冷陰極ゲージ

MAG470

倒立型マグネトロンゲージ

MAG470
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。

利点

  • フィラメントの焼損なし 
  • 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで 
  • 優れた着火性 
  • 洗浄が容易 
  • 金属密封フィードスルー 
  • 高電圧用LEDインジケーター 
  • 対数アナログ出力信号

標準的なアプリケーション

  • 超高真空圧力監視 
  • 蒸着・スパッタリング装置用基準圧力 
  • 中高真空領域における一般的な真空計測・制御

仕様

MAG470
MAG470 extended
Measurement range (air, N2)mbar
Torr
5x10-11 … 1x10-2
3.8x10-11 … 7.5x10-3
Accuracy  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±30
Repeatability  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±5
Temperature  
Operation (ambient)°C+5 ... +55
Storage°C-40 ... +65
Bake-out°C250 1)
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+15 ... +30
At supply unit with max. cable length (3)V (dc)+16 ... +30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤2
Materials exposed to vacuum Stainless steel, Al2O3, Ag
   
(1) Without electronics magnetic shielding
(2) 250°C in defined area, see dimension
(3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable
Measurement range (air, N2)mbar
Torr
5x10-11 … 1x10-2
3.8x10-11 … 7.5x10-3
Accuracy  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±30
Repeatability  
1x10-9 ... 1x10-3 mbar% of reading≈±5
Temperature  
Operation (ambient)°C+5 ... +55
Storage°C-40 ... +65
Bake-out°C250 2)
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+15 ... +30
At supply unit with max. cable length (3)V (dc)+16 ... +30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤2
Materials exposed to vacuum Stainless steel, Al2O3, Ag
   
(1) Without electronics magnetic shielding
(2) 250°C in defined area, see dimension
(3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
MAG470
品番商品説明
399-360MAG470 DN 40 CF-F, FCC
  
MAG470 extended
品番商品説明
399-361MAG470 DN 40 CF-F, extendet
MAG470
品番商品説明
351-023Magnetic shield
  
MAG470 extended
品番商品説明
351-023Magnetic shield
MAG470
品番商品説明
351-997MPG401 Maintenance set
351-990Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MAG470 extended
品番商品説明
351-990Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-994MPG40x Ignition tool set
351-997MPG401 Maintenance set
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