キャパシタンスマノメーター

SKY® CDG160D

160℃温度制御、フルスケール 1 ... 1000 Torr / mbar

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INFICON SKY CDG160D高温マノメータは、正確なトータル圧力計測とコントロールにおいて、最良の選択になるでしょう。CDG160Dゲージは160°Cに温度制御され、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の用途に適した、高品質で費用効果の高い圧力センサです。

EtherCATデジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!

利点

所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
2年保証、加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命を達成
優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
化学物質を使用する腐食性の高温プロセス
ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス

仕様

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.4

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.4

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	30

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

ダウンロード

パンフレット

SKY® CDG100-200D Brochure

pdf • 2,5 MB • 英語版 • パンフレット

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

pdf • 3,3 MB • 英語版 • パンフレット

データシート

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE

pdf • 864,4 KB • ドイツ語 • データシート

SKY® CDG160D CDG200D Datasheet

pdf • 739,2 KB • 英語版 • データシート

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 906,4 KB • スペイン語 • データシート

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO

pdf • 909,4 KB • 韓国語 • データシート

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH

pdf • 539,6 KB • 中国語 • データシート

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • 日本語 • データシート

寸法図

CDG160D dimension drawing

jpg • 586,2 KB • ドイツ語, 日本語, 韓国語, スペイン語, 中国語, 英語版 • 寸法図

取扱説明書

Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE

pdf • 1,3 MB • ドイツ語 • 取扱説明書

SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

CDG160D, CDG200D manual

pdf • 1,4 MB • 中国語 • 取扱説明書

CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)

pdf • 1,1 MB • ドイツ語 • 取扱説明書

CDG160D, CDG200D - manual

pdf • 1,3 MB • 英語版 • 取扱説明書

CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)

pdf • 1,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英語版 • 取扱説明書

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • 英語版 • 取扱説明書

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英語版 • 取扱説明書

Communication protocol PROFIBUS

pdf • 592,8 KB • 英語版 • 取扱説明書

3D Step Files

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-NET

zip • 354,3 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 16KF 15DSUB

stp • 937,0 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D Tube E-CAT

zip • 239,9 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT

zip • 242,6 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB

zip • 374,9 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 543,2 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB

zip • 565,8 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB

zip • 536,8 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

zip • 934,4 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 954,3 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-NET

zip • 366,1 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET

zip • 296,1 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET

zip • 385,9 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D Tube P-NET

zip • 287,2 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET

zip • 293,1 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

zip • 821,9 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS

zip • 820,0 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS

zip • 839,7 KB • 3Dファイル

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long D-NET

zip • 853,0 KB • 3Dファイル

SKY CDG160D 4-VCR-m D-NET

zip • 869,0 KB • 3Dファイル

SKY CDG160D 16CF 9DSUB

zip • 542,8 KB • 3Dファイル

SKY CDG160D 16CF E-CAT

zip • 250,3 KB • 3Dファイル

SKY CDG160D 4-VCR-f E-CAT

zip • 768,0 KB • 3Dファイル

SKY CDG160D 8-VCR-f long 9DSUB

zip • 544,7 KB • 3Dファイル

その他

SKY®, Edge® CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • 日本語, 英語版

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英語版

Software EDS for CDGxxxD

zip • 7,6 KB • 英語版

Software GSD for CDGxxxD

zip • 1,6 KB • 英語版

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