キャパシタンスマノメーター
SKY® CDG045D
45℃温度制御、フルスケール 0.05 ... 1000 Torr / mbar

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INFICONの SKY CDG045D マノメーターはトータルな圧力計測とコントロールの高い精度において最良の選択となります。CDG045D ゲージは摂氏 45度にコントロールされた温度で、優れた信号安定性と再現性を発揮します。50mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な真空作業に適した高品質で費用効果の高い圧力センサです。
EtherCAT デジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!
利点
- 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
- 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
- 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
- すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
- 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
- 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
- コンプライアンスおよび規格:CE, EN, UL, SEMI, RoHS
標準的なアプリケーション
- エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
- 化学および腐食性真空プロセス
- 一般的な薄膜と真空プロセス
- 国際基準にそった、テスト機器監視用のレファレンスセンサ
- トレース計測の管理換え基準
仕様
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分解能 | percent FS | 0.003 |
出力信号 (アナログ) | V (dc) | 0 … +10 |
応答時間 | ms | 130 / 30 |
接ガス材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
ダウンロード
データシート
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SKY® CDG045D Datasheet
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データシート
CDG045D SKY® 0,05... 1.000 Torr/mbar
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar KO
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar ZH
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データシート
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar JA
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データシート
寸法図
取扱説明書
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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取扱説明書
SKY® CDGxxxD, CDGxxxD Communication protocol PROFINET
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取扱説明書
SKY® CDG045D 4-20 mA Current Loop Operating Manual
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英語版
SKY® CDG045D 4-20 mA Current Loop Gebrauchsanleitung
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ドイツ語
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英語版
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取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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ドイツ語
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取扱説明書
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
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取扱説明書
Communication protocol PROFIBUS
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英語版
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取扱説明書
Gebrauchsanleitung CDG045D
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1,2 MB
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ドイツ語
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取扱説明書
Manual CDG045D
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英語版
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取扱説明書
Manual CN CDG045D
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中国語
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取扱説明書
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-m D-NET
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-m P-BUS
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-f P-BUS
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-m P-NET
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-f P-NET
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-m E-CAT
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SKY® CDG045D 3D 16CF 9DSUB
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-m 9DSUB
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SKY® CDG045D 3D 16CF P-NET
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SKY® CDG045D 3D 4-VCR-f E-CAT
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SKY® CDG045D 3D 8-VCR-f 15DSUB
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SKY® CDG045D 3D 8-VCR-f Long 15DSUB
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SKY® CDG045D 3D 8-VCR-f Long D-NET
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SKY® CDG045D 3D 8-VCR-f Long P-BUS
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SKY® CDG045D 3D 16KF 9DSUB
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SKY® CDG045D 3D Tube 9DSUB
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SKY® CDG045D 3D 8-VCR-f P-NET
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SKY CDG045D 16CF 15DSUB
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SKY CDG045D 16CF E-CAT
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SKY CDG045D 16CF P-BUS
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SKY CDG045D 16KF D-NET
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SKY CDG045D 16KF E-CAT
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SKY CDG045D 16KF P-BUS
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SKY CDG045D 4-VCR-f 15DSUB
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SKY CDG045D 4-VCR-f D-NET
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SKY CDG045D 4-VCR-m 15DSUB
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SKY CDG045D 8-VCR-f 9DSUB
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SKY CDG045D 8-VCR-f D-NET
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SKY CDG045D 8-VCR-f E-CAT
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SKY CDG045D 8-VCR-f long 9DSUB
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SKY CDG045D 8-VCR-f P-BUS
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SKY CDG045D tube 15DSUB
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SKY CDG045D tube D-Net
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SKY CDG045D tube E-CAT
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SKY CDG045D tube P-BUS
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3Dファイル
その他
SKY®, Edge® CDG EtherCAT New Generation ESI V2
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日本語, 英語版
SKY® CDGxxxD PROFINET GSDML
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3,1 KB
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英語版
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml
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1,3 MB
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英語版
Software EDS for CDGxxxD
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7,6 KB
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英語版
Software GSD for CDGxxxD
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1,6 KB
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英語版
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