SKY® CDG025D-X3
フルスケール 0.1～1000Torr / mbar
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Gemini™ MxG5xx
精度と信頼性が非常に重要な用途において、INFICON SKYは圧力計測と制御のための最高級製品であるCDG025D-X3キャパシタンスダイアフラムゲージを紹介します。このゲージは長年の経験と最先端技術を組み合わせ、業界で比類のない基準を確立しています。
SKY® CDG025D-X3の紹介
高精度な温度補正：CDG025D-X3は、高度な温度補正技術を採用しています。これにより、過酷な条件下でも信頼性の高い正確な測定値が得られます。
耐腐食性のセラミックセンサは、大気圧での破断を含む数百万回の圧力サイクルに耐える優れたゼロ安定性と長寿命を実現します。
高度なデジタル電子回路：このゲージの電子回路は最新であるだけでなく、優れた機能の数々を提供します。ワンタッチゼロ点調整とセットポイント設定値調整により、使いやすさが向上します。
最新のSKY®テクノロジー
長寿命セラミックセンサ：耐腐食性のウルトラセラミックセンサにより、ゲージは長期にわたって優れた信号安定性と数百万回の圧力サイクルの寿命を実現します。
さらに、特許取得のセンサーシールドが、プロセス汚染からゲージを保護します。これは、半導体製造装置の一般的なアプリケーション、エッチング、CVD、PVD、ALDなどのプロセスで特に重要です。CDG025D-X3 は、データ ストレージおよびディスプレイ製造装置、産業用真空プロセス装置、および高精度が求められる一般的な圧力測定にも最適です。
特別な品質と利点
電磁妨害が深刻な問題となりうる今日の産業環境において、CDG025D-X3はEMC適合性を念頭に置いて設計されています。このことは、その優れた長期安定性と温度補償と相まって、長年にわたる信頼性の高い性能を保証します。
さらに、CDG025D-X3は電源投入後の安定化が速く、大気圧にさらされた後の回復も速いため、要求の厳しい産業用途に欠かせない機器となっています。これは単なるゲージではなく、真空計測技術における品質と革新の象徴です。
利点
- フルスケールは100mTorrから1000Torr
- 電源投入後の高速安定性
- 大気圧からの高速回復
- 耐腐食性セラミックセンサー
- 優れた長期信号安定性
- 温度補正機能
- センサーの汚染からの二重保護構造
- ワンプッシュボタンゼロ機能
- ワイドレンジ電源
- 2つのセットポイント
- RS232インターフェース
- クリーンルーム対応
一般的なアプリケーション
- エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置
- データストレージおよびディスプレイ製造装置
- 産業用真空装置
- 高精度な圧力測定全般
仕様
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 30 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.25 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 130 |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.5 |
| 分解能 | percent FS | 0.003 |
| 出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
| 応答時間 | ms | 130 / 30 (3) |
| 接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
品番
