Vacuum Gauge Controller

IM540

多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ

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IM540
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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バキュームゲージコントローラIM540は、10-12mbarと大気圧の間の範囲で完全な真空測定と制御を提供する多用途のイオン化ゲージコントローラです。 アプリケーションやユーザーのニーズに応じて、IM540はピラニ、静電容量式ダイアフラム、ベイヤードアルパート、エクストラクターの4つの異なる真空測定原理を組み合わせることができるため、ワンソリューションとなります。このコントローラにより、複雑なプロセス制御システムに信頼性の高い完全な統合が可能になります。

メリット

  • IE414(Bayard-Alpert)およびIE514(Extractor)熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
  • PSG5xx(ピラニ)、PCG55x(ピラニ-キャパシタンスダイアフラム)、CDG(キャパシタンスダイアフラム)アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
  • パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
  • RS232通信インターフェース内蔵、プロフィバスDPインターフェースボード(IF 540 P)オプション
  • ヒステリシス調整可能な2つの設定ポイント(オプションで7ポイント
  • 高分解能16ビットA/Dコンバータ
  • 2つのプログラム可能な0~10 Vチャートレコーダ出力

仕様

IM540
IM540
測定チャンネル4
表示LCD、LEDバックライト
表示率4 s-1
測定範囲1 x 10-12 ... 1100  mbar
測定単位(選択可能)mbar、Torr、Pa、hPa、ミクロン、V
測定範囲切替自動または10進プリセレクト
チャートレコーダ出力対数0~10V(1V/dec)またはリニア0~10V
インターフェイスRS232C、プロフィバス(IF540P使用時)
閾値切替 
(シングルまたはインターバル)
2 フローティング切り替え接点付き
電源90 ... 264 V (ac)
周波数47 ... 63 Hz
動作温度+5 ... +40°C

品番

品番
アクセサリー
399-660IM540真空計コントローラb
399-661IE414 DN 40 CF-F
399-676交換用カソード IE414
  
399-663IE514 DN 40 CF-F
399-677交換用カソード IE514
  
 インターフェースボード
399-670IF540P プロフィバスDPインターフェースボード
  
 IE414/514用ゲージヘッドケーブル、80 °C
399-6803 m
399-6815 m
399-68210 m
399-68550 m
  
 ゲージヘッドケーブル、IE414/514、200 °C 用
399-6863 m
399-6875 m
399-68810 m
399-69050 m

ゲージの概要

IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
ゲージ原理バヤールアルパート、ホットカソードイオン化
圧力範囲2×10-11 ... 1×10-2 mbar(モジュラーエミッション電流使用時)
ベークアウト温度≤400 °C
ゲージ原理抽出器、熱陰極イオン化
圧力範囲2×10-12 ... 1×10-4 mbar
ベークアウト温度≤400 °C
ゲージ原理ピラーニ(アクティブゲージ式)
圧力範囲8x10-4 mbar to ATM
ベークアウト温度≤80 / 250 °C (モデルによる)
ゲージ原理Pirani-Capacitance diaphragm (active gauge type)
圧力範囲5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar
ベークアウト温度≤80 / 250 °C (モデルによる)
ゲージ原理Capacitance diaphragm (active gauge type)
圧力範囲4 user-selectable pressure decades
ベークアウト温度モデルによる

測定構成

チャンネル 1 + 2
チャンネル 3 + 4
ゲージ原理ホットカソードイオン化ゲージ
ゲージモデルIE414 (ベイヤードアルパート)
IE514(エクストラクター)
ゲージ原理アクティブゲージ
ピラニ
ピラニキャパシタンスダイアフラム 
キャパシタンスダイアフラム
ゲージモデルPSG5xx 
PCG55x 
CDG(例:CDG025D、CDG045D)

インターフェイスボード

IF 540 P
IF 540 P
通信プロトコルPROFIBUSインターフェースおよびリレー(1.5 A)

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この製品は以下の市場で使用されています
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