PPG550
大気圧～中容量真空計
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
新しいINFICONのピラニ・ピエゾコンビネーションゲージ（PPG550）は、最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づくものです。
MEMSプロセスで小型化されたピラニ/ピエゾコンビネーション技術は、非常に小さく、したがって省スペースなセンサの構築を可能にし、計測装置の全高を非常に小さく保つことを可能にします。
また、MEMS技術を用いたピラニでは、高さが低いというメリットに加え、従来のピラニよりもHV領域でより深く、より正確に測定できるというメリットもある。同じフランジに取り付けられたMEMSピエゾセンサーとの組み合わせにより、ピラニゲージは真の真空ワイドレンジゲージとなり、測定範囲は通常の1000mbarをはるかに超え、大気圧まで広がります。同時に、MEMSピエゾセンサーは、ガス種に依存しない2 ...1333mbarの範囲でガス種に依存しない圧力測定が可能です。また、これらの技術により、加速度や振動に対する耐性が向上していることも大きな特長です。
最後になりましたが、新しいINFICON PPG550はMKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer" やMKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducer" と同様に
、直接ドロップインで交換することが可能です。インフィコンは、同じコネクタ/ピン配置、アナログ出力、RS232/485の互換性を提供します。
利点
- 2mbar以上でガス種に依存せず、あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
- 大気圧での高い精度と再現性 信頼性の高い高速な大気圧検出
- マウント方向が多彩で、
- ツール設計に自由度を提供
- デジタルインターフェース RS232/RS485
- 準拠と標準規格。
- CE、EN、UL、CSA、RoHS
- MKS910「DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer」およびMKS925「Micro Pirani™ Vacuum Transducer」と
- 直接交換することが可能です。
- DualTrans™ MicroPirani™は、MKS Instruments, Andover, MA の登録商標です。
- コンプライアンスと規格CE、EN、UL、CSA、RoHS
標準的なアプリケーション
- 分析装置/質量分析計での使用
- 物理蒸着法
- 前行程測定
- ガスバック充填
仕様
| Measurement range (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| Accuracy | ||
| 100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| Temperature compensation | °C | +10 … +50 |
| Temperature measurement absolute accuracy | °C | +/-1.5 (0 … +80) |
| Supply voltage at the gauge | V (dc) | +12 … 30 |
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