ピラニゲージ
PGE300
中真空計用のPGE300 ATM
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONピラニゲージ強化型300 (PGE300)は、上位バージョンのPGE500と同じく、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。PGE500と同じセンサコンポーネントが組み込まれているので、PGE300は100~1000 mbarの測定範囲で同等の高精度測定が可能です。PGE300には、真空業界のお客様の大多数が求めている、特に重要な機能だけが内蔵されているので、コストを削減し、効率性を最大化することができます。堅牢なゲージとセンサのデザイン、内蔵のクリアで読みやすいLEDディスプレイ、3種類の選択可能なアナログ出力信号、およびセットポイントリレーにより、PGE300は、OEMのお客様ばかりでなく、あらゆるお客様にとって、価値が高く、所有コストの少ない選択肢となります。これらの機能により、低真空から高真空までの範囲の経済的な真空測定が要求される多くの分野で、最適な真空計となっています。測定範囲が広く、精度が高いこと、特に経済的な内蔵機能との組み合わせにより低い圧力でその特徴が際立っているため、PGE300は、真空系の熱電対ゲージをアクティブゲージで置き換える際の最初の選択肢となります。
利点
- 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
- ディスプレイ内蔵、1セットポイント、および3種類の選択可能なアナログ出力信号を特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
- ユーザーフレンドリーな方法で較正と操作を行える、明るいデジタルLEDディスプレイ
- 3種類のオプションアナログ出力信号(ユーザー選択可能)
- 工場プリセットによるアナログ出力信号またはユーザーインターフェースにより選択可能
- 工場プリセットによるディスプレイユニットまたはユーザーインターフェースにより選択可能
- ユーザーがプログラム可能なセットポイントリレー
- 金メッキタングステンフィラメント
- 機械的に頑強で堅牢性が高く、機械的衝撃や振動に強い
- フランジのオプションを選択可能
- コンプライアンスと規格: CE、RoHS
- ほとんどのGranville-Phillips® Mini-Convectron®モジュール(GP275)と直接交換可能で、設置済みの熱電対ゲージをアップグレードする際の理想的なデバイス (Granville-Phillips®およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)
標準的なアプリケーション
- 真空圧の計測
- 一般的な真空計測と低真空から高真空までの範囲のコントロール
仕様
Measurement range | mbar Torr Pa | 1.3×10-4 … 1333 1×10-4 … 1000 1.3×10-2 … 133000 |
Accuracy (N2) | ||
1.3 × 10-4 … 1.3 x 10-3 mbar | mbar | ±10 |
1.3 × 10-3 … 530 mbar | % of reading | ±10 |
530 … 1333 mbar | % of reading | ±2.5 |
1×10-4 … 1×10-3 Torr | 1×10-4 … 1×10-3 Torr | 0.1 mTorr resolution |
1×10-3 … 400 Torr | % of reading | ±10 |
400 … 1000 Torr | % of reading | ±2.5 |
| ||
Repeatability (N2) | % of reading | ±2 |
| ||
Admissible temperature | ||
Operation | °C | 0 ... +40 |
Storage | °C | -40 ... +70 |
Bakeout | °C | ≤70 |
Supply voltage | V (dc) | +12 ... +28 |
Setpoint relay | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
Materials exposed to vacuum | gold-plated tungsten, 304 & 316 stainless steel, glass, nickel, Teflon® |
品番
Part Number | Description |
3PE5-001-A700 | PGE300 9DSUB, 1SP, LED, 16KF |
3PE5-007-A700 | PGE300 9DSUB, 1SP, LED, 40KF |
3PE5-008-A700 | PGE300 9DSUB, 1SP, LED, 40CF |