キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

フルスケール 0.1～1000Torr / mbar

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INFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージの高精度なラインである温度制御圧力計は厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル電子装置によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定のような容易に操作できる機能を提供します。現在、２線式電流ループの新バージョンは利用できます。耐腐食性に優れた高純度セラミックセンサは優れたゼロ点の安定と、空気圧変化によるバーストを含む数百万回のプレッシャーサイクルを予期した上での長い寿命を提供します。このユニークなセンサシールド（特許申請中）がゲージをプロセス汚染から保護します。ロバストな機械デザインとデジタル電子工学が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dセットは、電源起動後のすばやい安定化、大気圧との接触からのすばやい回復への新たな基準を定めました。

利点

100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
電源立ち上げ後の素早い安定性
大気圧からのすばやい回復
耐腐食性セラミックセンサ
優れた長期安定性
温度補正済み
汚染からセンサを完全に保護
ワンプッシュボタンでゼロ点調整
2線式電流ループによるインターフェース
長いケーブル距離 (<300m)
低エネルギーゲージ
リモートゼロ含む
クリーンルーム準拠
ステータス LED

標準的なアプリケーション

化学真空
エネルギーアプリケーション
工業用真空装置
一般的な高精度圧力測定

仕様

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)
シグナル範囲	mA	3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係	現在の圧力の関係	linear

応答時間	ms	≤100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)
シグナル範囲	mA	3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係	現在の圧力の関係	linear

応答時間	ms	≤100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)
シグナル範囲	mA	3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係	現在の圧力の関係	linear

応答時間	ms	≤100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.25

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)
シグナル範囲	mA	3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係	現在の圧力の関係	linear

応答時間	ms	≤100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.5

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)
シグナル範囲	mA	3.8 ... 20.2
計測範囲 (ゼロ ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
現在の圧力の関係	現在の圧力の関係	linear

応答時間	ms	≤100

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)