ピラニゲージ

PPG570

中真空計+大気圧スイッチ

Pirani-PPG570
ACADEMY

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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ(PPG570)は、入手可能な最も進んだMEMS(Microelctromechanical Systems)センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。 

PPG570とPPG550の違いは、追加されたATMセンサーで、PPG570を従来のロードロック・アプリケーションで使用できるようにしたことです。例えば、半導体産業や、大気圧に対する正確な圧力測定が重要なその他の真空アプリケーションで使用できます。 

MEMSプロセスで小型化されたピラニとピエゾのコンビネーション技術により、非常に小型で省スペースのセンサーを構築することができ、測定装置の全高を非常に小さく抑えることが可能です。 

また、MEMS技術を用いたピラニは、高さが低いというメリットに加え、従来のピラニよりもHV領域でより深く、より正確に測定できるというメリットもある。同じフランジに取り付けられたMEMSピエゾセンサーとの組み合わせにより、ピラニゲージは真の真空ワイドレンジゲージとなり、測定範囲は通常の1000mbarをはるかに超え、大気圧まで広がります。同時に、MEMSピエゾセンサーは、ガス種に依存しない2 ...1333mbarの範囲でガス種に依存しない圧力測定が可能です。また、これらの技術により、加速度や振動に対する耐性が向上していることも大きな特長です。 

最後になりましたが、新しいINFICON PPG570はMKS Instruments MKS901P "MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer "の
代わりに直接ドロップして使用することが可能です。PPG570は同じコネクタ/ピン配置、アナログ出力、RS232/485デジタル通信プロトコルの互換性を提供します。

利点

  • 2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能 
  • 大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出 
  • 大気圧周囲圧測定 
  • 最大3個のソリッドステートリレー 
  • 多用途な取り付け方向 - 工具設計の自由度を提供 
  • デジタルインターフェース RS232/RS485 
  • MKS901P「MicroPirani™ - and Piezo Loadlock vacuum pressure transducer」を
  • 直接ドロップして交換可能です。 
  • コンプライアンスと規格CE、EN、UL、CSA、RoHS

標準的なアプリケーション

  • 半導体ロードロック用途 
  • 分析機器/質量分析計への
  • 応用 
  • 物理的気相成長法 
  • 物理的気相成長法

仕様

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy   
1100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … +30 ripple max. 1 Vpp
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

2022-07-07_PN Key PPG570
2022-07-07_PN Key PPG570

ソフトウエアのダウンロード

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分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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ディスプレイ

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エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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冷凍空調技術は、間違いなく21世紀の重要なテーマの一つです。使用効率、エネルギー効率、そして何よりも最適な温度や気候(民間および商業部門において)が重要な役割を果たします。

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産業用製造業

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モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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