Pirani Gauges
PSG55x
ATM To Medium Vacuum Gauge
ACADEMY
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのピラニ標準ゲージ(PSG55x)は、PCG55xとPSG50xの兄弟と同様に、入手可能な最も進んだデジタルピラニ技術を採用しています。頑丈なセンサデザインとコンパクトなサイズ、さまざまな機能が組み合わされ、低真空から高真空までの計測に最適な製品となっています。
今すぐEtherCATデジタルインタフェースで利用できる
利点
- タングステン(PSG550)またはニッケル(PSG552)フィラメント、または腐食性の高いアプリケーション用にフルセラミックコーティング(PSG554)センサーユニットが利用可能
- オプションでディスプレイ、セットポイント、デジタルインターフェイスを用意
- 最新のEtherCATプロトコル標準ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 校正データを内蔵したプラグアンドプレイセンサエレメントの交換が容易 - 高い再現性と低所有コストを保証
- 選択可能な出力信号と様々なプラグバージョンにより、簡単に統合可能
- あらゆる方向への取り付けが可能 - 工具設計の自由度を提供
- すべてのバージョンに診断ポートを装備
- 規格適合性 CE、EN、UL、CSA、RoHS対応
標準的なアプリケーション
- 前真空圧測定
- 真空システムにおける安全回路
- 低真空から高真空までの一般的な真空計測と制御
仕様
PSG550 Tungsten
PSG552 Nickel
PSG554 セラミックコーティング
測定原理 | ピラニへの熱伝導率準拠 | |
測定範囲 | Torr mbar | 5×10-5 … 1000 3.8×10-5 … 750 |
精度 (N2) | ||
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar | 読書率 | ±50 |
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±15 |
100 ~ 1000 mbar | 読書率 | ±50 |
再現性 (N2) | ||
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±2 |
取り付け方向 | 何れも |
測定原理 | ピラニへの熱伝導率準拠 | |
測定範囲 | Torr mbar | 3.8×10-5 … 750 5×10-5 … 1000 |
精度 (N2) | ||
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar | 読書率 | ±50 |
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±15 |
100 ~ 1000 mbar | 読書率 | ±50 |
再現性 (N2) | ||
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±2 |
取り付け方向 | 何れも |
測定原理 | ピラニへの熱伝導率準拠 | |
測定範囲 | Torr mbar | 5×10-5 … 1000 3.8×10-5 … 750 |
精度 (N2) | ||
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar | 読書率 | ±50 |
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±15 |
100 ~ 1000 mbar | 読書率 | ±50 |
再現性 (N2) | ||
1×10-3 ~ 100 mbar | 読書率 | ±2 |
取り付け方向 | 何れも |
Accessories
Spare Parts
PSG550 Tungsten | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG552 Nickel | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG554 ceramic coated | |
211-001 | Clamping ring DN 10-16 ISO-KF |
211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
350-050 | Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m |
PSG552 Nickel | |
211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
PSG550 Tungsten | |
# | |
211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
PSG552 Nickel | |
303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
PSG554 ceramic coated | |
303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
PSG550 Tungsten | |
303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
PSG550 Tungsten | |
355-925 | PSG550 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
355-926 | PSG550 Spare sensor, DN16 ISO-KF, long |
355-927 | PSG550 Spare sensor, DN 16 CF-F |
355-928 | PSG550 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
355-929 | PSG550 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
355-930 | PSG550 Spare sensor, 1/8" NPT |
355-931 | PSG550 Spare sensor, 8-VCR |
355-932 | PSG550 Spare sensor, 4-VCR |
355-933 | PSG550 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
355-934 | PSG550 Spare sensor, 29x29mm |
355-935 | PSG550 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
PSG552 Nickel | |
355-936 | PSG552 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
355-937 | PSG552 Spare sensor, DN16 ISO-KF, long |
355-938 | PSG552 Spare sensor, DN 16 CF-F |
355-939 | PSG552 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
355-940 | PSG552 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
355-941 | PSG552 Spare sensor, 1/8" NPT |
355-942 | PSG552 Spare sensor, 8-VCR |
355-943 | PSG552 Spare sensor, 4-VCR |
355-944 | PSG552 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
355-945 | PSG552 Spare sensor, 29 x 29mm |
355-946 | PSG552 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
PSG554 ceramic coated | |
355-947 | PSG554 Spare sensor, DN 16 ISO-KF |
355-948 | PSG554 Spare sensor, DN 16 ISO-KF, long |
355-949 | PSG554 Spare sensor, DN 16 CF-F |
355-950 | PSG554 Spare sensor, DN 16 CF-R, long |
355-951 | PSG554 Spare sensor, DN 25 ISO-KF |
355-952 | PSG554 Spare sensor, 1/8" NPT |
355-953 | PSG554 Spare sensor, 8-VCR |
355-954 | PSG554 Spare sensor, 4-VCR |
355-955 | PSG554 Spare sensor, 7/16-20 UNF |
355-956 | PSG554 Spare sensor, 29x29mm |
355-957 | PSG554 Spare sensor, 4-VCR / 90° |
品番
ダウンロード
パンフレット
データシート
PSG55x DE
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983,0 KB
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ドイツ語
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データシート
PSG55x Datasheet
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562,0 KB
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英語版
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データシート
PSG55x
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980,3 KB
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スペイン語
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データシート
PSG55x KO
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975,5 KB
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韓国語
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データシート
PSG55x ZH
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1,0 MB
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中国語
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データシート
PSG55x JA
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1,0 MB
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日本語
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データシート
取扱説明書
PSG55x Operating Manual
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1,8 MB
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英語版
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取扱説明書
PxG55x PROFIBUS Communication Protocol
pdf
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738,1 KB
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英語版
•
取扱説明書
PxG55x DeviceNet Communication Protocol
pdf
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474,3 KB
•
英語版
•
取扱説明書
PxG55x EtherCAT Communication Protocol
pdf
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493,0 KB
