IRG080

電離真空計の新基準

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

イオンリファレンスゲージIRG080は、真空システムにおける精密な全圧測定用に開発された世界初の真空センサーです。イオン化真空計の革新的なコンセプト（高温の陰極がファラデーカップに直線経路で移動する電子を放出する）に基づき、IRG080は10-8mbarから10-4mbarの範囲で参照標準として適しています。

IRG080は、1%までの比類のない精度、非常に小さな広がりで予測可能なガス感度、非常に優れた短期再現性と再現性を提供します。このゲージは、計測と校正に理想的なソリューションです。IRG080は、IRC081表示・操作ユニットに接続され、制御されます。

メリット

高真空および超高真空領域で高い測定精度が要求される用途向けに開発
ISO TS 6737に準拠した電極システム構成
小さな不確かさで予測可能な相対ガス感度により、すべてのガス種に対して真の圧力が得られます。
安定した電子放出とESDやX線による影響の排除
再現性が高く、輸送が容易
165 °C（耐熱ケーブル使用時）または400 °C（コネクターユニットなし）までベーク可能
磁気シールド用にミューメタルの中間ピースを使用可能

オペレーティング・ユニット

イオンリファレンスゲージコントローラ IRC081

リファレンス・スタンダード

N2に対して1％以下の精度
予測可能なガス感度、スプレッドは非常に小さい（1.5%未満）
真の全圧測定
非常に優れた短期繰り返し精度（<1%）と再現性（<1）

測定原理

電子はカソード（左側）を出て、アノードで200eVまで加速され、イオンコレクターで集束される。電子経路の長さは十分に特徴づけられているため、ゲージの感度は予測可能である。アノードグリッド内で電子によって生成されたイオンはコレクターに加速され、電流として測定される。アノードグリッドの外側で発生したイオンは、偏向器によって捕捉される。

IRG080 Measurement Principle Illustration

完全パッケージ

イオンリファレンスゲージコントローラIRC081による操作と表示インターフェース
ユーザーはIRG080ゲージのパラメータを制御できます。
IRC081ユーザーインターフェースソフトウェア(LabVIEWTM)での設定と測定値の表示
データとパラメータのロギング機能

仕様

測定システム	ホットカソードイオン化

電極システム構成	ISO TS 6737による

IRC081コントローラーによる測定範囲（N2）	<1×10^-8 … 1×10^-4 mbar

感度（N2、代表値）	29 mbar^-1

精度（N2、代表値）	<±1% of 読み取り値

繰り返し精度（N2）	<±1% of 読み取り値

フィードスルー	Al2O3セラミック

ベークアウト温度	≤400 °C

真空にさらされる材料	ステンレス, NiFeCo, Al2O3, Ta, W

Download full specifications

品番

アクセサリー

	IRG080
399-874	IRG080 DN 63 CF-R、BNCおよびマルチピンコネクタ
399-875	IRG080 DN 63 CF-F、BNCおよびマルチピンコネクタ、ミューメタル中間ピース

	IRC081 用耐熱ゲージヘッドケーブルセット、接点保護付き IRG080 165 °C
399-883	5 m (16.4 ft)
399-884	10 m (32 ft)
399-885	15 m (49.5 ft)

399-890	交換用カソード
399-891	ミューメタル中間ピース、DN 63 CF-F
399-892	中間ピース用保護グリッド