キャパシタンスマノメーター
Spot™ CDS530D
フルスケール 10 ... 1000 Torr / mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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スポット CDS530D セラミックキャパシタンスダイアフラムセンサは、お客様の真空装置やシステムの限られたスペースに組み込むために設計されています。
デュアル小型センサーは広い測定範囲で高精度を提供し、アルミナセラミックセルと溶接可能なステンレス鋼フィードスルーはすべてアルミナコーティングされています。センサーの電子回路は、デジタルSPIインターフェースを備えており、簡単に統合できます。
このセンサーは、圧力変化に即座に反応する高速データサイクル時間、優れた再現性、長期安定性を特徴としています。
利点
- デュアル小型センサーは広い測定範囲で高精度を実現
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
- 带SPI接口的传感器电子元件，易于集成 焊接式
- 定制法兰，用于集成校准的传感器
- 响应时间快
- 超压能力强
仕様
100 Torr
100 Torr
| Accuracy | 0.5 % of reading |
| Resolution | 0.01 % FS |
| Materials exposed to vacuum | ceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
ダウンロード
3D Step Files
本製品は以下のマーケットで使用されています。
