Pirani Gauges
PSG010, PSG017 & PSG018
VGC094用ピラニ・パッシブ型ゲージヘッド
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ゲージヘッドPSG010、PSG017、PSG018は、真空計コントローラーVGC094での使用を目的とした、長年定評のあるパッシブ型ピラニゲージです。8×10-4～1000mbarの圧力範囲のガスの真空測定用に設計されています。コンパクトな金属製デザインは、一般的な真空アプリケーションに適した堅牢なソリューションを提供します。
PSG010は一般的な真空アプリケーションに適していますが、PSG017とPSG018は金属シーリング設計により、250℃までのベークアウト温度や高い電離放射線耐性を必要とする厳しいアプリケーションのニーズに応えます。PSG017は腐食性媒体用途に適したニッケルフィラメントです。
メリット
- エラストマー（PSG010）または金属シール（PSG017、PSG018）設計
- 高い測定精度と再現性
- 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017, PSG018) までのベークアウト温度
- 106Gyまでの耐電離放射線性 (PSG017, PSG018)
- Niフィラメントによる耐腐食性 (PSG017)
- ケーブル長 最大100 m (PI 300 DL/CP 300 T11Lで500 m)
代表的なアプリケーション
- 低真空域から高真空域まで、要求の厳しい高温のアプリケーションのための一般的な真空測定と制御
オペレーティング・ユニット
- バキュームゲージコントローラ VGC094
仕様
PSG010
PSG017
PSG018
| 測定原理 | ピラニ |
| 測定範囲（空気、O2、CO、N2） | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 精度（N2） | |
| 100mbar以上の範囲 | 読み値のファクター2まで |
| 室温および ケーブル長 <20 m | 1×10-1... 10 mbarの範囲で読み値の±20% ≤10-2mbarの範囲で読み値のファクター2まで |
| 繰り返し精度（N2） | 1×10-2...100 mbarの範囲で読み値の±2% |
| フィードスルー｜内部シール | ガラス｜エラストマー（FPM） |
| ベークアウト温度 | ≤100 °C |
| 最大動作距離 | ≤100 m |
| 真空にさらされる材料 | AIMgSi、ガラス、FPM、W、Ni、シンターブロンズ |
| 特徴 | タングステン（W）フィラメント |
| 測定原理 | ピラニ |
| 測定範囲（空気、O2、CO、N2） | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 精度（N2） | |
| 100mbar以上の範囲 | 読み値のファクター2まで |
| 室温および ケーブル長 <20 m | 1×10-2... 100 mbarの範囲で読み値の±10% |
| 繰り返し精度（N2） | 1×10-2...100 mbarの範囲で読み値の±2% |
| フィードスルー｜内部シール | AI2O3セラミック｜金属 |
| ベークアウト温度 | ≤250 °C |
| 最大動作距離 | ≤100 m |
| 測定原理 | 106 Gy |
| 真空にさらされる材料 | ステンレススチール,AI2O3, Ag, Ni |
| 特徴 | ニッケル（Ni）フィラメント, 耐食性 |
| 測定原理 | ピラニ |
| 測定範囲（空気、O2、CO、N2） | 8×10-4 … 1000 mbar |
| 精度（N2） | |
| 100mbar以上の範囲 | 読み値のファクター2まで |
| 室温および ケーブル長 <20 m | 1×10-2... 100 mbarの範囲で読み値の±10% |
| 70 °Cまで、およびケーブル長全範囲で ケーブル長 | 1×10-2... 100 mbarの範囲で読み値の±20% |
| ケーブル長 温度とケーブル長の | 1×10-2... 100 mbarの範囲で読み値の±35% |
| 繰り返し精度（N2） | 1×10-2...100 mbarの範囲で読み値の±2% |
| フィードスルー｜内部シール | AI2O3セラミック｜金属 |
| ベークアウト温度 | ≤250 °C |
| 最大動作距離 | ≤500 m（PI 300 DL/CP 300 T11L使用時） |
| 電離放射線耐性 | 106 Gy |
| 真空にさらされる材料 | ステンレススチール,AI2O3, Ag, W, Ni |
| 特徴 | タングステン（W）フィラメント |
品番
品番
アクセサリー
| PSG010 | |
| 350-400 | DN 10 ISO-KF |
| PSG017 | |
| 350-430 | DN 16 ISO-KF |
| 350-431 | DN 16 CF-F |
| PSG018 | |
| 350-420 | DN 16 ISO-KF |
| 350-424 | DN 16 CF-F |
| 350-423 | DN 40 CF-F |
| VGC094接続ケーブル | |
| PSG010 80°C | |
| BG548402-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548403-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548450-T | 10 m (33 ft) |
| BG548451-T | 15 m (49 ft) |
| VGC094接続ケーブル | |
| PSG017/018 80°C | |
| BG548308-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548309-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548456-T | 10 m (33 ft) |
| BG548457-T | 15 m (49 ft) |
| VGC094接続ケーブル | |
| PSG017/018 250°C | |
| BG548414-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548465-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG448047-T | 10 m (33 ft) |
| BG448043-T | 15 m (49 ft) |
| PSG010/017/018 用延長ケーブル 80°C | |
| BG548466-T | 10 m (33 ft) |
| BG548468-T | 20 m (65 ft) |
| BG548470-T | 30 m (99 ft) |
