ピラニゲージ

PCG55x

中真空計用のPCG55X ATM

Pirani-PSG55X-PCG55X
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Gemini™ MxG5xx

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Ionization chamber
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Flange connection to vacuum chamber
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
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1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(PCG55x)は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。

10 mbarから大気圧までの計測範囲で、このキャパシタンスダイアフラム技術はガス種に依存しない高精度で信頼のできる圧力計測を実現します。また、PCG55xには、要求された用途に適した製品構成を可能にする、様々な機能も備わっています。

利点

  • 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
  • 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
  • さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
  • 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン(PCG550)、ニッケル(PCG552)フィラメントまたは完全セラミックコーティング(PCG554)センサーユニットが選択可能
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 交換が容易なプラグアンドプレイセンサーエレメントとオンボード較正データ – 高い再現性と所有コスト減を保証
  • 選択可能な出力信号により統合が容易
  • オプションの大気圧スイッチ、ディスプレイとデジタルインターフェース
  • CE、EN、UL、CSA、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • ロードロック制御
  • 真空圧の計測
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と低~中真空領域の圧力制御

仕様

PCG550 Tungsten
PCG552 Nickel
PCG554 ceramic coated
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum Al2O3, stainless steel
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
アクセサリー
スペアパーツ
PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
303-333

Diagnostic cable 1.9m (P3)

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
303-333

Diagnostic cable 1.9m (P3)

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
357-925PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-926PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-927PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F
357-928PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-929PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-930PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-931PCG550 Spare Sensor, 8-VCR
357-932PCG550 Spare Sensor, 4-VCR
357-933PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-934PCG550 Spare Sensor, 29x29mm
357-935

PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
357-936PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-937PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-938PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F
357-939PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-941PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-942PCG552 Spare Sensor, 8-VCR
357-943PCG552 Spare Sensor, 4-VCR
357-944PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-945PCG552 Spare Sensor, 29x29mm
357-946

PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
357-947PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-948PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-949PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F
357-950PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-951PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-952PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-953PCG554 Spare Sensor, 8-VCR
357-954PCG554 Spare Sensor, 4-VCR
357-955PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-956PCG554 Spare Sensor, 29x29mm
357-957PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

品番

PCG55X PN
PCG55X PN

ダウンロード

3Dファイル
MPCG55x_15DSub_8VCR
stp 1,8 MB 3Dファイル
MPCG55x_15DsubHD_RS485_4VCR.stp
stp 1,8 MB 3Dファイル
MPCG55x_Plug_RS485_16KF.stp
stp 1,7 MB 3Dファイル
MPCG55x_Plug_RS485_8VCR.stp
stp 1,9 MB 3Dファイル
PCG55x_15DSub_25KF
stp 1,7 MB 3Dファイル
PCG55x_9DSub_DNet_8VCR (1).stp
stp 2,1 MB 3Dファイル
PCG55x_9DSub_ECAT_25KF.stp
stp 5,1 MB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_16CF
zip 280,5 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_16KF
zip 274,8 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_4VCR
zip 283,7 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_16CF
zip 313,7 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_16KF
zip 308,2 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_4VCR
zip 314,6 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_16CF
zip 330,5 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_16KF
zip 324,9 KB 3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_4VCR
zip 331,4 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_16CF
zip 256,7 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_16K_long
zip 297,4 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_16KF
zip 251,2 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_25KF
zip 251,5 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_29x29
zip 214,5 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_4VCR
zip 257,5 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_4VCR_90
zip 214,3 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_8VCR
zip 255,8 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_16CF
zip 287,8 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_16KF
zip 282,3 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_25KF
zip 298,5 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_4VCR
stp 2,1 MB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16CF
zip 349,0 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16KF
zip 344,2 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_4VCR
zip 350,3 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_16CF
zip 305,0 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_16KF
zip 299,4 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_25KF
zip 299,6 KB 3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_4VCR
zip 305,8 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_16CF
zip 204,3 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_16KF
zip 252,7 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_25KF
zip 198,9 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_29x29
zip 172,0 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_4VCR
zip 205,2 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_4VCR_90
zip 175,9 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_16CF
zip 236,8 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_16KF
zip 231,2 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_4VCR
zip 237,7 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_16CF
zip 253,8 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_16KF
zip 248,2 KB 3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_4VCR
zip 254,7 KB 3Dファイル
本製品は以下のマーケットで使用されています。
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