キャパシタンスマノメーター
Spot™ CDS500D
フルスケール 10 ... 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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スポット CDS500D セラミックキャパシタンスダイアフラムセンサは、お客様の真空装置やシステムの限られたスペースに組み込むために設計されています。
小型センサーは高精度を提供し、アルミナセラミックセルと溶接可能なステンレス鋼フィードスルーはすべてアルミナコーティングされています。センサーの電子回路は、デジタルSPIインターフェースを備えており、簡単に統合できます。
このセンサーは、圧力変化に即座に反応する高速データサイクル時間、優れた再現性、長期安定性を特徴としています。
利点
- 高精度を提供する小型センサー
- 優れた再現性と長期安定性
- 統合と較正のカスタマイズが可能な溶接フィードスルー、または工場較正済みセンサー統合のためのカスタム溶接フランジ
- 容易な統合および安全な通信を可能にするSPIインターフェース搭載センサー電子回路
- すばやい応答時間
- 高超過圧機能
標準的なアプリケーション
- カスタム真空計測装置およびシステムへの統合が可能
仕様
100 Torr
100 Torr
| Accuracy | 0.5 % of reading |
| Resolution | 0.01 % FS |
| Materials exposed to vacuum | ceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
ダウンロード
3D Step Files
本製品は以下のマーケットで使用されています。
