バキュームゲージコントローラー
TPG36x
プロセス測定およびデータ記録用の高度なコントローラ。
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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プロセス測定、制御、データロギング用の多機能コントローラーとして、TPG361 および TPG362 アクティブ圧力計コントローラーは、幅広いアクティブ小型圧力計とシームレスに動作するように設計されています。10-10~1500mbar(10-10~1125Torr)の包括的な圧力範囲にわたって効率的にデータを管理し、記録します。
メリット
- 使いやすいドットマトリックス・メニュー・インターフェースで、パラメータ、センサー、一般設定を調整可能
- 明るく見やすいディスプレイで、機器データを遠隔地から読み取ることができます。
- バーグラフによる設定値の視覚化、圧力の経時変化表示
- USBスティック(前面)によるデータ・ログおよびパラメータ・バックアップ機能
- ファームウェアのアップデートは、オンラインまたはUSBスティックで可能
- ヒステリシス調整可能な各チャンネル2つの自由設定可能なセットポイント
- 16ビットA/Dコンバータによる高精度データ評価
- INFICONアクティブコンパクトゲージの自動識別
- イーサネット、RS485、USBインターフェース
仕様
TPG361
TPG362
タイプ | TPG361 |
測定チャンネル | 1 |
表示 | LCD、LEDバックライト |
レート 1/s | 10 |
表示範囲 | |
CMR (A/D) Torr | 1×10-3×F.S. … 1×F.S. |
PCR mbar / Torr | 5×10-5 … 1500 / 3.75×10-5 … 1125 |
TPR mbar / Torr | 1×10-4 … 1000 / 7.5×10-5 … 750 |
PKR mbar / Torr | 1×10-9 … 1000 / 7.5×10-10 … 750 |
IKR mbar / Torr | 1×10-9 … 1×10-2 / 7.5×10-10 … 7.5×10-3 |
APR mbar / Torr | 0.1 … 55000 / 7.5×10-2 … 4.125×104 |
PBR mbar / Torr | 5×10-10 … 1000 / 3.75×10-10 … 750 |
IMR mbar / Torr | 2×10-6 … 1000 / 1.5×10-6 … 750 |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V |
セットポイント
| |
セットポイントリレー | 2 |
チャンネル割り当て | 1 |
調整範囲 | センサー依存 |
ヒステリシス | 調整可能 |
リレー接点 | フローティング接点 |
接点定格 V (AC) / A | 30 / 1 |
接点定格 V (DC) / A | 60 / 0.5 |
コネクタ | D-sub、15ピン、メス |
アナログ出力 | |
レンジ V | 0 ... 10.3、センサーアナログ出力信号 |
アナログ出力 | 1 |
コネクタ | アンフェノールC91B、7ピン、メス |
インターフェース(デジタル) | USBスレーブ、マスター、イーサネット、RS485 |
コネクタ | USBタイプA(スティック)、USBタイプB、FCC68/RJ45、バインダM12 |
電源 | |
電源 V (ac) | 100 ... 240 |
周波数 Hz | 50 ... 60 |
消費電力 W | ≤45 |
動作温度(周囲) °C | +5 ... +50 |
タイプ | TPG362 |
測定チャンネル | 2 |
表示 | LCD、LEDバックライト |
レート 1/s | 10 |
表示範囲 | |
CMR (A/D) Torr | 1×10-3×F.S. … 1×F.S. |
PCR mbar / Torr | 5×10-4 … 1500 / 3.75×10-4 … 1125 |
TPR mbar / Torr | 5×10-4 … 1000 / 3.75×10-4 … 750 |
PKR mbar / Torr | 1×10-9 … 1000 / 7.5×10-10 … 750 |
IKR mbar / Torr | 1×10-9 … 1×10-2 / 7.5×10-10 … 7.5×10-3 |
APR mbar / Torr | 0.1 … 55000 / 7.5×10-2 … 4.125×104 |
PBR mbar / Torr | 5×10-10 … 1000 / 3.75×10-10 … 750 |
IMR mbar / Torr | 2×10-6 … 1000 / 1.5×10-6 … 750 |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V |
セットポイント
| |
セットポイントリレー | 4 |
チャンネル割り当て | 1または2 |
調整範囲 | センサーに依存 |
ヒステリシス | 調整可能 |
リレー接点 | フローティング接点 |
接点定格 V (AC) / A | 30 / 1 |
接点定格 V (DC) / A | 60 / 0.5 |
コネクタ | D-sub、15ピン、メス |
アナログ出力 | |
レンジ V | 0 ... 10.3、センサーアナログ出力信号 |
アナログ出力 | 2 |
コネクタ | アンフェノールC91B、7ピン、メス |
インターフェース(デジタル) | USBスレーブ、マスター、イーサネット、RS485 |
コネクタ | USBタイプA(スティック)、USBタイプB、FCC68/RJ45、バインダM12 |
電源 | |
電源 V (ac) | 100 ... 240 |
周波数 Hz | 50 ... 60 |
消費電力 W | ≤65 |
動作温度(周囲) °C | +5 ... +50 |
ドロップイン交換
部品番号
部品番号
INFICON | Pfeiffer Vacuum | |
TPG361 | IGD28040 | PTG28040 |
TPG362 | IGD28290 | PTG28290 |
ダウンロード
マニュアル