1. PSG50x & PSG51x
ピラニゲージ

PSG50x & PSG51x

ATM To Medium Vacuum Gauge

Pirani-PSG5XX
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INFICONのピラニ標準ゲージ PSG500、PSG502-S、 PSG510-S、 PSG512-Sは、市場において最も進んだデジタルピラニ技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサセルやコンパクト設計により、半導体システムでの使用や、補助真空側配管などの一般用途に最適です。

利点

  • 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
  • コンパクトで堅牢な設計
  • アルミハウジング
  • 取付け方向が自在
  • 金属封止型のステンレス製測定セル
  • 対数出力信号により統合が容易
  • 絶対圧10 bar超過用ねじ接続
  • 250 °Cでのベーキングが可能なバージョン
  • 耐腐食性ニッケルフィラメントをオプションで選択可能
  • 腐食性のある作業にはセラミックフィードスルー（PSG510と PSG512)
  • オプションのセットポイント
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 高真空電離真空計の制御
  • 真空圧力のモニタリング
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と高真空から低真空までの真空範囲のコントロール

仕様

PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading±50%
100 … 1000 mbar% of reading±50%
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpointsnone
Setting rangembar‒
Hysteresis% of reading‒
Relay contact ‒
Relay contact: Switching timems‒
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
PSG500 tungsten 
350-060PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061PSG500 1/8" NPT
350-062PSG500 DN 16 CF-R
350-063PSG500 1/2" Tube
350-064PSG500 8-VCR (1/2")
350-065PSG500 4-VCR (1/4")
350-066PSG500 7/16-20 UNF
350-067PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-080PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S 1/8" NPT
350-082PSG500-S DN 16 CF-R
350-083PSG500-S 1/2" Tube
350-084PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-140PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141PSG502-S 1/8" NPT
350-142PSG502-S DN 16 CF-R
350-143PSG502-S 1/2" Tube
350-144PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-200PSG510-S DN 16 ISO-KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-300PSG512-S DN 16 ISO-KF
PSG500 tungsten 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG502-S nickel, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
PSG500 tungsten 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-900PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-930PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-940PSG512 Spare Sensor DN 16 KF
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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冷凍空調

冷凍空調技術は、間違いなく21世紀の重要なテーマの一つです。使用効率、エネルギー効率、そして何よりも最適な温度や気候（民間および商業部門において）が重要な役割を果たします。

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クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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モビリティ＆オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 。自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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パンフレット
tibb03e1 Pirani Family Brochure
pdf • 1,6 MB • 英語版 • パンフレット
取扱説明書
PSG50x Installation Manual
pdf • 230,5 KB • フランス語, ドイツ語, 英語版
TINA44D1_Gebrauchsanleitung_kurz
pdf • 274,1 KB • ドイツ語 • 取扱説明書
TINA44E1_Operating Manual_short
pdf • 270,9 KB • 英語版 • 取扱説明書
3Dファイル
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
zip • 195,3 KB • 3Dファイル
350-061 PSG500 1/8" NPT
zip • 271,2 KB • 3Dファイル
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
zip • 284,1 KB • 3Dファイル
350-063 PSG500 1/2" tube
zip • 265,9 KB • 3Dファイル
350-064 PSG500 8 VCR®
zip • 279,6 KB • 3Dファイル
350-065 PSG500 4 VCR®
zip • 278,4 KB • 3Dファイル
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
zip • 277,9 KB • 3Dファイル
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF long tube
zip • 281,0 KB • 3Dファイル
350-068 PSG500 DN 16 CF-R long tube
zip • 295,4 KB • 3Dファイル
350-072 PSG500 G1/8"
stp • 2,2 MB • 3Dファイル
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
zip • 319,0 KB • 3Dファイル
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
zip • 342,8 KB • 3Dファイル
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
zip • 355,3 KB • 3Dファイル
350-083 PSG500-S 1/2" tube
zip • 337,7 KB • 3Dファイル
350-084 PSG500-S 8 VCR®
zip • 351,4 KB • 3Dファイル
350-085 PSG500-S 4 VCR®
zip • 350,3 KB • 3Dファイル
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
zip • 349,7 KB • 3Dファイル
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF long tube
zip • 281,0 KB • 3Dファイル
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R long tube
zip • 367,1 KB • 3Dファイル
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
zip • 295,4 KB • 3Dファイル
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
zip • 342,8 KB • 3Dファイル
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
zip • 355,3 KB • 3Dファイル
350-143 PSG502-S 1/2" tube
zip • 337,7 KB • 3Dファイル
350-144 PSG502-S 8 VCR®
zip • 351,4 KB • 3Dファイル
350-145 PSG502-S 4 VCR®
zip • 350,3 KB • 3Dファイル
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
zip • 349,7 KB • 3Dファイル
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF long tube
zip • 281,0 KB • 3Dファイル
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R long tube
zip • 367,1 KB • 3Dファイル
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