ピラニゲージ

PPG570

中真空計＋大気圧スイッチ

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

新しいINFICON Pirani Piezoコンビネーションゲージ（PPG570）は、入手可能な最も進んだMEMS（Microelctromechanical Systems）センサ技術に基づいており、これは当社のPPG550 "ATM to Medium Vacuum" ゲージでも使用されています。

PPG570とPPG550の違いは、追加されたATMセンサーで、PPG570を従来のロードロック・アプリケーションで使用できるようにしたことです。例えば、半導体産業や、大気圧に対する正確な圧力測定が重要なその他の真空アプリケーションで使用できます。

MEMSプロセスで小型化されたピラニとピエゾのコンビネーション技術により、非常に小型で省スペースのセンサーを構築することができ、測定装置の全高を非常に小さく抑えることが可能です。

また、MEMS技術を用いたピラニは、高さが低いというメリットに加え、従来のピラニよりもHV領域でより深く、より正確に測定できるというメリットもある。同じフランジに取り付けられたMEMSピエゾセンサーとの組み合わせにより、ピラニゲージは真の真空ワイドレンジゲージとなり、測定範囲は通常の1000mbarをはるかに超え、大気圧まで広がります。同時に、MEMSピエゾセンサーは、ガス種に依存しない2 ...1333mbarの範囲でガス種に依存しない圧力測定が可能です。また、これらの技術により、加速度や振動に対する耐性が向上していることも大きな特長です。

最後になりましたが、新しいINFICON PPG570はMKS Instruments MKS901P "MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer "の
代わりに直接ドロップして使用することが可能です。PPG570は同じコネクタ/ピン配置、アナログ出力、RS232/485デジタル通信プロトコルの互換性を提供します。

利点

2mbar以上のガス種に対応 - あらゆる混合ガスで安全なベントが可能
大気圧での高精度と再現性 - 信頼性の高い高速大気圧検出
大気圧周囲圧測定
最大3個のソリッドステートリレー
多用途な取り付け方向 - 工具設計の自由度を提供
デジタルインターフェース RS232/RS485
MKS901P「MicroPirani™ - and Piezo Loadlock vacuum pressure transducer」を
直接ドロップして交換可能です。
コンプライアンスと規格CE、EN、UL、CSA、RoHS

標準的なアプリケーション

半導体ロードロック用途
分析機器/質量分析計への
応用
物理的気相成長法
物理的気相成長法

仕様

Measurement range (N2)	mbar	1x10^-6 … 1333

Accuracy

1100 ... 1333 mbar	% of reading	0.5
800 ... 1099 mbar	% of reading	0.25
100 ... 800 mbar	% of reading	0.5
2 ... 99.9 mbar	% of reading	1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar	% of reading	5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar	% of reading	25

Temperature compensation	°C	+10 … +50

Temperature measurement absolute accuracy	°C	+1.5 (0 … +80)

Supply voltage at the gauge	V (dc)	+12 … +30 ripple max. 1 V_pp