1. SKY® CDG100D
キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG100D

100℃温度制御、フルスケール 0.1 ... 1000 Torr / mbar

SKY®-CDG-100D-160D-200D
ACADEMY

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INFICON SKY CDG100Dマノメータは高精度な総合圧力計測とコントロールにおいて最良の選択になるでしょう。CDG100Dゲージは100°Cに温度制御され、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトまで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の用途に適した、高品質で費用効果の高い圧力センサです。

EtherCATデジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!

利点

  • 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
  • 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
  • 化学物質を使用する腐食性の高温プロセス
  • ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms30
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.4
分解能percent FS0.003
出力信号 (アナログ)V (dc)0 … +10
応答時間 ms130 / 30 (3)
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

ダウンロード

パンフレット
SKY® CDG100-200D Brochure
pdf • 2,5 MB • 英語版 • パンフレット
Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure
pdf • 3,3 MB • 英語版 • パンフレット
データシート
SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE
pdf • 889,7 KB • ドイツ語 • データシート
SKY® CDG100D Datasheet
pdf • 163,4 KB • 英語版 • データシート
SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
pdf • 931,7 KB • スペイン語 • データシート
SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO
pdf • 934,9 KB • 韓国語 • データシート
Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn
pdf • 1,0 MB • 中国語 • データシート
SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA
pdf • 1,0 MB • 日本語 • データシート
寸法図
CDG100D SKY Ordering information
jpg • 653,2 KB • ドイツ語, 日本語, 韓国語, スペイン語, 中国語, 英語版 • 寸法図
取扱説明書
CDG100D Gebrauchsanleitung
pdf • 1,3 MB • ドイツ語 • 取扱説明書
Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop
pdf • 1,1 MB • ドイツ語 • 取扱説明書
SKY® CDG100D Operating Manual
pdf • 1,3 MB • 英語版 • 取扱説明書
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書
SKY® CDGxxxD, CDGxxxD Communication protocol PROFINET
pdf • 874,8 KB • 英語版 • 取扱説明書
SKY® CDG100D 4-20 mA Current Loop Operating Manual
pdf • 1,1 MB • 英語版 • 取扱説明書
Manual CDG100D ZN
pdf • 1,4 MB • 中国語 • 取扱説明書
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf • 187,4 KB • 英語版 • 取扱説明書
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf • 188,5 KB • ドイツ語 • 取扱説明書
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
pdf • 474,8 KB • 英語版 • 取扱説明書
Communication protocol EtherCAT
pdf • 972,1 KB • 英語版 • 取扱説明書
Communication protocol PROFIBUS
pdf • 592,8 KB • 英語版 • 取扱説明書
3D Step Files
SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-NET
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f P-NET
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SKY® CDG100D 3D 16KF P-NET
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SKY® CDG100D 3D Tube P-NET
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SKY® CDG100D 3D 16CF P-NET
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m D-NET
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long D-NET
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-BUS
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-BUS
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-BUS
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-NET
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-NET
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long E-CAT
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SKY® CDG100D 3D 16CF 9DSUB
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m 9DSUB
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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f 15DSUB
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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f 9DSUB
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SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB
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SKY CDG100D 16CF D-NET
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SKY CDG100D 16CF E-CAT
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SKY CDG100D 16CF P-BUS
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SKY CDG100D 16KF 9DSUB
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SKY CDG100D 16KF D-NET
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SKY CDG100D 16KF E-CAT
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SKY CDG100D 4-VCR-f D-NET
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SKY CDG100D 4-VCR-f E-CAT
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SKY CDG100D 4-VCR-m 15DSUB
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SKY CDG100D 8-VCR-f 15DSUB
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SKY CDG100D 8-VCR-f D-NET
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SKY CDG100D 8-VCR-f E-CAT
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SKY CDG100D 8-VCR-f long 15DSUB
zip • 259,4 KB • 3Dファイル
SKY CDG100D 8-VCR-f P-BUS
zip • 229,0 KB • 3Dファイル
SKY CDG100D tube 15DSUB
zip • 179,6 KB • 3Dファイル
SKY CDG100D tube 9DSUB
zip • 534,1 KB • 3Dファイル
SKY CDG100D tube D-NET
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SKY CDG100D tube E-CAT
zip • 239,9 KB • 3Dファイル
SKY CDG100D tube P-BUS
zip • 216,3 KB • 3Dファイル
Other
SKY®, Edge® CDG EtherCAT New Generation ESI V2
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SKY® CDGxxxD PROFINET GSDML
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EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml • 1,3 MB • 英語版
Software EDS for CDGxxxD
zip • 7,6 KB • 英語版
Software GSD for CDGxxxD
zip • 1,6 KB • 英語版
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真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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