HPG400

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INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10^-6 mbar～大気圧(1.5×10^-6 Torr～大気圧)までの圧力を計測できます。HPG400は正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うために、繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します。

利点

HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
高圧熱陰極電離ゲージは、1×10^-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
5×10^-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

半導体製造、電子部品、メディア産業におけるスパッタ装置
工業用コーティング
一般的な真空計測と低真空から高真空領域のコントロール

仕様

Measurement range (air, N₂)	mbar Torr	2×10^-6 … 1000 1.5×10^-6 … 750

Accuracy

10^-5 … 1 mbar	% of reading	±15 ⁽¹⁾

Repeatability

10^-5 … 10^-1 mbar	% of reading	2
10^-1 … 100 mbar	% of reading	30

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

(1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

アクセサリー

スペアパーツ

Part Number	Description
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F