 | MAG504 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-537 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-525 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-503 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-515 | MAG504 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-539 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-527 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| 351-555 | Spare ion chamber ss
|
| MPG5xx | |
| Part Number | Description |
| 351-506 | MPG500 spare sensor, 25KF, SS |
| 351-518 | MPG500 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-542 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-530 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-508 | MPG500 spare sensor, 25KF, TI |
| 351-520 | MPG500 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-544 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-532 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-507 | MPG504 SS,LC,9DSub,25KF |
| 351-519 | MPG504 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-543 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-531 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-509 | MPG504 spare sensor, 25KF, TI |
| 351-521 | MPG504 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-545 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-533 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| 351-555 | Spare ion chamber ss |
| 351-556 | Spare ion chamber ti |
品番
ダウンロード
パンフレット
データシート
取扱説明書
Gemini MxG5xx Gebrauchsanleitung
pdf
•
1,4 MB
•
ドイツ語
•
取扱説明書
Gemini MxG5xx Operating manual
pdf
•
1,4 MB
•
英語版
•
取扱説明書
Mx55x EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf
•
1,1 MB
•
英語版
•
取扱説明書
Communication protocol MxG5xx RS232 RS485
pdf
•
632,0 KB
•
英語版
•
取扱説明書
TIRB78E1_Web
pdf
•
1,4 MB
•
英語版
操作手册 Gemini MxG5xx
pdf
•
1,7 MB
•
中国語
•
取扱説明書
3D Step Files
MAG500_FCC_25KF
zip
•
339,0 KB
•
3Dファイル
MAG500_FCC_40CF
zip
•
343,6 KB
•
3Dファイル
MAG500_FCC_40KF
zip
•
339,0 KB
•
3Dファイル
MMAG50x_9DSub_25KF.stp
stp
•
1,1 MB
•
3Dファイル
MMAG50x_9DSub_40CF-F.stp
stp
•
1,2 MB
•
3Dファイル
MMAG50x_9DSub_40CF-R.stp
stp
•
1,2 MB
•
3Dファイル
MMAG50x_9DSub_40KF.stp
stp
•
1,1 MB
•
3Dファイル
MMPG50x_9DSub_25KF.stp
stp
•
1,1 MB
•
3Dファイル
MMPG50x_9DSub_40CF-F.stp
stp
•
1,2 MB
•
3Dファイル
MMPG50x_9DSub_40CF-R.stp
stp
•
1,2 MB
•
3Dファイル
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_25KF
stp
•
1,9 MB
•
3Dファイル
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-F
stp
•
1,9 MB
•
3Dファイル
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-R
stp
•
1,9 MB
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3Dファイル
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40KF
stp
•
1,9 MB
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3Dファイル
MPG500_FCC_25KF
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339,0 KB
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3Dファイル
MPG500_FCC_40CF
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343,6 KB
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3Dファイル
MPG500_FCC_40KF
zip
•
339,0 KB
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3Dファイル
MPG50x_9DSub_25KF
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1,1 MB
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3Dファイル
MPG50x_9DSub_40KF
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•
1,1 MB
•
3Dファイル
MPG55x_15DSub_E-CAT_II_40CF-R
stp
•
1,9 MB
•
3Dファイル
