冷陰極ゲージ
MPG40X
超高真空計用のMPG40X ATM
ACADEMY
関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。
INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。複数のテクノロジを、対数アナログ出力を備えた1台のコンパクトなユニットにまとめることにより、設置、セットアップ、統合の複雑さを大幅に軽減しました。
利点
- 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
- 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
- バーンアウトするフィラメントがない
- 優れた点火特性
- 清掃が簡単
- FPMまたは金属でシールされたフィードスルー
- 高電圧用のLEDインジケータ
- 対数アナログ出力信号
標準的なアプリケーション
- 高真空の監視
- 蒸着およびスパッタリングシステム用到達圧力
- 一般的な真空計測と中真空から高真空までの範囲のコントロール
仕様
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| 測定範囲 (Air、N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 許容温度 | ||
| 使用温度 (周囲) | °C | +5 … +55 |
| 保存 | °C | –40 … +65 |
| ベークアウト (1) | °C | 150 |
| 供給電圧 | ||
| ゲージ位置 | V (dc) | +15 … +30 |
| 最大ケーブル長の供給ユニット (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| リップル | V (p-p) | ≤1 |
| 消費電力 | W | ≤2 |
| 接ガス材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 電子的または磁気シールドなし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。 | ||
| 測定範囲 (Air、N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 許容温度 | ||
| 使用温度 (周囲) | °C | +5 … +55 |
| 保存 | °C | –40 … +65 |
| ベークアウト (1) | °C | 150 |
| 供給電圧 | ||
| ゲージ位置 | V (dc) | +15 … +30 |
| 最大ケーブル長の供給ユニット (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| リップル | V (p-p) | ≤1 |
| 消費電力 | W | ≤2 |
| 接ガス材料 | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 電子的または磁気シールドなし。 (2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。 | ||
品番
アクセサリー
スペアパーツ
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 DN25 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-998 | MPG400 Repair set. |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-999 | MPG400 Maintenance set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
ダウンロード
データシート
取扱説明書
3D Step Files
351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
133,7 KB
•
3Dファイル
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
zip
•
142,8 KB
•
3Dファイル
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
137,5 KB
•
3Dファイル
351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
149,0 KB
•
3Dファイル
351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
153,3 KB
•
3Dファイル
351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
zip
•
157,9 KB
•
3Dファイル