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英語版
•
取扱説明書
PxG55x RS232c RS485c Communication Protocol
pdf
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177,9 KB
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英語版
•
取扱説明書
TIRB72E1_PxG55x_Communication Protocol PROFINET
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•
1,6 MB
•
英語版
•
取扱説明書
3Dファイル
MPSG55x_Plug_RS485_UNF.stp
stp
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1,9 MB
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3Dファイル
PxG550_9DSub_16K_long
zip
•
297,4 KB
•
3Dファイル
PxG55x_15DSub_16CF
zip
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280,5 KB
•
3Dファイル
PxG55x_15DSub_16KF
zip
•
274,8 KB
•
3Dファイル
PxG55x_15DSub_4VCR
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283,7 KB
•
3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_16CF
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313,7 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_16KF
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308,2 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_DNet_4VCR
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314,6 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_16CF
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330,5 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_16KF
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324,9 KB
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3Dファイル
PxG55x_15DSub_PBus_4VCR
zip
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331,4 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_16CF
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256,7 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_16KF
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251,2 KB
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PxG55x_9DSub_25KF
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251,5 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_29x29
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214,5 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_4VCR
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257,5 KB
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PxG55x_9DSub_4VCR_90
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214,3 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_8VCR
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255,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_16CF
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287,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_16KF
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282,3 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_25KF
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298,5 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_DNet_4VCR
stp
•
2,1 MB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16CF
zip
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349,0 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16KF
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344,2 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_EtherCAT_4VCR
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350,3 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_16CF
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305,0 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_16KF
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299,4 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_25KF
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299,6 KB
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3Dファイル
PxG55x_9DSub_PBus_4VCR
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305,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_16CF
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204,3 KB
•
3Dファイル
PxG55x_FCC_16KF
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252,7 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_25KF
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198,9 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_29x29
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172,0 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_4VCR
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205,2 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_4VCR_90
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175,9 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_16CF
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236,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_16KF
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231,2 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_DNet_4VCR
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237,7 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_16CF
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253,8 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_16KF
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248,2 KB
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3Dファイル
PxG55x_FCC_PBus_4VCR
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254,7 KB
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3Dファイル
その他
PSG550 PC21 Int
eds
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50,5 KB
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英語版
PSG550 PC21 Real
eds
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50,6 KB
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英語版
PSG EtherCAT New Generation ESI V1.3
xml
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140,1 KB
•
英語版
PCG55x PSG55x GSDML V2.35
zip
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5,6 KB
•
英語版
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証明書
Inficon PSG V1_2_1_0
xml
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556,6 KB
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英語版
PxG_0C85.GSD
GSD
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5,0 KB
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英語版