Pirani Gauges
PGE050
VGC083およびVGC031用の対流強化型パッシブ・ピラニゲージ
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ピラニゲージエンハンスド050(PGE050)は、アクティブ・コンベクションエンハンスドピラニゲージPGE300およびPGE500のパッシブバージョンです。同じセンサー技術を搭載したPGE050は、VGC031およびVGC083パッシブゲージコントローラーユニットと組み合わせて使用します。
対流強化原理により、PGE050は1.3×10-4~1333mbarの測定範囲で高精度の測定が可能です。特に大気圧近傍において、PGE050はより広い測定範囲と比類のない精度により、真空システムの他のピラニゲージや熱電対ゲージを置き換える際の最初の選択肢となります。堅牢なセンサー設計により、PGE050は高付加価値・低コストの選択肢となり、大気圧から高真空領域まで経済的な真空測定が必要な多くのアプリケーションに適しています。
メリット
- 対流強化型ピラニ・テクノロジーにより、広い測定範囲と大気圧近傍での高精度を実現
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な構造
- 豊富なフランジオプション
- 適合規格 CE、RoHS
- Granville-Phillips® Convectron® ゲージセンサーと直接交換可能(同じプラグ/ピンアウト)
- PGE050は、Granville-Phillips® Convectron®コントローラ、ケーブル、モジュールに対応します。
- 設置済みのピラニゲージと熱電対ゲージのアップグレードに最適なゲージセンサー
(Granville-Phillips®、Convectron®およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MA の登録商標です)
代表的なアプリケーション
- 大気圧から高真空領域までの一般的な真空測定と制御
オペレーティング・ユニット
- バキュームゲージコントローラ VGC083 A/B/C、VGC031
ユニークなデザイン
仕様
PGE050
PGE050
測定原理 | 対流強化型ピラニ |
測定範囲 (N2) | 1.3×10-4 … 1333 mbar |
精度 (N2) | |
1.3×10-4 … 1.3×10-3 mbar | 0.1×10-3 mbar の分解能 |
1.3×10-3 … 530 mbar | 読み値の±10 |
530 … 1333 mbar | 読み値の±2.5 |
繰り返し精度(N2) | 読み値の±2 |
フィードスルー | ガラス |
ベークアウト温度 | ≤150 °C1) |
真空にさらされる材料 | ステンレススチール、ガラス、金メッキタングステン、ニッケル、テフロン |
特徴 | 金メッキタングステン(W)フィラメント 取り付け方向:水平を推奨 (1mbar以下の測定には影響はありません。) |
1) 高温ケーブル付き、またはケーブルなし |
品番
品番
アクセサリー
PGE050 | |
352-500 | Pirani Gauge, DN ISO 16 KF, tungsten filament (W) |
352-501 | Pirani Gauge, DN ISO 25 KF, tungsten filament (W) |
352-502 | Pirani Gauge, DN ISO 40 KF, tungsten filament (W) |
352-503 | Pirani Gauge, DN ISO 16 CF-R, tungsten filament (W) |
352-504 | Pirani Gauge, DN ISO 40 CF-R, tungsten filament (W) |
352-505 | Pirani Gauge, 4 VCR female, tungsten filament (W) |
352-506 | Pirani Gauge, 8 VCR female, tungsten filament (W) |
352-507 | Pirani Gauge, 1/8 NPT, tungsten filament (W) |
VGC083およびVGC031用ケーブル | |
50 °C | |
399-580 | 3 m (9.9 ft) |
399-581 | 8 m (25 ft) |
399-582 | 15 m (50 ft) |
150 °C | |
399-520 | 3 m (9.9 ft) |
399-521 | 8 m (25 ft) |
399-522 | 15 m (50 ft) |
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352-504 PGE050 DN 40 CF-R
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352-507 PGE050 1_8 NPT
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352-501 PGE050 DN 25 ISO-KF
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352-502 PGE050 DN 40 ISO-KF
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352-505 PGE050 4 VCR
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352-506 PGE050 8 VCR
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352-503 PGE050 DN 16 CF-R
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352-500 PGE050 DN 16 ISO-KF
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