キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG025D

フルスケール 0.1～1000Torr / mbar

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

高精度な温度補償型マノメータ製品であるINFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージは、厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル回路によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定、設定値調整など、容易に操作できる機能を提供します。耐腐食性に優れたセラミックセンサはゼロ点の安定性を向上させ、大気圧暴露を含む数百万回の圧力サイクルという長寿命を提供します。ユニークなセンサシールド（特許申請中）がゲージをプロセス汚染から守ります。ロバストな機械デザインとデジタル電子回路が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dは、電源起動後のすばやい安定化と、大気圧暴露からのすばやいリカバリーに関して、新たなスタンダードとなりました。

利点

100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
電源投入後にすばやく安定
大気暴露からのすばやいリカバリー
耐腐食性に優れたセラミックセンサー
優れた長期信号安定性
温度補正済み
汚染からのセンサーを保護
ワンプッシュボタンでゼロ点設定
広範囲の入力電源

標準的なアプリケーション

エッチング、CVD、PVD、ALD半導体製造装置
データストレージおよびディスプレイ製造装置
工業用真空装置
一般的な高精度圧力測定

仕様

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.25

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	130

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.5

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	130

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass