Vacuum Gauge Controller

IM540

多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ

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バキュームゲージコントローラIM540は、10-12mbarと大気圧の間の範囲で完全な真空測定と制御を提供する多用途のイオン化ゲージコントローラです。アプリケーションやユーザーのニーズに応じて、IM540はピラニ、静電容量式ダイアフラム、ベイヤードアルパート、エクストラクターの4つの異なる真空測定原理を組み合わせることができるため、ワンソリューションとなります。このコントローラにより、複雑なプロセス制御システムに信頼性の高い完全な統合が可能になります。

メリット

IE414（Bayard-Alpert）およびIE514（Extractor）熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
PSG5xx（ピラニ）、PCG55x（ピラニ-キャパシタンスダイアフラム）、CDG（キャパシタンスダイアフラム）アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
RS232通信インターフェース内蔵、プロフィバスDPインターフェースボード（IF 540 P）オプション
ヒステリシス調整可能な2つの設定ポイント（オプションで7ポイント
高分解能16ビットA/Dコンバータ
2つのプログラム可能な0～10 Vチャートレコーダ出力

仕様

IM540

測定チャンネル	4
表示	LCD、LEDバックライト
表示率	4 s^-1
測定範囲	1 x 10^-12 ... 1100 mbar
測定単位（選択可能）	mbar、Torr、Pa、hPa、ミクロン、V
測定範囲切替	自動または10進プリセレクト
チャートレコーダ出力	対数0～10V（1V/dec）またはリニア0～10V
インターフェイス	RS232C、プロフィバス（IF540P使用時）
閾値切替 (シングルまたはインターバル)	2 フローティング切り替え接点付き
電源	90 ... 264 V (ac)
周波数	47 ... 63 Hz
動作温度	+5 ... +40°C

品番

アクセサリー

399-660

IM540真空計コントローラb

399-661	IE414 DN 40 CF-F
399-676	交換用カソード IE414

399-663	IE514 DN 40 CF-F
399-677	交換用カソード IE514

	インターフェースボード
399-670	IF540P プロフィバスDPインターフェースボード

	IE414/514用ゲージヘッドケーブル、80 °C
399-680	3 m
399-681	5 m
399-682	10 m
399-685	50 m

	ゲージヘッドケーブル、IE414/514、200 °C 用
399-686	3 m
399-687	5 m
399-688	10 m
399-690	50 m

ゲージの概要

IE414

IE514

PSG5xx

PCG55x

CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)

ゲージ原理	バヤールアルパート、ホットカソードイオン化

圧力範囲	2×10-11 ... 1×10-2 mbar（モジュラーエミッション電流使用時）

ベークアウト温度	≤400 °C

ゲージ原理	抽出器、熱陰極イオン化

圧力範囲	2×10^-12 ... 1×10^-4 mbar

ベークアウト温度	≤400 °C

ゲージ原理	ピラーニ（アクティブゲージ式）

圧力範囲	8x10^-4 mbar to ATM

ベークアウト温度	≤80 / 250 °C (モデルによる)

ゲージ原理	Pirani-Capacitance diaphragm (active gauge type)

圧力範囲	5×10^-5 mbar to 1.5×10³ mbar

ベークアウト温度	≤80 / 250 °C (モデルによる)

ゲージ原理	Capacitance diaphragm (active gauge type)

圧力範囲	4 user-selectable pressure decades

ベークアウト温度	モデルによる

測定構成

チャンネル 1 + 2

チャンネル 3 + 4

ゲージ原理	ホットカソードイオン化ゲージ

ゲージモデル	IE414 (ベイヤードアルパート) IE514（エクストラクター）

ゲージ原理	アクティブゲージピラニピラニキャパシタンスダイアフラムキャパシタンスダイアフラム

ゲージモデル	PSG5xx PCG55x CDG（例：CDG025D、CDG045D）