1. MPG40X
冷陰極ゲージ

MPG40X

超高真空計用のMPG40X ATM

MPG40x
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。複数のテクノロジを、対数アナログ出力を備えた1台のコンパクトなユニットにまとめることにより、設置、セットアップ、統合の複雑さを大幅に軽減しました。

利点

  • 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
  • 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
  • バーンアウトするフィラメントがない
  • 優れた点火特性
  • 清掃が簡単
  • FPMまたは金属でシールされたフィードスルー
  • 高電圧用のLEDインジケータ
  • 対数アナログ出力信号

標準的なアプリケーション

  • 高真空の監視
  • 蒸着およびスパッタリングシステム用到達圧力
  • 一般的な真空計測と中真空から高真空までの範囲のコントロール

仕様

MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
測定範囲 (Air、N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Repeatability  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
許容温度  
使用温度 (周囲)°C+5 … +55
保存°C–40 … +65
ベークアウト (1)°C150
供給電圧  
ゲージ位置V (dc)+15 … +30
最大ケーブル長の供給ユニット (2)V (dc)+16 … +30
リップルV (p-p)≤1
消費電力W≤2
接ガス材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
   
(1) 電子的または磁気シールドなし。
(2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。
測定範囲 (Air、N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Repeatability  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
許容温度  
使用温度 (周囲)°C+5 … +55
保存°C–40 … +65
ベークアウト (1)°C150
供給電圧  
ゲージ位置V (dc)+15 … +30
最大ケーブル長の供給ユニット (2)V (dc)+16 … +30
リップルV (p-p)≤1
消費電力W≤2
接ガス材料 stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
   
(1) 電子的または磁気シールドなし。
(2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-010MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-020MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023Magnetic shield
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-023Magnetic shield
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-023Magnetic shield
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846469-TSpare measurement system MPG400  DN25 KF
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846472-TReplacement meas. unit MPG401 DN25 KF
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846470-TSpare measurement system MPG400 DN40 KF
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846473-TReplacement meas. unit MPG401 DN40 KF
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846471-TSpare measurement system MPG400 DN40CF-F
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846474-TSpare meas. system, MPG401 DN40CF-F
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-998MPG400 Repair set.
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-996MPG401 Repair set
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-999MPG400 Maintenance set
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-997MPG401 Maintenance set
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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HVACR-Navi
冷凍空調

冷凍空調技術は、間違いなく21世紀の重要なテーマの一つです。使用効率、エネルギー効率、そして何よりも最適な温度や気候（民間および商業部門において）が重要な役割を果たします。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

詳細はこちら
Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

詳細はこちら
Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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