キャパシタンスマノメーター

Spot™ CDS530D

フルスケール 10 ... 1000 Torr / mbar

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

スポット CDS530D セラミックキャパシタンスダイアフラムセンサは、お客様の真空装置やシステムの限られたスペースに組み込むために設計されています。

デュアル小型センサーは広い測定範囲で高精度を提供し、アルミナセラミックセルと溶接可能なステンレス鋼フィードスルーはすべてアルミナコーティングされています。センサーの電子回路は、デジタルSPIインターフェースを備えており、簡単に統合できます。

このセンサーは、圧力変化に即座に反応する高速データサイクル時間、優れた再現性、長期安定性を特徴としています。

利点

100 Torr

Accuracy	0.5 % of reading

Resolution	0.01 % FS

Materials exposed to vacuum	ceramics (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

データシート

取扱説明書

3D Step Files

その他

本製品は以下のマーケットで使用されています。

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。